一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关制造技术

本发明专利技术提供了一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关。所述短路开关包括：电场加载层、导通层、绝缘层、开关控制层、隔离层和衬底。所述导通层和电场加载层位于所述短路开关最顶层，起电气连接作用；下一层为所述绝缘层，为隔绝导通层与开关控制层的电气连接，保证所述开关的绝缘电阻；所述开关控制层与电场加载层的连接，在一定电场加载条件下，通过体负阻效应实现短路开关纳秒级由通到断的转变；所述隔离层介于所述开关控制层和基底之间，起电气隔离作用，同时能抑制衬底的脉冲电流干扰，增加安全性；所述衬底为短路开关图形化的支撑载体。本发明专利技术短路开关通过体负阻效应可以实现纳秒级的电路开关控制，且整体尺寸、质量微小。且整体尺寸、质量微小。且整体尺寸、质量微小。

【技术实现步骤摘要】
一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关


[0001]本专利技术涉及半导体器件领域，尤其涉及一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关。

技术介绍

[0002]半导体器件技术应用广泛，属于大国核心竞争力关键技术之一，它与航空航天、汽车电子、通讯技术、引信技术等国防高科技发展命运休戚相关。短路开关主要是通过并联短路，实现对精密电子器件的保护。以引信中应用的短路开关为例，在引信设计中，短路开关一般是在特定条件下用于电火工品的保护，通过由短路状态到断路状态的转换来实现。其特点是既要能在引信保险状态时可靠短接电火工品，又要能在引信解除保险后保持良好的断开状态。目前，国内同类武器中采用的短路开关一般有两种形式：其一为机械触发式，触发式又分为，弹簧销式短路开关和簧片式短路开关，其二为电源控制式，通过供电后，火工作动器进行电爆剪切完成由短路到断路的控制。这两种开关往往通过人工装配，体积较大，作用时间为毫秒级，所需提供的能量一般也需要达到百毫焦量级。

技术实现思路

[0003]在针对以上现有的问题和需求，本专利技术提出一种纳秒级体负阻效应的微型半本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关，其特征在于，包括：电场加载层、导通层、绝缘层、开关控制层、隔离层和衬底；所述导通层和所述电场加载层位于所述短路开关最顶层，起电气连接作用；下一层为所述绝缘层，所述绝缘层作用为隔绝导通层与开关控制层的电气连接，保证器件的绝缘电阻；所述开关控制层与所述电场加载层的连接，在一定电场加载条件下，通过体负阻效应实现所述短路开关纳秒级由通到断的转变；所述隔离层介于开关控制层和基底之间，起电气隔离作用，同时能抑制所述衬底的脉冲电流干扰；所述衬底为所述短路开关图形化的支撑载体。2.根据权利要求1所述的一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关，其特征在于，所述导通层材料为钨或钨合金。3.根据权利要求1所述的一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关，其特征在于，所述导通层薄弱环节宽度特征尺寸小于所述开关控制层宽度。4.根据权利要求1所述的一种纳秒级体负阻效应的微型半导体短路开关，其特征在于，所述电场加载层材料为铝或金，镀膜厚度≤3...

【专利技术属性】
技术研发人员：周浩楠，张良，李宋，张亚婷，
申请(专利权)人：北京智芯传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：