一种基于悬架的主动防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基于悬架的主动防微振基座，包括支撑板、支架和支腿，其特征在于，所述支架包括顶板，所述顶板左右两侧分别连接有左挡板和右挡板，所述顶板后侧连接有后挡板，所述后挡板底部垂直连接有底板，所述支撑板与支架的底板栓接固定，所述支腿安装在顶板底部，所述支腿包括外壳，所述外壳内设有主气室，所述主气室顶部连接有活塞，所述活塞内部设有支撑杆，所述支撑杆顶部连接有支撑座，所述支撑杆底部连接有阻尼气囊，所述阻尼气囊内设有阻尼气室，所述阻尼气囊顶部开设有阻尼气孔，所述外壳顶部连接有位移传感器，所述外壳一侧连接有控制器。本实用新型专利技术通过支撑板、支撑架与支腿的悬架式组合结构，降低了设备重心。心。心。

【技术实现步骤摘要】
一种基于悬架的主动防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于悬架的主动防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。有一些特殊的精密仪器其重心较高，采用传统的隔振基座会使得设备的重心进一步提高，不利于设备的稳定运行。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种基于悬架的主动防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种基于悬架的主动防微振基座，包括支撑板、支架和支腿，所述支架包括顶板，所述顶板左右两侧分别连接有左挡板和右挡板，所述顶板后侧连接有后挡板，所述后挡板底部垂直连接有底板，所述支撑板与支架的底板栓接固定，所述支腿安装在顶板底部，所述支腿包括外壳，所述外壳内设有主气室，所述主气室顶部连接有活塞，所述活塞内部设有支撑杆，所述支撑杆顶部连接有支撑座，所述支撑杆底部连接有阻尼气囊，所述阻尼气囊内设有阻尼气室，所述阻尼气囊顶部开设有阻尼气孔，所述外壳顶部连接有位移传感器，所述外壳一侧连接有控制器。
[0007]进一步地，所述支撑板与底板之间还安装有垫板，所述垫板为橡胶板。
[0008]进一步地，所述支撑板为不锈钢板，所述支撑板的四个角分别开设有四个固定孔A。
[0009]进一步地，所述支架由不锈钢板制成。
[0010]进一步地，所述左挡板、右挡板均呈梯形结构。
[0011]进一步地，所述顶板、后挡板和底板均呈矩形结构。
[0012]进一步地，所述底板的四个角均开设有固定孔B。
[0013]进一步地，所述外壳呈圆柱形，所述外壳的外侧下方开设有进气孔，所述进气孔上安装有气动阀。
[0014]进一步地，所述支撑杆与阻尼气囊之间还连接有垫片，所述垫片为橡胶垫片。
[0015]本技术的有益效果为：
[0016]本技术通过支撑板、支撑架与支腿的悬架式组合结构，降低了设备重心，提高
了系统的稳定性，采用悬架式的结构降低了系统的固有频率，支腿采用主气室和阻尼气囊双重结构，进一步降低了系统固有频率，系统在垂向方向上的固有频率能现实小于0.5Hz。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图。
[0018]图2为本技术支架的结构示意图。
[0019]图3为本技术支腿的结构示意图。
[0020]图中1
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支撑板，101
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固定孔A，2
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支架，201
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顶板，202
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左挡板，203
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右挡板，204
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后挡板，205
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底板，206
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固定孔B，3
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支腿，301
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外壳，302
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主气室，303
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活塞，304
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支撑杆，305
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支撑座，306
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垫片，307
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阻尼气囊，308
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阻尼气室，309
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阻尼气孔，310
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进气孔，311
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气动阀，312
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位移传感器，313
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控制器，4
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垫板。
具体实施方式
[0021]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]如图1
‑
3所示，一种基于悬架的主动防微振基座，包括支撑板1、支架2和支腿3，所述支架2包括顶板201，所述顶板201左右两侧分别连接有左挡板202和右挡板203，所述顶板201后侧连接有后挡板204，所述后挡板204底部垂直连接有底板205，所述支撑板1与支架2的底板205栓接固定，所述支腿3安装在顶板201底部，所述支腿3包括外壳301，所述外壳301内设有主气室302，所述主气室302顶部连接有活塞303，所述活塞303内部设有支撑杆304，所述支撑杆304顶部连接有支撑座305，所述支撑杆304底部连接有阻尼气囊307，所述阻尼气囊307内设有阻尼气室308，所述阻尼气囊307顶部开设有阻尼气孔309，所述外壳301顶部连接有位移传感器312，所述外壳301一侧连接有控制器313。
[0023]所述支撑板1与底板205之间还安装有垫板4，所述垫板4为橡胶板。
[0024]所述支撑板1为不锈钢板，所述支撑板1的四个角分别开设有四个固定孔A101。
[0025]所述支架2由不锈钢板制成。
[0026]所述左挡板202、右挡板203均呈梯形结构。
[0027]所述顶板201、后挡板204和底板205均呈矩形结构。
[0028]所述底板205的四个角均开设有固定孔B206。
[0029]所述外壳301呈圆柱形，所述外壳301的外侧下方开设有进气孔310，所述进气孔301上安装有气动阀311。
[0030]所述支撑杆304与阻尼气囊307之间还连接有垫片306，所述垫片306为橡胶垫片。
[0031]工作时，精密仪器安装在支撑板1上，位移传感器312采集振动信号，并将采集的信号输送给控制器313，由控制器313控制支腿3驱动保持系统的位置稳定和定位精确；支腿3驱动时通过气动阀311控制进气孔310充气，主气室302内的气压足够大时气体通过阻尼气孔309进入阻尼气室308，阻尼气室308气压足够大时推动垫片306向上变形推动支撑杆304输出驱动力。
[0032]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于悬架的主动防微振基座，包括支撑板、支架和支腿，其特征在于，所述支架包括顶板，所述顶板左右两侧分别连接有左挡板和右挡板，所述顶板后侧连接有后挡板，所述后挡板底部垂直连接有底板，所述支撑板与支架的底板栓接固定，所述支腿安装在顶板底部，所述支腿包括外壳，所述外壳内设有主气室，所述主气室顶部连接有活塞，所述活塞内部设有支撑杆，所述支撑杆顶部连接有支撑座，所述支撑杆底部连接有阻尼气囊，所述阻尼气囊内设有阻尼气室，所述阻尼气囊顶部开设有阻尼气孔，所述外壳顶部连接有位移传感器，所述外壳一侧连接有控制器。2.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座，其特征在于，所述支撑板与底板之间还安装有垫板，所述垫板为橡胶板。3.根据权利要求1所述的一种基于悬架的主动防微振基座，其特征在于，所述支撑板为不锈钢板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，孙乐，高景作，
申请(专利权)人：大连地拓重工有限公司，
类型：新型
国别省市：