一种多模干涉热可调光衰减器制造技术

本实用新型专利技术属光学器件技术领域，具体为一种紧凑型多模干涉热光可调衰减器。该器件由单模输入输出波导和一个覆盖有热电极的多模干涉（ＭＭＩ）耦合器组成，根据光介质的热光效应利用条形热电极来调制多模干涉区内光介质的折射率，进而实现衰减或开关功能。该器件制作工艺简单成本较低，并具有结构紧凑，尺寸小，波长和偏振无敏感性较好等优点，适合在全光网络作为光衰减器或光开关。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种紧凑型多模干涉热光可调衰减器，其特征在于由如下部分依次组合构成：一个单模输入波导（１），一个多模干涉耦合波导（２），一个单模输出波导（３），一个“泄漏通道”单模输出波导（４），顶层热电极（５）和电源（６）；其横截面的结构从上到下依次为：顶层热电极（５），上包层（７），波导层（８），下包层（９）以及硅片衬底（１０）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴翔，徐雷，刘丽英，王文澄，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]