一种透明导电复合薄膜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种透明导电复合薄膜，本实用新型专利技术属于薄膜材料、薄膜光学领域以及薄膜机械柔性领域，首先本实用新型专利技术提供了一种柔性透明导电复合薄膜，由下至上包括玻璃或PET衬底，35

【技术实现步骤摘要】
一种透明导电复合薄膜


[0001]本技术属于薄膜材料、薄膜光学领域，提出了一种透明导电复合薄膜。

技术介绍

[0002]透明导电薄膜是一种重要的光电材料，既有高导电性，又在可见光范围内有很高的透光性，在光电产业中有着广阔的应用前景。相较于传统透明导电薄膜ITO（氧化铟锡），所提出的新型柔性导电薄膜具有方块电阻低、透射率高且机械柔韧性好等优点。
[0003]传统透明导电薄膜（公开文献：Park S K, Han J I, Moon D G , et al. Mechanical Stability of Externally Deformed Indium
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Tin
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Oxide Films on Polymer Substrates，DOI：10.1143/JJAP.42.623）虽然具有一定的透射率和导电性，但是本身这两个特性并不是太优异，更为重要的是，随着越来越多的可弯曲和可穿戴性电子设备的使用，透明导电薄膜的机械柔韧性也成为衡量其性能是否优越的重要指标之一。ITO薄膜在多次弯曲后容易出现裂纹，机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透明导电复合薄膜，其特征在于，所述薄膜由下至上包括衬底、TiO2层、Ag层、AZO层；其中所述TiO2层厚度为25
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50 nm，所述AZO层厚度为40
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80 nm，所述薄膜的透射率为87.3%~88.9%。2.根据权利要求1所述的透明导电复合薄膜，其特征在于，所述衬底为玻璃或PET。3.根据权利要求1所述的透明导电复合薄膜，其特征在于，所述薄膜的表面粗糙度≤2.0 nm。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡二涛，王敏，王德波，余柯涵，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：