废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及废显影液技术领域，具体而言，涉及一种废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质本发明专利技术解决的问题：废显影液回收后无法循环利用的问题。为解决上述问题，本发明专利技术实施例提供一种废显影液再生装置的再生方法，再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到第一分离产物；将第一分离产物通入辅助循环系统；辅助循环系统将第一分离产物输送至收集系统。产物输送至收集系统。产物输送至收集系统。

【技术实现步骤摘要】
废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及废显影液
，具体而言，涉及一种废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质。

技术介绍

[0002]光刻是电子制造中核心的工序，通过曝光把掩膜版的图案转印至光刻胶，再利用显影液溶解经曝光的光刻胶，留下未经曝光的光刻胶结构。以上显影液通常用季铵碱，常见的为四烷基氢氧化物(以下简称为TMAH)。废显影液中除了TMAH之外，还有光刻胶等杂质，影响显影效果，因此无法继续使用。废显影液属于危险废弃物，必须通过复杂的无害化处理，因此废液处理成本高。而且会造成TMAH等资源的浪费，目前显影废液中TMAH回收再利用尚有需要改善之处，一方面降低废液处理压力，另一方面回收产品再用于制程降低整体制程的成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术解决的问题：废显影液回收后无法循环利用的问题。
[0004]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种废显影液再生装置的再生方法，再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废显影液再生装置的再生方法，其特征在于，所述再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；所述第一分离系统接收废显影液，并对所述废显影液进行分离，得到第一分离产物；将所述第一分离产物通入辅助循环系统；所述辅助循环系统将所述第一分离产物输送至所述收集系统。2.根据权利要求1所述的再生方法，所述第一分离系统包括：产品室与原液室，其特征在于，所述第一分离系统接收废显影液，并对所述废显影液进行分离，得到第一分离产物包括：所述废显影液进入原液室；通过电场使所述废显影液中的离子移动；所述离子通过所述移动透过交换膜得到第一分离产物。3.根据权利要求2所述的再生方法，所述第一分离系统还包括：阳离子交换膜与阴离子交换膜，其特征在于，所述废显影液中的离子透过交换膜得到第一分离产物，包括：氢氧根离子透过阴离子交换膜进入产品室；TAA阳离子透过阳离子交换膜进入所述产品室。4.根据权利要求3所述的再生方法，其特征在于，包括：所述阴离子交换膜具有选择透过性；根据所述选择透过性截留所述高价阴离子。5.根据权利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述辅助循环系统将所述第一分离产物输送至所述收集系统，包括：将所述第一分离产物进行过滤，得到过滤产物；将所述过滤产物通入纳滤系统，得到第二分离产物；将所述第二分离产...

【专利技术属性】
技术研发人员：连杰，
申请(专利权)人：柏川新材料科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：