一种可监控温湿度的氮气柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可监控温湿度的氮气柜，包括氮气柜主体，所述氮气柜主体的内侧底部设置有调节机构，所述调节机构包括固定设置在氮气柜主体内侧底部的底板，所述底板的上端固定设置有支撑杆，所述底板的上端靠近支撑杆的一侧固定设置有限制杆，所述支撑杆的上端固定设置有固定板，所述限制杆的外侧滑动设置有滑动架，所述滑动架的一端固定设置有连接板。本实用新型专利技术所述的一种可监控温湿度的氮气柜，通过启动电机从而使得控制环沿着螺纹轴移动从而使得调控架拉动调控杆以活动轴为轴旋转从而使得连接板带动温度传感器移动达到便于温度传感器对氮气柜主体的内部进行全方位的监测的目的，从而避免监测数据误差较大的情况发生。况发生。况发生。

【技术实现步骤摘要】
一种可监控温湿度的氮气柜


[0001]本技术涉及氮气柜
，特别涉及一种可监控温湿度的氮气柜。

技术介绍

[0002]氮气柜即氮气存储柜，为一种氧浓度监控型氮气保护储物柜，适用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具等，通过控制柜内的湿度、温度和氧气浓度，从而实现对物体的干燥存储功能；传统的可监控温湿度的氮气柜有一些缺点，在使用时，由于在特殊环境下氮气柜的温湿度有一定的差异，且传统的氮气柜监控温湿度的设备是固定在指定位置处，故而导致监控温湿度的设备监测误差较大，从而不便于监控氮气柜内部的温湿度。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种可监控温湿度的氮气柜，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种可监控温湿度的氮气柜，包括氮气柜主体，所述氮气柜主体的内侧底部设置有调节机构，所述调节机构包括固定设置在氮气柜主体内侧底部的底板，所述底板的上端固定设置有支撑杆，所述底板的上端靠近支撑杆的一侧固定设置有限制杆，所述支撑杆的上端固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可监控温湿度的氮气柜，包括氮气柜主体(1)，其特征在于：所述氮气柜主体(1)的内侧底部设置有调节机构(7)，所述调节机构(7)包括固定设置在氮气柜主体(1)内侧底部的底板(71)，所述底板(71)的上端固定设置有支撑杆(72)，所述底板(71)的上端靠近支撑杆(72)的一侧固定设置有限制杆(73)，所述支撑杆(72)的上端固定设置有固定板(74)，所述限制杆(73)的外侧滑动设置有滑动架(75)，所述滑动架(75)的一端固定设置有连接板(76)，所述连接板(76)的后端固定设置有调节杆(77)，所述调节杆(77)的外侧活动设置有活动杆(78)，所述活动杆(78)的后端通过转轴活动设置有调控杆(79)，所述调控杆(79)的下端固定设置有调控架(710)，所述固定板(74)的后端固定设置有连接架(711)，所述调控杆(79)的内侧活动设置有活动轴(712)，所述调控架(710)的内侧通过转轴活动设置有控制环(713)。2.根据权利要求1所述的一种可监控温湿度的氮气柜，其特征在于：所述控制环(713)的内侧螺纹设置有螺纹轴(714)，所述螺纹轴(714)的外侧靠近控制环(713)的一侧活动设置有活动架(715)，所述支撑杆(72)的后端固定设置有底座(716)，所述底座(716)...

【专利技术属性】
技术研发人员：何秋梅，韦世敏，李海林，陶锋，钟树，陈永洪，谢刚刚，袁俊，张亦锋，
申请(专利权)人：广东利扬芯片测试股份有限公司，
类型：新型
国别省市：