一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统技术方案

本发明专利技术涉及一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，包括砂桶、换热器、水箱装置以及喷嘴装置，所述砂桶上设有砂泵Ⅰ和砂泵Ⅱ，所述砂泵Ⅰ的输入端与所述砂桶连通、输出端通过砂管Ⅰ与所述换热器连通，所述砂泵Ⅱ的输入端通过砂管Ⅱ与所述换热器连通、输出端通过喷管组件与所述喷嘴装置连通，砂桶内存储有砂浆，本发明专利技术中，在砂泵Ⅰ和砂泵Ⅱ的驱动作用下，砂浆通过砂管Ⅰ和砂管Ⅱ在砂桶与换热器之间循环流动，循环冷却系统的管路路程短，磨粒分布均匀。均匀。均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统


[0001]本专利技术涉及多线切割设备，特别涉及适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。

技术介绍

[0002]多线切割机是一种切割加工设备，通过金属丝线的高速往复运动，将半导体等硬脆性材料一次同时切割为数百片薄片。碳化硅属于硬脆性材料的一种。当切割加工碳化硅时，多线切割机需要使用砂浆去控制切割加工工序的温度。
[0003]砂浆液的温度对碳化硅的成型和成品率的控制尤为重要，因此有的多线切割机会提供一种砂浆适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。现有的循环冷却装置的管路路程长，磨粒分布不均匀。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是，该循环冷却系统的管路路程长，磨粒分布不均匀，为此提供一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，包括砂桶，换热器、水箱装置以及喷嘴装置，所述砂桶上设有砂泵Ⅰ和砂泵Ⅱ，所述砂泵Ⅰ的输入端与所述砂桶连通、输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，其特征在于，包括砂桶(10)、换热器(20)、水箱装置(30)以及喷嘴装置(40)，所述砂桶(10)上设有砂泵Ⅰ(11)和砂泵Ⅱ(12)，所述砂泵Ⅰ(11)的输入端与所述砂桶(10)连通、输出端通过砂管Ⅰ(13)与所述换热器(20)连通，所述砂泵Ⅱ(12)的输入端通过砂管Ⅱ(14)与所述换热器(20)连通、输出端通过喷管组件与所述喷嘴装置(40)连通，所述水箱装置(30)包括机架(31)、设置在所述机架(31)上的水箱(32)、设置在所述水箱(32)上的水泵Ⅰ(33)和水泵Ⅱ(34)以及设置在所述水泵Ⅱ(34)上方并与机架(31)固定连接的水凝箱(35)，所述水泵Ⅰ(33)的输入端与所述水箱(32)连通、输出端通过水管Ⅰ(36)与所述换热器(20)连通，所述水泵Ⅱ(34)的输入端通过水管Ⅱ(37)与所述换热器(20)连通、输出端通过水管Ⅲ(38)与所述水凝箱(35)连通，且所述水凝箱(35)通过水管Ⅳ(39)与所述水箱(32)连通。2.根据权利要求1所述的适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，其特征在于，所述砂桶(10)一端开设有砂浆进料口(16)，所述砂桶(10)还设有搅拌电机(17)，所述砂桶(10)内设有所述搅拌电机(17)带动搅拌砂浆的搅拌器。3.根据权利要求1所述的适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，其特征在于，所述换热器(20)包括壳体(21)，所述壳体(21)内形成换热腔，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳葳，李红春，吴灿，肖聪，汤政鹏，
申请(专利权)人：宇晶机器长沙有限公司，
类型：发明
国别省市：