一种晶圆自动涂胶设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆自动涂胶设备，包括机架，机架上依次设置有上料装置、第一涂胶装置、第一烘干装置、第二涂胶装置、第二烘干装置和下料装置，同步进行有，送料装置将第二烘干装置上的晶圆输送到下料装置上，送料装置将第二涂胶装置上的晶圆输送到第二烘干装置上，送料装置将第一烘干装置上的晶圆经过翻转并输送到第二涂胶装置上，送料装置将第一涂胶装置上的晶圆输送到第一烘干装置上，上料装置将储料框中的晶圆放置在第一涂胶装置上，上述所有的装置均与控制系统中的微控制器电连接。本设备在晶圆涂胶过程中可实现自动化批量加工，提高了生产效率，同时降低了加工过程中产生的破片情况。片情况。片情况。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动涂胶设备


[0001]本专利技术涉及晶圆加工设备领域，特别涉及一种晶圆自动涂胶设备。

技术介绍

[0002]石英晶片光刻前需要在晶圆正反两面涂覆一层光刻胶，厚度为微米级，光刻胶涂好后需要加热固化。传统的加工方式是由人工将晶圆放在旋转盘上，用滴管手动滴胶，然后经过匀胶后再将晶圆拿到热板上烘烤。传统的加工方式效率低，无法实现自动化生产，同时，传统的加工方式破片率高且光刻胶及稀释剂会对员工造成化学伤害。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种晶圆自动涂胶设备。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种晶圆自动涂胶设备，包括机架、上料装置、第一涂胶装置、第一烘干装置、第二涂胶装置、第二烘干装置、下料装置、送料装置和控制系统，所述机架上依次设置有所述上料装置、所述第一涂胶装置、所述第一烘干装置、所述第二涂胶装置、所述第二烘干装置和所述下料装置，同步进行有，所述送料装置将所述第二烘干装置上的晶圆输送到所述下料装置上，所述送料装置将所述第二涂胶装置上的所述晶圆输送到所述第二烘干装置上，所述送料装置将所述第一烘干装置上的所述晶圆经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述送料装置将所述第一涂胶装置上的所述晶圆输送到所述第一烘干装置上，所述上料装置将储料框中的所述晶圆放置在所述第一涂胶装置上，上述所有的装置均与所述控制系统中的微控制器电连接；所述第一涂胶装置和所述第二涂胶装置均包括第一支撑架、第一滑动座、喷头、喷胶阀、第一伺服电机、转动盘、定位感应器和光刻胶水回收组件，所述第一支撑架的下端固定设置在所述机架上，所述第一滑动座滑动设置在所述第一支撑架的上端，所述第一支撑架上设置有用于驱动所述第一滑动座滑动的第一气缸，所述第一气缸通过控制阀组与气源相连，所述喷头通过所述喷胶阀与胶原相连，所述喷头固定设置在所述第一滑动座上，所述第一伺服电机固定设置在所述第一支撑架下部上，所述转动盘固定设置在所述第一伺服电机的输出轴上，所述转动盘上设置有若干第一吸孔，所述第一吸孔与所述控制阀组相连，所述转动盘的外侧设置有回收光刻胶水的所述光刻胶水回收组件，所述转动盘上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆的抓取槽，所述第一支撑架上设置有用于检测所述转动盘停止位置的所述定位感应器，所述喷胶阀、所述第一伺服电机、所述控制阀组和所述定位感应器均与所述微控制器电连接。
[0005]进一步地，所述第一烘干装置和所述第二烘干装置均包括第二支撑架和电加热盘，所述第二支撑架的下端固定设置在所述机架上，所述电加热盘固定设置在所述第二支撑架的上端，所述电加热盘上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆的支撑柱，所述支撑柱的上端面与所述转动盘的上表面处在同一水平面上，所述电加热盘与所述微控制器电连
接。
[0006]进一步地，所述下料装置包括第三支撑架、第二伺服电机、第二滑动座和收料框，所述第三支撑架滑动设置在第六滑动座上，所述第六滑动座固定设置在所述机架上，所述第六滑动座上设置有用于驱动所述第三支撑架在所述第六滑动座上前后滑动的第二气缸，所述第二滑动座滑动设置在所述第三支撑架上，所述第三支撑架的顶部设置有用于驱动所述第二滑动座在所述第三支撑架上滑动的所述第二伺服电机，所述收料框固定设置在所述第二滑动座上，所述收料框上水平设置有若干用于放置所述晶圆的安装槽，所述第二气缸与所述控制阀组相连，所述第二伺服电机与所述微控制器电连接。
[0007]进一步地，所述送料装置包括升降气缸、升降台、第三滑动座、第三伺服电机、第一抓取组件、第二抓取组件和第三抓取组件，所述升降气缸竖直固定设置在所述机架上，所述升降台固定设置在所述升降气缸的输出轴上，所述升降台的下表面上设置有若干导向杆，所述机架上设置有与所述导向杆配合的所述导向孔，所述升降台上设置有导轨，所述第三滑动座设置在所述导轨上且与所述导轨配合，所述第三伺服电机驱动所述第三滑动座在所述导轨上滑动，所述第一抓取组件固定设置在所述第三滑动座上且用于将所述第一涂胶装置上的所述晶圆输送到所述第一烘干装置上，所述第二抓取组件固定设置在所述第三滑动座上且用于将所述第一烘干装置上的所述晶圆经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述第三抓取组件固定设置在所述第三滑动座上且用于将所述第二涂胶装置上的所述晶圆输送到所述第二烘干装置上，同时所述第三抓取组件将第二烘干装置上的所述晶圆输送到所述下料装置上，所述升降气缸与所述控制阀组相连，所述第三伺服电机与所述微控制器电连接。
[0008]进一步地，所述第一抓取组件、所述第二抓取组件和所述第三抓取组件均包括水平气缸、滑块、第一滑轨和抓取杆，所述水平气缸和所述第一滑轨均固定设置在所述第三滑动座上，所述水平气缸的输出轴推动所述滑块在所述第一滑轨上滑动，所述第一抓取组件上设置有一组与所述滑块相连的所述抓取杆，所述第二抓取组件上设置有两组与所述滑块相连的所述抓取杆，所述第二抓取组件上设置有一组所述抓取杆，所述第二抓取组件上设置的所述抓取杆通过旋转部件与所述滑块相连，所述抓取杆上设置有用于抓取所述晶圆的第二吸孔，所述水平气缸和所述第二吸孔均与所述控制阀组相连，所有的所述抓取杆的上表面处在同一水平面上且与所述抓取槽配合。
[0009]进一步地，所述旋转部件包括第一旋转气缸、主动齿轮、齿条、从动齿轮和固定板，所述固定板竖直固定设置在所述滑块上，所述第一旋转气缸固定设置在所述固定板上，所述主动齿轮固定设置在所述第一旋转气缸的输出轴上，所述固定板上设置有滑槽，所述齿条设置在所述滑槽中且与所述主动齿轮配合，所述抓取杆设置在所述从动齿轮上，所述从动齿轮转动设置在所述固定板上且与所述齿条配合。
[0010]进一步地，所述上料装置包括第四支撑架、固定座、第四滑动座、第五滑动座、第四伺服电机、第五伺服电机、第六伺服电机、第二旋转气缸、支撑杆和抓取盘，所述固定座固定设置在所述机架上，所述固定座上设置有第二滑轨，所述第四伺服电机固定设置在所述固定座上且用于驱动所述第四滑动座在所述第二滑轨上沿前后方向上滑动，所述第四滑动座上设置有第三滑轨，所述第五伺服电机固定设置在所述第四滑动座上且用于驱动所述第四支撑架在所述第三滑轨上沿左右方向上滑动，所述第四支撑架滑动设置有所述第五滑动
座，所述第六伺服电机固定设置在所述第四支撑架的顶部且用于驱动所述第五滑动座在所述第四支撑架沿竖直方向上滑动，所述第二旋转气缸固定设置在所述第五滑动座上，所述抓取盘通过所述支撑杆固定在所述第二旋转气缸的输出轴上，所述抓取盘上设置有第三吸孔，所述第二旋转气缸和所述第三吸孔均与所述控制阀组相连，所述第四伺服电机、所述第五伺服电机和所述第六伺服电机均与所述微控制器电连接。
[0011]进一步地，所述机架上设置有储料框，所述储料框设置在所述第四支撑架与所述第一涂胶装置中的所述第一支撑架之间，所述储料框上设置有若干竖凹槽，所述抓取盘与所述竖凹槽中的所述晶圆配合。
[0012]进一步地，所述转动盘上的所述第一吸孔通过密封组件与所述控制阀组相连，所述密封组件包括密封外壳体和密封环，所述密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：包括机架（1）、上料装置、第一涂胶装置、第一烘干装置、第二涂胶装置、第二烘干装置、下料装置、送料装置和控制系统，所述机架（1）上依次设置有所述上料装置、所述第一涂胶装置、所述第一烘干装置、所述第二涂胶装置、所述第二烘干装置和所述下料装置，同步进行有，所述送料装置将所述第二烘干装置上的晶圆（2）输送到所述下料装置上，所述送料装置将所述第二涂胶装置上的所述晶圆（2）输送到所述第二烘干装置上，所述送料装置将所述第一烘干装置上的所述晶圆（2）经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述送料装置将所述第一涂胶装置上的所述晶圆（2）输送到所述第一烘干装置上，所述上料装置将储料框（3）中的所述晶圆（2）放置在所述第一涂胶装置上，上述所有的装置均与所述控制系统中的微控制器电连接；所述第一涂胶装置和所述第二涂胶装置均包括第一支撑架（4）、第一滑动座（5）、喷头（6）、喷胶阀（7）、第一伺服电机（8）、转动盘（9）、定位感应器（10）和光刻胶水回收组件，所述第一支撑架（4）的下端固定设置在所述机架（1）上，所述第一滑动座（5）滑动设置在所述第一支撑架（4）的上端，所述第一支撑架（4）上设置有用于驱动所述第一滑动座（5）滑动的第一气缸（11），所述第一气缸（11）通过控制阀组与气源相连，所述喷头（6）通过所述喷胶阀（7）与胶原相连，所述喷头（6）固定设置在所述第一滑动座（5）上，所述第一伺服电机（8）固定设置在所述第一支撑架（4）的下部上，所述转动盘（9）固定设置在所述第一伺服电机（8）的输出轴上，所述转动盘（9）上设置有若干第一吸孔（12），所述第一吸孔（12）与所述控制阀组相连，所述转动盘（9）的外侧设置有回收光刻胶水的所述光刻胶水回收组件，所述转动盘（9）上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆（2）的抓取槽（13），所述第一支撑架（4）上设置有用于检测所述转动盘（9）停止位置的所述定位感应器（10），所述喷胶阀（7）、所述第一伺服电机（8）、所述控制阀组和所述定位感应器（10）均与所述微控制器电连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述第一烘干装置和所述第二烘干装置均包括第二支撑架（14）和电加热盘（15），所述第二支撑架（14）的下端固定设置在所述机架（1）上，所述电加热盘（15）固定设置在所述第二支撑架（14）的上端，所述电加热盘（15）上设置有方便所述送料装置抓取所述晶圆（2）的支撑柱（57），所述支撑柱（57）的上端面与所述转动盘（9）的上表面处在同一水平面上，所述电加热盘（15）与所述微控制器电连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述下料装置包括第三支撑架（16）、第二伺服电机（17）、第二滑动座（18）和收料框（19），所述第三支撑架（16）滑动设置在第六滑动座（58）上，所述第六滑动座（58）固定设置在所述机架（1）上，所述第六滑动座（58）上设置有用于驱动所述第三支撑架（16）在所述第六滑动座（58）上前后滑动的第二气缸（59），所述第二滑动座（18）滑动设置在所述第三支撑架（16）上，所述第三支撑架（16）的顶部设置有用于驱动所述第二滑动座（18）在所述第三支撑架（16）上滑动的所述第二伺服电机（17），所述收料框（19）固定设置在所述第二滑动座（18）上，所述收料框（19）上水平设置有若干用于放置所述晶圆（2）的安装槽（20），所述第二气缸（59）与所述控制阀组相连，所述第二伺服电机（17）与所述微控制器电连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述送料装置包括升降气缸（21）、升降台（22）、第三滑动座（23）、第三伺服电机（24）、第一抓取组件、第二抓取组件和第三抓取组件，所述升降气缸（21）竖直固定设置在所述机架（1）上，所述升降台（22）固定
设置在所述升降气缸（21）的输出轴上，所述升降台（22）的下表面上设置有若干导向杆（25），所述机架（1）上设置有与所述导向杆（25）配合的所述导向孔，所述升降台（22）上设置有导轨，所述第三滑动座（23）设置在所述导轨上且与所述导轨配合，所述第三伺服电机（24）驱动所述第三滑动座（23）在所述导轨上滑动，所述第一抓取组件固定设置在所述第三滑动座（23）上且用于将所述第一涂胶装置上的所述晶圆（2）输送到所述第一烘干装置上，所述第二抓取组件固定设置在所述第三滑动座（23）上且用于将所述第一烘干装置上的所述晶圆（2）经过翻转并输送到所述第二涂胶装置上，所述第三抓取组件固定设置在所述第三滑动座（23）上且用于将所述第二涂胶装置上的所述晶圆（2）输送到所述第二烘干装置上，同时所述第三抓取组件将所述第二烘干装置上的所述晶圆（2）输送到所述下料装置上，所述升降气缸（21）与所述控制阀组相连，所述第三伺服电机（24）与所述微控制器电连接。5.根据权利要求4所述的一种晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军涛，廖小明，
申请(专利权)人：成都泰美克晶体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：