一种氮化镓功率器件动态电阻的测试电路制造技术

本申请属于集成电路测试领域，具体提供了一种氮化镓功率器件动态电阻的测试电路。该测试电路包括驱动支路、高压开关支路、电流源支路和电压测量支路；其中，所述电流源支路包括充放电子支路。所述驱动支路，连接于被测氮化镓功率器件的栅极；所述高压开关支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极；所述电流源支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极；所述电压测量支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极。基于本实用新型专利技术提供的技术方案，可以提高氮化镓功率器件动态电阻测试时电流的建立速度，更有利于检出氮化镓功率器件的问题。镓功率器件的问题。镓功率器件的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓功率器件动态电阻的测试电路


[0001]本技术涉及电力电子领域，特别是指一种氮化镓功率器件动态电阻的测试电路。

技术介绍

[0002]作为第三代半导体器件的代表，氮化镓(GaN)器件凭借着禁带宽度大、导热率高、耐高温、抗辐射、耐酸碱、高强度和高硬度等优势，使其在电力电子领域占据着重要地位。随着氮化镓功率器件的应用越来越广泛，对于氮化镓功率器件的测量也变得越来越重要。
[0003]氮化镓功率器件的动态测试主要是指氮化镓功率在动态工作情况下对其动态电阻的测试。氮化镓功率器件在进行动态测试时，由于高压应力的作用，会激发电流崩塌效应，表现为氮化镓功率器件在开与关的过程中，关闭时的高压应力会使器件在开启后的导通电阻值动态变化，从器件的关闭到开通的过程中，漏极电压会从数百伏下降到数百毫伏。因此，这就要求从关闭到开通的切换速度越快越好，即氮化镓功率器件电流的建立速度越快越好，但是现有技术中的测试电路中氮化镓功率器件的电流建立速度往往在几十微妙甚至更长时间，这样一来便不能满足氮化镓功率器件动态电阻的测试要求。
技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓功率器件动态电阻的测试电路，其特征在于，包括：驱动支路、高压开关支路、电流源支路和电压测量支路；其中，所述电流源支路包括充放电子支路；所述驱动支路，连接于被测氮化镓功率器件的栅极和源极，用于驱动所述被测氮化镓功率器件栅极的导通或关断；所述高压开关支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极，用于当所述高压开关支路与所述被测氮化镓功率器件的连接导通时，向所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极之间提供高压；所述电流源支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极，用于当所述电流源支路与所述被测氮化镓功率器件的连接关断时，向所述充放电子支路充电；还用于当所述电流源支路与所述被测氮化镓功率器件的连接导通时，通过所述充放电子支路向所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极之间提供预设电流；所述电压测量支路，并联于所述被测氮化镓功率器件的漏极和源极，用于测量所述被测氮化镓功率器件在导通时的漏极和源极之间的电压。2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述高压开关支路包括：依次串联的高压源、第一开关和第一电阻；其中，所述高压源的低端连接所述被测氮化镓功率器件的源极，所述第一电阻中远离所述第一开关的一端连接所述被测氮化镓功率器件...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫肃，陈宏亮，刘惠鹏，
申请(专利权)人：北京华峰测控技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：