一种大功率射频电源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大功率射频电源，包括射频输入端和射频输出端，射频输入端和射频输出端之间并联设置至少两组功率模组，每个功率模组内串联设置滤波器、降压器和功率放大器。本实用新型专利技术能够提供一种兼顾快速高效率完成额定输出功率和安全的大功率射频电源。成额定输出功率和安全的大功率射频电源。成额定输出功率和安全的大功率射频电源。

【技术实现步骤摘要】
一种大功率射频电源


[0001]用新型涉及射频电源，尤其涉及一种大功率射频电源。

技术介绍

[0002]射频电源是一种可以产生所需频率的脉冲、频率在射频范围（约300kHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。射频电源已广泛应用于半导体蚀刻、半导体薄膜制备、去胶、LED生产、太阳能光伏产业、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等各种行业中。
[0003]随着工业不断发展，各种工艺所需的电源功率不断增大，因此对单体射频电源的输出功率要求也随之增大，通常要求单体射频电源的输出功率达到数千瓦甚至是数十千瓦。但是单体射频电源受限于腔体的匹配等限制，大功率射频电源（尤其是输出功率在3000W以上的射频电源）十分容易发生过载，功率过载后不仅射频电源本身会被烧毁产生损失，燃烧过程中会产生烟雾，甚至可能会引发使用射频电源场合火灾。

技术实现思路

[0004]技术目的：本技术的目的是提供一种兼顾快速高效率完成额定输出功率和安全的大功率射频电源。
[0005]技术方案：本技术所述的一种大功率射频电源，包括射频输入端和射频输出端，所述射频本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大功率射频电源，包括射频输入端和射频输出端，其特征在于：所述射频输入端和射频输出端之间并联设置至少两组功率模组（1），每个所述功率模组（1）内串联设置滤波器（12）、降压器（14）和功率放大器（16）。2.根据权利要求1所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述降压器（14）内设置转换器（15），所述转换器（15）与转换控制器（13）相连接，所述转换控制器（13）与滤波器（12）相连接，转换控制器（13）还与功率放大器（16）相连接。3.根据权利要求2所述的一种大功率射频电源，其特征在于：所述转换控制器（13）内设置CPU（131）和脉冲发生...

【专利技术属性】
技术研发人员：张翔，
申请(专利权)人：张翔，
类型：新型
国别省市：