一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪制造技术

技术编号:34496216 阅读:64 留言:0更新日期:2022-08-10 09:15
一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪,第一气源通过管路与第一截止阀的入口连接,第二气源通过管路与第二截止阀的入口连接,第一截止阀和第二截止阀的出口通过管路与流量控制器的入口连接,所述流量控制器出口通过管路与U形样品管入口连接,U形样品管的出口通过管路与检测器的入口连接,所述检测器的入口通过管路与所述两位三通阀的入口连接,所述两位三通阀的两个出口分别连接真空泵和排气管。通过所述真空泵给整个气路系统抽真空可以消除管路死体积中残余气体对测试的影响;同时,通过加热抽真空的方式对样品进行活化预处理,可提升活化效率,使样品表面洁净程度更高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪


[0001]本申请涉及化学吸附仪器设备领域,具体涉及一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪。

技术介绍

[0002]化学吸附仪主要采用动态法进行测试,所谓动态法即在给样品程序升温过程中通入流动的气体,在某一温度下,气体和样品发生化学反应而被消耗或样品脱附释放气体,使气体浓度发生变化,这种浓度变化被检测器检测到,便可以测试出反应发生温度、气体消耗量、气体脱附量等信息。在以上测试过程中,气体纯度越高越有利于测试的准确性。
[0003]然而,目前国内外化学吸附仪的气体流通管路都存在死体积,该死体积指的是在气体流通主管路上连接有分支管路,且该分支管路一端连接主管路另外一端封闭,这就导致死体积中的气体只能通过扩散的形式进出主管路,然而扩散的速度非常缓慢。因此主管路中流通的反应气体会被上一次测试残留在死体积中的不同气体污染,导致测试气体纯度偏低,影响测试的准确性。
[0004]另外,在样品进行化学吸附测试前需要进行活化预处理,目前国内外的化学吸附仪对样品的活化方式为:加热炉给样品加热的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪,包括:第一气源(1),第二气源(2),第一截止阀(3),第二截止阀(4),流量控制器(5),压力传感器(6),U形样品管(7),加热炉(8),检测器(9),两位三通阀(10),排气管(11),真空泵(12);所述第一气源(1)通过管路与第一截止阀(3)的入口连接,所述第二气源(2)通过管路与第二截止阀(4)的入口连接,所述第一截止阀(3)和第二截止阀(4)的出口通过管路与流量控制器(5)的入口连接,所述流量控制器(5)出口通过管路与U形样品管(7)入口连接,所述压力传感器(6)固定设置在流量控制器(5)与U形样品管(7)连接管路的支路上,U形样品管(7)的出气口与所述检测器(9)入口通过管路连接,其特征在于所述检测器(9)的出口通过管路与两位三通阀(10)的入口连接,两位三通阀(10)的两个出口分别与排气管(11)和真空泵(12)连接。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳剑峰刘小虎
申请(专利权)人:贝士德仪器科技北京有限公司
类型:新型
国别省市:

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