一种晶圆暂存冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆存放技术领域，特别涉及一种晶圆暂存冷却装置。本实用新型专利技术的一种晶圆暂存冷却装置，包括：晶圆载盘，其用于承载晶圆片；以及暂存台，暂存台内均设置有冷却部件，所述晶圆载盘设置在所述冷却部件上，所述冷却部件能够对所述晶圆载盘以及其上承载的晶圆片进行冷却降温。本实用新型专利技术的晶圆暂存冷却装置，通过在暂存台内设置冷却部件，将暂存与冷却两种功能相结合，优化了晶圆的暂存装置，解决了晶圆载盘的暂存冷却问题，结构简单，实用性强。性强。性强。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆暂存冷却装置


[0001]本技术涉及晶圆存放
，特别涉及一种晶圆暂存冷却装置。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，在完成对晶圆片的某一处理过程之后，通常需要将晶圆片向下一个处理设备进行输送，在晶圆片通过传送装置输送至下一个处理设备之前，都会暂存在晶圆暂存装置中。
[0003]随着社会进步，自动化技术逐步提高，各种行业、工业工艺向自动化，智能化发展。在半导体行业中的晶圆和晶圆载盘的暂存也不例外。半导体晶圆暂存通常使用特殊载具(晶圆载盘)，形成微环境，以保护暂存晶圆降低污染。工艺不同，晶圆暂存功能目标不同，一般情况下，晶圆片暂存在恒温恒湿环境中，以提高晶圆品质为目的。而随着工艺需求的变化，需要对晶圆片以及晶圆载盘进行冷却降温处理。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种晶圆暂存冷却装置，用于解决晶圆片和晶圆载盘的暂存冷却问题。
[0005]本技术的晶圆暂存冷却装置，包括：
[0006]晶圆载盘，其用于承载晶圆片；以及
[0007]暂存台，暂存台内均设置有冷却部件，所述晶圆载盘设置在所述冷却部件上，所述冷却部件能够对所述晶圆载盘以及其上承载的晶圆片进行冷却降温。
[0008]在一个实施方式中，包括层叠设置的至少两层所述暂存台，每层所述暂存台内均设置有第一检测器件，所述第一检测器件用于检测所述冷却部件上是否有所述晶圆载盘。
[0009]在一个实施方式中，所述冷却部件包括冷却盘，所述冷却盘内设置有盘旋的冷却液流道，所述冷却盘的外周壁上分别设置有与所述冷却液流道相连通的进液口和出液口，
[0010]其中，所述冷却盘的进液口和出液口分别与冷源装置相连，以使冷却液在所述冷却盘的冷却液流道内流动，从而使所述晶圆载盘及其上承载的所述晶圆片冷却降温。
[0011]在一个实施方式中，所述冷却盘的进液口和出液口分别通过管路系统与冷源装置相连，
[0012]所述管路系统包括：
[0013]进液主管路，所述进液主管路的入口端与所述冷源装置的出口端相连，以获取冷却液，所述进液主管路上设置有第一阀门；以及
[0014]至少一个进液支管路，所述进液支管路与所述冷却盘一一对应，所述进液支管路的入口端均与所述进液主管路的出口端相连，所述进液支管路的出口端分别与对应的所述冷却盘的进液口相连，所述进液支管路上均设置有第二阀门。
[0015]在一个实施方式中，所述进液主管路的出口端通过分水器分别与所述进液支管路的入口端相连。
[0016]在一个实施方式中，所述进液支管路上均设置有气控阀。
[0017]在一个实施方式中，所述管路系统还包括：
[0018]至少一个出液支管路，所述出液支管路与冷却盘一一对应，所述出液支管路的入口端与对应的所述冷却盘的出液口相连，
[0019]所述出液支管路上均设置有第二检测器件，所述第二检测器件用于检测相应的所述出液支管路中的冷却液的流量；以及
[0020]出液主管路，所述出液主管路的入口端分别与所述出液支管路的出口端相连，所述出液主管路的出口端与所述冷源装置的入口端相连，以回收从所述冷却盘流出的所述冷却液。
[0021]在一个实施方式中，每层所述暂存台内均设置有第三检测器件，所述第三检测器件设置在靠近所述冷却盘的进液口和/或出液口的位置处，以检测是否发生漏液。
[0022]在一个实施方式中，所述冷却盘由铝材料制成。
[0023]在一个实施方式中，所述冷却部件的上方分别设置有第四检测器件，所述第四检测器件用于检测设置在所述冷却部件上的所述晶圆载盘和所述晶圆片的温度。
[0024]与现有技术相比，本技术的优点在于：本技术的晶圆暂存冷却装置，通过在暂存台内设置冷却部件，将暂存与冷却两种功能相结合，优化了晶圆的暂存装置，解决了晶圆片及晶圆载盘暂存冷却问题，结构简单，实用性强。
附图说明
[0025]在下文中将基于实施例并参考附图来对本技术进行更详细的描述。
[0026]图1是本技术的一个实施例中的晶圆暂存冷却装置的结构示意图一；
[0027]图2是本技术的一个实施例中的晶圆暂存冷却装置的结构示意图二；
[0028]图3是本技术的一个实施例中的晶圆暂存冷却装置的正视图；
[0029]图4是本技术的一个实施例中的晶圆暂存冷却装置的侧视图；
[0030]图5是本技术的一个实施例中的晶圆暂存冷却装置的俯视图；
[0031]图6是本技术的一个实施例中的管路系统的结构示意图。
[0032]附图标记：
[0033]1‑
晶圆载盘1；2
‑
暂存台；3
‑
冷却盘；4
‑
第一阀门；5
‑
第二阀门；6
‑
气控阀；7
‑
第一检测器件；8
‑
第二检测器件；9
‑
第三检测器件；10
‑
第四检测器件；11
‑
进液主管路；12
‑
进液支管路；13
‑
分水器；14
‑
出液主管路；15
‑
出液支管路；16
‑
调平机构；17
‑
设备支架；18
‑
第一信号放大器；19
‑
第二信号放大器。
具体实施方式
[0034]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0035]如图1
‑
6中所示，本技术提供一种晶圆暂存冷却装置。晶圆暂存冷却装置包括：暂存台2、冷却部件和晶圆载盘1。晶圆片设置在晶圆载盘1上，冷却部件设置在暂存台2内，晶圆载盘1设置在冷却部件上，冷却部件能够对晶圆载盘1以及其上承载的晶圆进行冷却降温。
[0036]其中，晶圆载盘1用于承载晶圆片，在向下一个处理设备输送晶圆时，用于搬运晶
圆，以及在晶圆处理工艺工序中，用作晶圆片的特殊夹持载台。
[0037]本技术的晶圆暂存冷却装置，通过在暂存台2内设置冷却部件，将暂存与冷却两种功能相结合，优化了晶圆暂存装置，解决了晶圆片及晶圆载盘1的暂存冷却问题，结构简单，实用性强。
[0038]在一个实施例中，晶圆暂存冷却装置包括层叠设置的至少两层暂存台2，每层暂存台2内均设置有第一检测器件7，第一检测器件7用于检测冷却部件上是否有晶圆载盘1。
[0039]在本实施例中，通过设置在至少两层暂存台2，以便于晶圆载盘1的工艺循环，避免造成工艺状态等待。一般地，可设置两层暂存台2。如果需求变更，可相应地增加层数，适应能力强，有可升级空间。
[0040]同时，通过在每层暂存台2内设置第一检测器件7，用于检测当前暂存工位是否处于使用状态。具体地，第一检测器件7为对射式光纤传感器。
[0041]具体地，暂存台2包括底板和设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆暂存冷却装置，其特征在于，包括：晶圆载盘，其用于承载晶圆片；以及暂存台，暂存台内均设置有冷却部件，所述晶圆载盘设置在所述冷却部件上，所述冷却部件能够对所述晶圆载盘以及其上承载的晶圆片进行冷却降温；所述冷却部件包括冷却盘，所述冷却盘内设置有盘旋的冷却液流道，所述冷却盘的外周壁上分别设置有与所述冷却液流道相连通的进液口和出液口，其中，所述冷却盘的进液口和出液口分别与冷源装置相连，以使冷却液在所述冷却盘的冷却液流道内流动，从而使所述晶圆载盘及其上承载的所述晶圆片冷却降温。2.根据权利要求1所述的晶圆暂存冷却装置，其特征在于，包括层叠设置的至少两层所述暂存台，每层所述暂存台内均设置有第一检测器件，所述第一检测器件用于检测所述冷却部件上是否有所述晶圆载盘。3.根据权利要求1所述的晶圆暂存冷却装置，其特征在于，所述冷却盘的进液口和出液口分别通过管路系统与冷源装置相连，所述管路系统包括：进液主管路，所述进液主管路的入口端与所述冷源装置的出口端相连，以获取冷却液，所述进液主管路上设置有第一阀门；以及至少一个进液支管路，所述进液支管路与所述冷却盘一一对应，所述进液支管路的入口端均与所述进液主管路的出口端相连，所述进液支管路的出口端分别与对应的所述冷却盘的进液口相连，所述进液支管路上均设置有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜保彧，张赛，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：