本实用新型专利技术公开了一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，包括真空筒、密封盖和安装架，真空筒侧壁铰接有密封盖，安装架转动在真空筒内，安装架上下两端中心位置均固定连接有连接转轴，连接转轴上均转动连接有连接板，连接板远离连接转轴一端均固定连接在密封盖侧壁上，真空筒内侧壁上端与安装架上端外围之间设置有驱动机构，本实用新型专利技术的有益效果是：将安装架两端通过连接转轴和连接板固定到密封盖上，从而可以在密封盖打开后，将安装架从真空筒内取出，方便基片的悬挂或取出，同时利用驱动机构的驱动伞齿轮驱动，并且利用传动伞齿轮和伞齿轮套的传动，使安装架在制备类金刚石薄膜时不断旋转，无需将转轴固定在真空筒内。无需将转轴固定在真空筒内。无需将转轴固定在真空筒内。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置
[0001]本技术涉及类金刚石薄膜制备
，具体为一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置。
技术介绍
[0002]等离子制备类金刚石薄膜是利用电子束将元素沉积在基片上的同时，用离子轰击镀层，以获得比离子注入层更厚、比蒸发镀膜法附着力更大的高性能致密膜层。
[0003]在进行制备时需要将基片悬挂到挂杆的挂钩上，并且利用安装架的转动，使类金刚石薄膜可以均匀沉积，然而对于固定架的转动，通常会将转轴固定在真空筒内，导致安装架无法从真空通过内取出，最终不便于对基片的悬挂或者取出。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，包括真空筒、密封盖和安装架，所述真空筒侧壁铰接有密封盖，所述安装架转动在真空筒内，所述安装架上下两端中心位置均固定连接有连接转轴，所述连接转轴上均转动连接有连接板，所述连接板远离连接转轴一端均固定连接在密封盖侧壁上，所述真空筒内侧壁上端与安装架上端外围之间设置有驱动机构。
[0006]优选的，所述驱动机构包括驱动电机、电动气缸和伞齿轮套，所述伞齿轮套固定连接在安装架上端外侧，所述驱动电机固定连接在真空筒上端内壁且位于伞齿轮套上方，所述真空筒侧壁且位于伞齿轮套与驱动电机输出端之间固定连接有电动气缸。
[0007]优选的，所述电动气缸输出端转动连接有传动伞齿轮，所述驱动电机输出端固定连接有驱动伞齿轮，所述传动伞齿轮上下两端分别与驱动伞齿轮和伞齿轮套啮合连接，保证安装在没有固定在真空筒内的转轴驱动情况下可以正常转动。
[0008]优选的，所述连接转轴与连接板连接处固定连接有固定轴承，可以在不影响连接转轴正常转动的情况下，将连接板和连接转轴位置固定。
[0009]优选的，所述安装架内且位于安装架外围固定连接有一组挂杆，所述挂杆上均匀固定连接有挂钩，方便对基片悬挂。
[0010]优选的，所述真空筒下端内壁固定连接有支撑套，所述支撑套上端转动连接有滚珠，所述滚珠上端与安装架下端外围相接处，可以在不影响安装架转动的情况下，对安装架进行辅助支撑。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：将安装架两端通过连接转轴和连接板固定到密封盖上，从而可以在密封盖打开后，将安装架从真空筒内取出，方便基片的悬挂或取出，同时利用驱动机构的驱动伞齿轮驱动，并且利用传动伞齿轮和伞齿轮套的传动，使安装架在制备类金刚石薄膜时不断旋转，无需将转轴固定在真空筒内。
附图说明
[0012]图1为本技术的真空桶正面剖切结构示意图；
[0013]图2为本技术的图1中A处放大结构示意图；
[0014]图3为本技术的真空桶俯视剖切结构示意图；
[0015]图4为本技术的连接板与安装架连接外观结构示意图。
[0016]图中：1、真空筒；2、密封盖；3、安装架；4、挂杆；5、挂钩；6、连接板；7、连接转轴；8、驱动机构；81、伞齿轮套；82、驱动电机；83、驱动伞齿轮；84、电动气缸；85、传动伞齿轮；9、支撑套；10、滚珠。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，包括真空筒1、密封盖2和安装架3，真空筒1侧壁铰接有密封盖2，安装架3转动在真空筒1内，连接转轴7固定连接在安装架3上下两端中心位置，连接板6均转动连接在连接转轴7上，连接板6远离连接转轴7一端均固定连接在密封盖2侧壁上，驱动机构8设置在真空筒1内侧壁上端与安装架3上端外围之间。
[0019]其中，驱动机构8包括驱动电机82、电动气缸84和伞齿轮套81，伞齿轮套81固定连接在安装架3上端外侧，驱动电机82固定连接在真空筒1上端内壁且位于伞齿轮套81上方，电动气缸84固定连接在真空筒1侧壁且位于伞齿轮套81与驱动电机82输出端之间，传动伞齿轮85转动连接在电动气缸84输出端，驱动伞齿轮83固定连接在驱动电机82输出端，传动伞齿轮85上下两端分别与驱动伞齿轮83和伞齿轮套81啮合连接。
[0020]其中，为了方便对基片悬挂，并且在不影响连接转轴7正常转动的情况下，将连接板6和连接转轴7位置固定，固定轴承固定连接在连接转轴7与连接板6连接处，挂杆4固定连接在安装架3内且位于安装架3外围，挂钩5均匀固定连接在挂杆4上。
[0021]其中，为了在不影响安装架3转动的情况下，对安装架3进行辅助支撑，支撑套9固定连接在真空筒1下端内壁，滚珠10转动连接在支撑套9上端，滚珠10上端与安装架3下端外围相接处。
[0022]具体的，使用本技术时，首先将整个装置连接外部电源，然后开启驱动电机82，使驱动电机82输出端带动驱动伞齿轮83转动，并且利用传动伞齿轮85和伞齿轮套81的传动，可以使安装架3进行转动，使挂钩5上的基板表面可以均匀沉积类金刚石薄膜，在完成制备，需要将基板取出时，利用电动气缸84输出端收缩，可以使传动伞齿轮85与伞齿轮套81和驱动伞齿轮83断开连接，然后直接打开密封盖2，利用连接板6和连接转轴7的传动，可以使安装架3同步围绕密封盖2上的铰链同步转动，最终使安装架3转动至真空筒1外侧，方便对挂钩5上的基片拆卸，同时不会影响安装架3在真空筒1内正常转动。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关
系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，包括真空筒(1)、密封盖(2)和安装架(3)，所述真空筒(1)侧壁铰接有密封盖(2)，所述安装架(3)转动在真空筒(1)内，其特征在于，所述安装架(3)上下两端中心位置均固定连接有连接转轴(7)，所述连接转轴(7)上均转动连接有连接板(6)，所述连接板(6)远离连接转轴(7)一端均固定连接在密封盖(2)侧壁上，所述真空筒(1)内侧壁上端与安装架(3)上端外围之间设置有驱动机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种等离子增强制备类金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述驱动机构(8)包括驱动电机(82)、电动气缸(84)和伞齿轮套(81)，所述伞齿轮套(81)固定连接在安装架(3)上端外侧，所述驱动电机(82)固定连接在真空筒(1)上端内壁且位于伞齿轮套(81)上方，所述真空筒(1)侧壁且位于伞齿轮套(81)与驱动电机(82)输出端之间固定连接有电动气缸(84)。3...
【专利技术属性】
技术研发人员：李恒，
申请(专利权)人：上海欧昂真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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