一种电子束电磁偏转装置及偏转器制造方法及图纸

本发明专利技术属于电子束传输技术领域，公开了一种电子束电磁偏转装置及导通管，电子束电磁偏转装置包括偏转机构，偏转机构包括：X偏转线圈组,X偏转线圈组包括两个沿Y向间隔设置的铁芯组件；Y偏转线圈组，Y偏转线圈组包括两个沿X向间隔设置的铁芯组件；铁芯组件包括铁芯和线圈，X偏转线圈组的铁芯沿X向设置，X偏转线圈组的两个线圈串联形成第一回路，Y偏转线圈组的铁芯沿Y向设置，Y偏转线圈组的两个线圈串联形成第二回路；四个铁芯在同一平面内首尾相连，形成允许通导管穿过的空间，第一回路和第二回路内的电流被配置为能够改变，以改变空间内的磁场方向或者磁场大小。在平面内形成X、Y两个方向的磁场，对电子束的轴向角度进行偏转。对电子束的轴向角度进行偏转。对电子束的轴向角度进行偏转。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束电磁偏转装置及偏转器


[0001]本专利技术涉及电子束传输
，尤其涉及一种电子束电磁偏转装置及偏转器。

技术介绍

[0002]电子束，为电子经过汇集成束，利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25
‑
300KV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3
‑
0.7倍光速)，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。
[0003]在电子束传输系统中，电子束经通导管运动时，由于出光点和电子加速器等装配误差的影响，电子束与通导管在空间位置上往往存在角度差异，导致电子束与通导管不同轴，角度差异过大时，将导致电子束无法达到下一基准点，致使电子束传输系统失效。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种电子束电磁偏转装置，对电子束的轴向角度进行偏转。
[0005]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一种电子束电磁偏转装置，包括偏转机构，所述偏转机构包括：
[0007]X偏转线圈组，所述X偏转线圈组包括两个沿Y向间隔设置的铁芯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束电磁偏转装置，其特征在于，包括偏转机构，所述偏转机构包括：X偏转线圈组(1)，所述X偏转线圈组(1)包括两个沿Y向间隔设置的铁芯组件(2)；Y偏转线圈组(3)，所述Y偏转线圈组(3)包括两个沿X向间隔设置的所述铁芯组件(2)；所述铁芯组件(2)包括铁芯(21)和线圈(22)，所述线圈(22)绕置于所述铁芯(21)上，所述X偏转线圈组(1)的所述铁芯(21)沿X向设置，且所述X偏转线圈组(1)的两个所述线圈(22)串联形成第一回路，所述Y偏转线圈组(3)的所述铁芯(21)沿Y向设置，且所述Y偏转线圈组(3)的两个所述线圈(22)串联形成第二回路；四个所述铁芯(21)在同一平面内首尾相连，并形成允许通导管(8)穿过的空间，所述第一回路和所述第二回路内的电流被配置为能够改变，以改变所述空间内的磁场方向或者磁场大小。2.根据权利要求1所述的电子束电磁偏转装置，其特征在于，还包括有印制电路板(4)，所述印制电路板(4)与所述线圈(22)的引出线相接。3.根据权利要求1所述的电子束电磁偏转装置，其特征在于，所述偏转机构设置有两个，且两个所述偏转机构的中心线重合。4.根据权利要求3所述的电子束电磁偏转装置，其特征在于，两个所述偏转机构之间连接有等高柱(5)，所述等高柱(5)与所述铁芯(21)之间可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的电子束电磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁晶，邹文兵，周武德，唐爱权，魏志猛，
申请(专利权)人：博众精工科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：