一种多层压电陶瓷执行器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种多层压电陶瓷执行器，涉及元器件的技术领域，包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层，一个组件内包括多个内部电极和多个压电陶瓷体，其中，内部电极和压电陶瓷体依次堆叠，且组件的最上层和最下层均为压电陶瓷体，解决了现有的多层压电陶瓷执行器容易产生层间开裂的技术问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种多层压电陶瓷执行器


[0001]本技术涉及元器件的
，尤其是涉及一种多层压电陶瓷执行器。

技术介绍

[0002]多层压电陶瓷执行器应用领域较为广泛，可以应用于精密力学及机械工程、生命科学、医学及生物学、气/液压阀、纳米定位/高速开关和主动、自适应光学等领域，多层压电陶瓷执行器的安全可靠使用对生产生活有着重要的作用。鉴于多层压电陶瓷执行器由压电材料多层叠堆构成，在工作过程中多层压电陶瓷执行器在高度方向上会形成位移或力，并且层与层之间有相对的位移产生。但是传统工艺制作的执行器在动态工作时，层与层之间是共烧而成，没有设置相应的应力缓冲层，所以会在不同位置产生层间开裂现象，从而产生器件性能下降或者失效。
[0003]针对上述问题，还未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种多层压电陶瓷执行器，以缓解了现有的多层压电陶瓷执行器容易产生层间开裂的技术问题。
[0005]第一方面，本技术实施例提供了一种多层压电陶瓷执行器，包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层，一个组件内包括多个内部电极和多个压电陶瓷体，其中，所述内部电极和所述压电陶瓷体依次堆叠，且所述组件的最上层和最下层均为所述压电陶瓷体。
[0006]进一步地，任意相邻的两个内部电极中一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的一侧端面对齐，另一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的另一侧端面对齐。
[0007]进一步地，一个组件中包括20个内部电极和21个压电陶瓷体。
[0008]进一步地，所述多孔陶瓷层的结构为多孔疏松结构，且所述多孔陶瓷层上的多孔的排布方式为蜂窝状排布方式。
[0009]进一步地，所述多孔陶瓷层由压电陶瓷材料、有机物粉体和粘合剂构成。
[0010]进一步地，所述有机物粉体的粒度处于8微米
‑
20微米之间。
[0011]进一步地，所述内部电极由导电浆料烧制而成，其中，所述导电浆料的类型包括：银钯浆料，银浆料和银钯铂浆料。
[0012]在本技术实施例中，多层压电陶瓷执行器包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层，一个组件内包括多个内部电极和多个压电陶瓷体，其中，所述内部电极和所述压电陶瓷体依次堆叠，且所述组件的最上层和最下层均为所述压电陶瓷体，在本技术实施例中利用多孔陶瓷层吸收各个组件之间的应力，从而达到防止多层压电陶瓷执行器开裂的目的，进而解决了现有的多层压电陶瓷执行器容易产生层间开裂的技术问题，从而实现了提高多层压电陶瓷执行器的使用寿命和的技术效果。
[0013]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0014]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术实施例提供的一种多层压电陶瓷执行器。
具体实施方式
[0017]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]实施例一：
[0019]根据本技术实施例，如图1所示，提供了一种多层压电陶瓷执行器的示意图，如图1所示，该多层压电陶瓷执行器包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层2，一个组件内包括多个内部电极3和多个压电陶瓷体1，其中，所述内部电极和所述压电陶瓷体依次堆叠，且所述组件的最上层和最下层均为所述压电陶瓷体。
[0020]在本技术实施例中，多层压电陶瓷执行器包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层，一个组件内包括多个内部电极和多个压电陶瓷体，其中，所述内部电极和所述压电陶瓷体依次堆叠，且所述组件的最上层和最下层均为所述压电陶瓷体，在本技术实施例中利用多孔陶瓷层吸收各个组件之间的应力，从而达到防止多层压电陶瓷执行器开裂的目的，进而解决了现有的多层压电陶瓷执行器容易产生层间开裂的技术问题，从而实现了提高多层压电陶瓷执行器的使用寿命和的技术效果。
[0021]在本技术实施例中，如图1所示，任意相邻的两个内部电极中一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的一侧端面对齐，另一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的另一侧端面对齐。
[0022]具体的，如图1所示，内部电极交替排列，排列的方式是如图所示，奇数层内部电极的左侧端与压电陶瓷体的一侧端面对齐，右侧端留出绝缘端，绝缘端的宽度一般为0.3
‑
0.7mm，偶数层内部电极的右端与压电陶瓷体的另一侧端面平齐，左侧端留出绝缘端，绝缘端的宽度一般也为0.3
‑
0.7mm,左右两端的绝缘端交替排列。
[0023]优选的，一个组件中包括20个内部电极和21个压电陶瓷体。
[0024]另外，需要说明的是，多孔陶瓷层中的多孔蜂窝状排布，多孔陶瓷层的两端与压电陶瓷体两端平齐，厚度一般与压电陶瓷层厚度接近，多孔陶瓷层结构为多孔疏松结构，刚度
相对于压电陶瓷体的刚度要小很多，所以陶瓷应力集中后可以在多孔陶瓷层上能得到有效释放，从而能有效避免因为内部应力产生的多层压电陶瓷执行器的失效。
[0025]还需要说明的是，多孔陶瓷层由压电陶瓷材料、有机物粉体和粘合剂构成，其中，有机物粉体为聚乙烯醇粉体或碳粉，有机粉体的粒度在8
‑
20微米之间。
[0026]通过将压电陶瓷材料和碳粉或者其他具有体特性的有机物粉料按照一定比例混合均匀，并且加入粘合剂和一些助剂流延成膜片，从而得到多孔陶瓷层。
[0027]另外，内部电极由导电浆料烧制而成，其中，导电浆料的类型包括：银钯浆料，银浆料和银钯铂浆料。
[0028]将导电浆料导入两个压电陶瓷体之间以后，对压电陶瓷层，导电浆料以及多孔陶瓷层通过共烧的方式烧结成一体，从而得到多层压电陶瓷执行器。
[0029]本技术实施例提供的多层压电陶瓷执行器，使用了多孔陶瓷层，这个界面层由于其刚度和压电陶瓷的体的刚度相比远远的小于，所以多层压电陶瓷执行器动态工作时的应力会响度集本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层压电陶瓷执行器，其特征在于，包括：多个组件，任意两个组件之间设置有一层多孔陶瓷层，一个组件内包括多个内部电极和多个压电陶瓷体，其中，所述内部电极和所述压电陶瓷体依次堆叠，且所述组件的最上层和最下层均为所述压电陶瓷体。2.根据权利要求1所述的多层压电陶瓷执行器，其特征在于，任意相邻的两个内部电极中一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的一侧端面对齐，另一个内部电极与所述任意相邻的两个内部电极之间的压电陶瓷体的另一侧端面对齐。3.根据权利要求1所述的多层压电陶瓷执行器，其特征在于，一个组件中包括20个内部电极和21个压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓峰，
申请(专利权)人：苏州攀特电陶科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：