【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】三维形状计测装置、三维形状计测方法及程序
[0001]本专利技术涉及三维形状的测定装置、三维形状计测方法及程序。
技术介绍
[0002]以往，在对安装于印刷基板的部件的焊料接合状态进行检查的
等中，已知有基于所谓的相移法的三维形状的计测方法。相移法是改变相位而取得(拍摄)多个将图案光投影到物体表面的状态的图像，通过分析该多个图像中的图案的变形来复原物体表面的三维形状的方法之一。在使用这样的相移法来计测印刷基板的情况下，存在如下问题：照射到焊料那样的镜面性高的构件的光发生正反射，对计测精度造成不良影响。
[0003]对此，例如在专利文献1中公开了对上述相移法组合了基于所谓的彩色高光方式的镜面物体的三维形状计测的基板检查装置。此外，彩色高光方式是指如下方法：以互不相同的入射角向基板照射多个颜色(波长)的光，在焊料表面显现与其法线方向对应的颜色特征(从照相机观察时处于正反射方向的光源的颜色)的状态下进行拍摄，由此将焊料表面的三维形状捕捉为二维的色相信息。由此，通过对印刷基板的镜面部分进行基于彩色高光的计测，对树脂等漫...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种三维形状计测装置，其特征在于，所述三维形状计测装置具有：投影单元，其针对计测对象从相对于所述计测对象的绕铅垂轴的角度不同的多个方向投影图案光；拍摄单元，其对所述计测对象进行拍摄；以及计测单元，其基于由所述拍摄单元拍摄到的图像对所述计测对象的三维形状进行计测，所述拍摄单元取得反射形态不同的多个图案投影图像，所述多个图案投影图像是从所述多个方向投影图案光而得到的多个图像，所述反射形态是所述计测对象中具有倾斜的部位处的包含所述图案光的强度在内的反射形态，所述计测单元基于构成所述多个图案投影图像的各像素的规定特征量在各图像间的差异，计测所述倾斜的方向。2.根据权利要求1所述的三维形状计测装置，其特征在于，所述投影单元在以所述计测对象为中心的一个圆周上，至少从以所述计测对象为中心而对置的多个不同的位置对所述计测对象投影所述图案光，由此从所述多个方向投影图案光。3.根据权利要求1或2所述的三维形状计测装置，其特征在于，所述投影单元配置为能够在以所述计测对象为中心的圆周方向上转动，从以所述计测对象为中心的一个圆周上的多个不同的位置对所述计测对象投影图案光，由此从所述多个方向投影图案光。4.根据权利要求1或2所述的三维形状计测装置，其特征在于，在以所述计测对象为中心的一个圆周上的多个不同的位置配置有多个所述投影单元，多个所述投影单元分别向所述计测对象投影图案光，由此从所述多个方向投影图案光。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的三维形状计测装置，其特征在于，所述三维形状计测装置还具有照明单元，所述照明单元从铅垂方向至水平方向之间的多个不同的角度对所述计测对象分别照射不同波长的照明光，所述拍摄单元还取得被照射了所述照明光的所述计测对象的照明光照射图像，所述计测单元还根据所述照明光照射图像中的包含所述照明光的强度和波长中的任意方在内的反射形态对所述倾斜的程度进行计测。6.根据权利要求5所述的三维形状计测装置，其特征在于，所述三维形状计测装置还具有图像显示单元，所述图像显示单元显示根据由所述拍摄单元取得的所述照明光照射图像和所述多个图案投影图像而制作的特殊图像，所述特殊图像是将根据所述照...
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