一种用于硬X射线的真空内低散射狭缝装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于硬X射线的真空内低散射狭缝装置，包括可组装在一起形成一个真空密封腔体的第一真空模块和第二真空模块，其分别包括：设置于腔体内的平行导轨，设置于平行导轨之间的双向丝杠，以及通过双向丝杠驱动连接可做直线一维运动的上刀片和下刀片、左刀片和右刀片；其中，上、下、左、右刀片分别通过呈一定夹角布置的两片单晶刀口组成，从而共同围成一个八角形X射线通光孔。根据本发明专利技术提供的真空内低散射狭缝装置，通过提供一种尺寸和形状均能变化的八角形X射线通光孔，不仅可降低在硬X射线波段的寄生散射，而且可消除出射光束的各向异性散射本底，还具有装配精度高、稳定性好、结构简单、维修便利等优点，具有良好的应用前景。景。景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硬X射线的真空内低散射狭缝装置


[0001]本专利技术涉及光学实验设备领域，更具体地涉及一种用于硬X射线的真空内低散射狭缝装置。

技术介绍

[0002]X射线是波长介于紫外线和γ射线之间的电磁波。其波长很短，约介于0.001～10nm之间。由于其波长不在人眼可观测范围内，因而无法用X射线探测器以外的方法观测到。X射线具有较强的穿透性，尤其是波长在0.01nm～0.1nm之间的硬X射线，医学上常用作透视检查，工业中用来探伤。在X射线设备中，包含X射线机和同步辐射光束线站，使用大量的精密狭缝，作为重要部件，用于限定光束张角、阻挡杂散光、提高能量分辨率和定义二次光源等等。其中，在X射线衍射仪器中，狭缝被广泛应用于光束的确定和准直，控制光束的大小和发散度，这是确定测量分辨率的两个关键参数。而在小角度X射线散射仪器中，狭缝还被用来降低光路上的寄生杂散，优化散射背底。
[0003]典型的X射线狭缝刀口是由机加工的高密度金属(如钨或钽)制成的，因为它们具有高X射线衰减。然而，多晶金属材料固有的纳米和微尺度孔隙率，包括多个晶粒和晶界，以及孔径边本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硬X射线的真空内低散射狭缝装置，其特征在于，包括分别提供为一个侧面敞开、其他侧面封闭的长方体形腔体的第一真空模块和第二真空模块，二者沿前后方向组装在一起形成一个真空密封腔体，所述第一真空模块和所述第二真空模块沿前后方向相对的侧面上分别具有供X射线穿过的入射窗和出射窗；其中，所述第一真空模块还包括：设置于所述腔体内的第一对平行导轨，设置于所述第一对平行导轨之间的第一双向丝杠，以及通过所述第一双向丝杠驱动连接可在上下方向上做直线一维运动的上刀片和下刀片；所述第二真空模块还包括：设置于所述腔体内的第二对平行导轨，设置于所述第二对平行导轨之间的第二双向丝杠，以及通过所述第二双向丝杠驱动连接可在左右方向上做直线一维运动的左刀片和右刀片；其中，所述上、下、左、右刀片分别通过呈一定夹角布置的两片单晶刀口组成，所述上、下、左、右刀片共同围成一个八角形X射线通光孔。2.根据权利要求1所述的真空内低散射狭缝装置，其特征在于，通过调整所述上、下、左、右刀片的位置，就可以实现所述八角形X射线通光孔的尺寸变化和/或形状变化。3.根据权利要求1所述的真空内低散射狭缝装置，其特征在于，所述上、下刀片的行程范围通过一对正、负限位开关限定，所述左、...

【专利技术属性】
技术研发人员：滑文强，周平，边风刚，
申请(专利权)人：中国科学院上海高等研究院，
类型：发明
国别省市：