显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种显示装置及其制造方法。根据实施例的显示装置可以包括：基板；第一信号线和第二信号线，位于所述基板上；以及层间绝缘膜，位于所述第一信号线与所述第二信号线之间，其中，所述层间绝缘膜包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分的沿与所述基板表面垂直的第一方向从所述基板表面测量的高度不同，所述层间绝缘膜的所述第一部分的表面是平坦的，所述层间绝缘膜的所述第二部分的表面是平坦的，所述第一部分的所述高度低于所述第二部分的所述高度，所述层间绝缘膜具有接触孔，所述接触孔位于所述层间绝缘膜的所述第一部分。第一部分。第一部分。

【技术实现步骤摘要】
显示装置及其制造方法


[0001]本专利技术涉及一种显示装置及其制造方法。

技术介绍

[0002]液晶显示装置(LCD：liquid crystal display)、等离子体显示装置(PDP：plasma display panel)、有机发光显示装置(OLED device：organic light emitting diode device)、场效应显示装置(FED：field effect display)、电泳显示装置(electrophoretic display device)等广为人知。
[0003]其中，有机发光显示装置具有自发光(self
‑
luminance)特性，与液晶显示装置不同，不需要额外的光源，因此能够减小厚度和重量。并且，有机发光显示装置具有低功耗、高亮度及较快的响应速度等高品质特性。
[0004]另外，在显示装置的有机膜表面不平坦的情况下，形成于其上的布线可能由于有机膜表面阶梯差而短路，在有机膜的厚度太厚的情况下，难以在有机膜形成用于接触的接触孔，由此，有机膜的上方和下方的层之间的通过接触孔的连接可能发生不良。

技术实现思路

[0005]实施例用于提供一种如下的显示装置及其制造方法：使显示装置的绝缘膜的表面变得平坦，并且容易地在绝缘膜形成接触孔，从而能够防止由绝缘膜的阶梯差引起的布线的短路及通过接触孔的连接发生不良。
[0006]本专利技术的目的并不限于上述的目的，其可以在不脱离本专利技术的思想及领域的范围内实现多种扩展。<br/>[0007]根据实施例的显示装置可以包括：基板；第一信号线和第二信号线，位于所述基板上；以及层间绝缘膜，位于所述第一信号线与所述第二信号线之间，其中，所述层间绝缘膜包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分的沿与所述基板表面垂直的第一方向从所述基板表面测量的高度不同，所述层间绝缘膜的所述第一部分的表面是平坦的，所述层间绝缘膜的所述第二部分的表面是平坦的，所述第一部分的所述高度低于所述第二部分的所述高度，所述层间绝缘膜具有接触孔，所述接触孔位于所述层间绝缘膜的所述第一部分。
[0008]所述层间绝缘膜的所述第一部分可以与所述第一信号线及所述第二信号线重叠，所述层间绝缘膜的所述接触孔使所述第一信号线的一部分暴露。
[0009]所述第一部分和所述第二部分可以通过研磨而形成。
[0010]所述层间绝缘膜可以包括第一层和位于所述第一层上的第二层，位于所述层间绝缘膜的所述第二部分的所述第二层的一部分的所述高度可以与位于所述层间绝缘膜的所述第二部分的所述第一层的一部分的所述高度相同。
[0011]所述第一层可以包括硅氮化物，所述第二层可以包括硅氧化物。
[0012]所述显示装置还可以包括：第一电容器电极和第二电容器电极，将所述层间绝缘
膜置于之间而彼此重叠，其中，所述第一电容器电极和所述第二电容器电极可以与所述层间绝缘膜的所述第一部分重叠。
[0013]所述显示装置还可以包括：第一层间绝缘膜，位于所述第一信号线和所述第二信号线上；以及第三信号线，位于所述第一层间绝缘膜上，其中，所述第一层间绝缘膜可以包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第三部分和第四部分，所述第一层间绝缘膜的所述第三部分的表面可以是平坦的，所述第一层间绝缘膜的所述第四部分的表面可以是平坦的。
[0014]所述显示装置还可以包括：第二层间绝缘膜，位于所述第三信号线上，其中，所述第二层间绝缘膜可以包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第五部分和第六部分，所述第二层间绝缘膜的所述第五部分的表面可以是平坦的，所述第二层间绝缘膜的所述第六部分的表面可以是平坦的。
[0015]根据一实施例的显示装置的制造方法可以包括如下步骤：在基板上形成第一信号线；在所述第一信号线上堆叠绝缘层，所述绝缘膜包括沿与所述基板表面垂直的第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第一部分和第二部分；研磨所述绝缘层以形成层间绝缘膜，所述层间绝缘膜包括第三部分和第四部分，所述第三部分和所述第四部分的沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同；在所述层间绝缘膜形成接触孔；以及在所述层间绝缘膜上形成第二信号线，其中，所述层间绝缘膜的所述第一部分的表面平坦地形成，所述层间绝缘膜的所述第二部分的表面平坦地形成，所述层间绝缘膜的所述第三部分的所述高度形成为低于所述第四部分的所述高度，所述层间绝缘膜的所述接触孔形成为位于所述层间绝缘膜的所述第三部分。
[0016]所述绝缘层的所述第一部分与所述第二部分的第一表面阶梯差可以大于所述层间绝缘膜的所述第三部分与所述第四部分的第二表面阶梯差。
[0017]所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：将所述层间绝缘膜的所述接触孔形成为与所述第一信号线重叠。
[0018]可以利用平坦化装置对所述第一部分和所述第二部分进行研磨。
[0019]堆叠所述绝缘层的方法可以包括堆叠第一层的步骤和在所述第一层上堆叠第二层的步骤，在研磨所述绝缘层的步骤中，可以将所述第一层作为止挡件而对所述第二层进行研磨。
[0020]所述第一层可以包括硅氮化物，所述第二层包括硅氧化物。
[0021]所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：形成将所述层间绝缘膜置于之间而彼此重叠的第一电容器电极和第二电容器电极，其中，所述第一电容器电极和所述第二电容器电极可以形成为与所述层间绝缘膜的所述第三部分重叠。
[0022]所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：形成位于所述第一信号线和所述第二信号线上的第一层间绝缘膜；在所述第一层间绝缘膜上形成第三信号线。
[0023]形成所述第一层间绝缘膜的步骤可以包括如下步骤：在所述第一信号线和所述第二信号线上堆叠第一绝缘层，所述第一绝缘层包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第五部分和第六部分；以及对所述第一绝缘层进行研磨而形成第一层间绝缘膜，所述第一层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第七部分和第八部分，其中，所述第一层间绝缘膜的所述第七部分的表面平坦地形成，所述第一层间
绝缘膜的所述第八部分的表面平坦地形成。
[0024]所述显示装置的制造方法还可以包括如下步骤：在所述第三信号线上形成第二层间绝缘膜。
[0025]形成所述第二层间绝缘膜的步骤可以包括如下步骤：在所述第三信号线上堆叠第二绝缘层，所述第二绝缘层包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第九部分和第十部分；以及对所述第二绝缘层进行研磨而形成第二层间绝缘膜，所述第二层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第十一部分和第十二部分，其中，所述第二层间绝缘膜的所述第十一部分的表面平坦地形成，所述第二层间绝缘膜的所述第十二部分的表面平坦地形成。
[0026]基于根据实施例的显示装置及其制造方法，使显示装置的绝缘膜的表面变得平坦，并且容易地在绝缘膜形成接触孔，从而能够防止由绝缘膜的阶梯差引起的布线的短路及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：基板；第一信号线和第二信号线，位于所述基板上；以及层间绝缘膜，位于所述第一信号线与所述第二信号线之间，其中，所述层间绝缘膜包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分的沿与所述基板表面垂直的第一方向从所述基板表面测量的高度不同，所述层间绝缘膜的所述第一部分的表面是平坦的，所述层间绝缘膜的所述第二部分的表面是平坦的，所述第一部分的所述高度低于所述第二部分的所述高度，所述层间绝缘膜具有接触孔，所述接触孔位于所述层间绝缘膜的所述第一部分。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述层间绝缘膜的所述第一部分与所述第一信号线及所述第二信号线重叠，所述层间绝缘膜的所述接触孔使所述第一信号线的一部分暴露。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一部分和所述第二部分通过研磨而形成。4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述层间绝缘膜包括第一层和位于所述第一层上的第二层，位于所述层间绝缘膜的所述第二部分的所述第二层的一部分的所述高度与位于所述层间绝缘膜的所述第二部分的所述第一层的一部分的所述高度相同。5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第一层包括硅氮化物，所述第二层包括硅氧化物。6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，还包括：第一电容器电极和第二电容器电极，将所述层间绝缘膜置于之间而彼此重叠，其中，所述第一电容器电极和所述第二电容器电极与所述层间绝缘膜的所述第一部分重叠。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，还包括：第一层间绝缘膜，位于所述第一信号线和所述第二信号线上；以及第三信号线，位于所述第一层间绝缘膜上，其中，所述第一层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第三部分和第四部分，所述第一层间绝缘膜的所述第三部分的表面是平坦的，所述第一层间绝缘膜的所述第四部分的表面是平坦的。8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，还包括：第二层间绝缘膜，位于所述第三信号线上，其中，所述第二层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第五部分和第六部分，所述第二层间绝缘膜的所述第五部分的表面是平坦的，所述第二层间绝缘膜的所述第六部分的表面是平坦的。
9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，还包括：第一电容器电极和第二电容器电极，将所述层间绝缘膜置于之间而彼此重叠，其中，所述第一电容器电极和所述第二电容器电极与所述层间绝缘膜的所述第一部分重叠。10.根据权利要求9所述的显示装置，其中，还包括：第一层间绝缘膜，位于所述第一信号线和所述第二信号线上；以及第三信号线，位于所述第一层间绝缘膜上，其中，所述第一层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第三部分和第四部分，所述第一层间绝缘膜的所述第三部分的表面是平坦的，所述第一层间绝缘膜的所述第四部分的表面是平坦的。11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，还包括：第二层间绝缘膜，位于所述第三信号线上，其中，所述第二层间绝缘膜包括沿所述第一方向从所述基板表面测量的高度不同的第五部分和第六部分，所述第二层间绝缘膜的所述第五部分的表面是平坦的，所述第二层间绝缘膜的所述第六部分的表面是平坦的。12.一种显示装置的制造方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋秉权，姜胜培，梁熙星，姜奉求，姜泰旭，曹雨辰，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：