一种静电式微型发声装置制造方法及图纸

一种静电式微型发声装置，包括底座和固定在底座上的振动发声部件，振动发声部件包括振膜、第一电极结构、第二电极结构和应力传动层。底座呈中间具有空腔、四边连接的框型结构，第一电极结构和应力传动层的数量分别为两个，两个第一电极结构互相平行且向外的一端分别连接应力传动层的一端，应力传动层的另一端与底座的其中两边连接，第二电极结构位于两个第一电极结构的中间且两端与底座的另外两边连接，振膜贴附于第一电极结构、第二电极结构和应力传动层上。本发明专利技术的发声装置采用静电驱动代替压电驱动，利用电极结构相互运动趋势产生的应力及对应力的约束产生间接的面外翘曲，驱动效率更高，发声面更大。发声面更大。发声面更大。

An electrostatic miniature sound generating device

【技术实现步骤摘要】
一种静电式微型发声装置


[0001]本专利技术涉及声电
，特别是涉及一种静电式微型发声装置。

技术介绍

[0002]微型发声装置（扬声器）广泛应用于智能手机、音响、可穿戴设备等场景。随着消费类电子设备的小型化、智能化和一体化，对微型扬声器的体积、加工成本等提出越来越苛刻的要求，传统的精密加工微型扬声器将逐渐被基于MEMS（微机电系统）的扬声器芯片所替代。无论何种扬声器，其发声原理均为机械振动推动空气发声。从驱动原理来看，微型扬声器可分为电磁驱动扬声器、静电驱动扬声器、热电驱动扬声器和压电驱动扬声器；具体到MEMS扬声器芯片，其加工基于类似IC的半导体工艺平台。电磁驱动需要线圈和磁体结构，MEMS芯片不易形成；热电驱动本身具有受温度影响大、非线性、响应延迟等缺陷；静电驱动虽然技术成熟，但是其驱动力较小，单位时间排空量不足，不易获得较好的声学性能。目前市场上的方案以压电驱动居多；MEMS压电扬声器结构简单、易加工，也可以获得较大的位移量，从而获得较高的SPL（sound pressure level，声压级，衡量扬声器声学性能的重要指标）。但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电式微型发声装置，其特征在于：包括底座（10）和固定在所述底座（10）上的振动发声部件，所述振动发声部件包括振膜（20）、第一电极结构（30）、第二电极结构（40）和应力传动层（50）；所述底座（10）呈中间具有空腔、四边连接的框型结构；所述第一电极结构（30）和所述应力传动层（50）的数量分别为两个，两个第一电极结构（30）互相平行且向外的一端分别连接应力传动层（50）的一端，应力传动层（50）的另一端与底座（10）的其中两边连接；所述第二电极结构（40）位于两个第一电极结构（30）的中间且两端与底座（10）的另外两边连接；所述振膜（20）贴附于第一电极结构（30）、第二电极结构（40）和应力传动层（50）上。2.根据权利要求1所述的一种静电式微型发声装置，其特征在于：所述第一电极结构（30）包括第一梳齿梁（31），第一梳齿梁（31）向内的一侧设有一定数量均匀分布的第一梳齿（32），第二电极结构（40）包括第二梳齿梁（41），第二梳齿梁（41）两侧分别设有一定数量与第一梳齿（32）交错分布的第二梳齿（42）。3.根据权利要求2所述的一种静电式微型发声装置，其特征在于：所述第二梳齿梁（41）两端设有互相平行的连接梁（43），连接梁（43）的两端及外侧与底座（10）轮廓相对应。4.根据权利要求1所述的一种静电式微型发声装置，其特征在于：两个所述应力传动层（50）的表面分别设有传动阻滞层（60），所述第二电极结构（40）的厚度为应力传动层（50）与传动阻滞层（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王颖，陈继兵，杨军胜，
申请(专利权)人：武汉轻工大学，
类型：发明
国别省市：