平面度测定单元制造技术

本发明专利技术提供一种平面度测定单元，载置于搁板，用于测定与从搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度，其中，具备：主体框架；以及4个接地部，分散配置在主体框架上，设置成与搁板上的4个规定部位分别接地。4个接地部包括不位于对角位置的两个第1接地部、以及第1接地部以外的两个第2接地部。将重心位置设置在平面度测定单元中由通过位于对角位置的第1接地部与第2接地部的两条对角线所划分的4个区域中的、包括两个第1接地部的区域。部的区域。部的区域。

Flatness measurement unit

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】平面度测定单元


[0001]本专利技术的一个方面涉及平面度测定单元。

技术介绍

[0002]已知有一种净化储料器，具备多个载置收纳容器的搁板，通过净化气体对载置于搁板的收纳容器的内部进行净化处理(例如，参照专利文献1)。在这样的净化储料器中，使净化气体在与收纳容器之间流通的多个喷嘴设置在搁板上。
[0003]专利文献1：国际公开第2015/194255号

技术实现思路

[0004]在上述净化储料器中，在将收纳容器载置于搁板时，为了适当地进行净化处理，需要以规定的接触压力使喷嘴与收纳容器密接。因此，为了将收纳容器适当地接地在搁板上，要求使搁板上的4个部位存在于同一平面上。因此，在上述净化储料器中，期望测定与从搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度。作为测定这样的搁板上的平面度的方法，考虑三维地计测这4个规定部位的方法，但该测定作业花费大量的工时，不现实。
[0005]本专利技术的一个方面是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够容易地进行搁板上的平面度的测定作业的平面度测定单元。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种平面度测定单元，载置于搁板，用于测定与从上述搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度，具备：主体框架；以及4个接地部，分散配置在上述主体框架上，设置成与上述搁板上的4个上述规定部位分别接地，4个上述接地部包括不位于对角位置的两个第1接地部、以及上述第1接地部以外的两个第2接地部，将重心位置设置在如下区域：该区域为在上述平面度测定单元中由通过位于对角位置的上述第1接地部与上述第2接地部的两条对角线所划分的4个区域中的、包括两个上述第1接地部的区域。2.根据权利要求1所述的平面度测定单元，其中，具备测定装置，设置在上述主体框架中的上述第2接地部的周边，在上述平面度测定单元载置于上述搁板的状态下，测定到上述搁板上的与上述第2接地部对应的上述规定部位或者其周边部位为止的距离。3.根据权利要求1所述的平面度测定单元，其中，上述第2接地部具有构成球面状或者凸曲面状的接地面的凸部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的平面度测定单元，其中，上述第1接地部具有将内表面作为接地面的槽部或者凹部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的平面度测定单元，其中，上述接地部的硬度比上述主体框架的硬度低。6.根据权利要求1至5中任一项所述的平面度测定单元，其中，在上述主体框架设置有供作业者把持的把持部。7.根据权利要求1至6中任一项所述的平面度测定单元，其中，在上述主体框架中的上述第1接地部侧设置有平衡配重。8.根据权利要求1至7中任一项所述的平面度测定单元，其中，在上述搁板上设置有朝上方突出的销，在上述主体框架设置有在上述平面度测定单元载置于上述搁板的状态下、在与上述销之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：椿达雄，横山裕之，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
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