X射线模块制造技术

本发明专利技术的X射线模块包括：箱体、在箱体内出射电子束的电子枪；配置在箱体内且固定在箱体的、因电子束的入射而产生X射线的靶；和具有永磁铁，配置在箱体外，利用永磁铁的磁力使电子束偏转的偏转部。偏转部具有至少配置在永磁铁与箱体之间的隔热部件，隔热部件的导热率低于永磁铁的导热率。永磁铁的导热率。永磁铁的导热率。

X-ray module

【技术实现步骤摘要】
X射线模块


[0001]本公开的一个方面涉及X射线模块。

技术介绍

[0002]作为X射线模块，已知的方式包括：照射电子束的阴极；被照射电子束而产生X射线的靶；和利用永磁铁的磁场使照射至靶的电子束的照射位置移动的磁铁部(例如请参照日本特开2004
‑
265602号公报)。在专利文献1记载的X射线模块中，在当前的照射位置靶劣化了的情况下能够使照射位置，能够延长靶的寿命。

技术实现思路

专利技术要解决的技术问题
[0003]在上述那样的X射线模块中，电子束在靶中转换成X射线的转换效率为1％左右，入射的电子束的大约99％成为热，因此在靶上可能产生大量的热。当该热传递至永磁铁时，永磁铁被加热而导致磁力变小。在此情况下，电子束的偏转量发生变化，X射线焦点(靶上的电子束的照射点)的位置发生变化。例如如果CT(Computed Tomography：计算机断层扫描)等中连续摄影时X射线焦点的位置发生变化，则可能会导致取得画像中产生模糊。
[0004]于是，本专利技术的一个方面的目的是，提供能够稳定地输出X射线的X射线模块。用于解决技术问题的技术手段
[0005]本公开的一个方面的X射线模块包括：箱体；在箱体内出射电子束的电子枪；配置在箱体内且固定于箱体的、因电子束的入射而产生X射线的靶；和具有永磁铁，配置在箱体外，利用永磁铁的磁力使电子束偏转的偏转部，偏转部具有至少配置在永磁铁与箱体之间的隔热部件，隔热部件的导热率低于永磁铁的导热率。
[0006]在该X射线模块中，偏转部具有至少配置在永磁铁与箱体之间的隔热部件，隔热部件的导热率低于永磁铁的导热率。由此，即使在靶上产生的热传递至了偏转部，也能够利用隔热部件抑制该热传递至永磁铁，其结果是，能够抑制因靶上产生的热而使永磁铁被加热。因此，根据该X射线模块，能够稳定地输出X射线。
[0007]也可以是，隔热部件的导热率低于箱体的与偏转部接触的接触部分的导热率。在此情况下，即使靶上产生的热经箱体传递至了偏转部，也能够利用隔热部件抑制该热传递至永磁铁。
[0008]也可以是，隔热部件在内部收纳着永磁铁。在此情况下，能够有效地抑制靶上产生的热传递至永磁铁。
[0009]也可以是，隔热部件以将永磁铁与箱体之间隔开的方式延伸。在此情况下，能够有效地抑制靶上产生的热传递至永磁铁。
[0010]也可以是，偏转部还具有保持永磁铁的保持部件，保持部件的导热率高于永磁铁的导热率。在此情况下，能够使传递至偏转部的热向保持部件散热。
[0011]也可以是，隔热部件使永磁铁与保持部件隔开间隔。在此情况下，能够抑制热从保
持部件传递至永磁铁。
[0012]也可以是，在与从电子枪出射的所述电子束向靶前进的路径垂直的方向看的情况下，偏转部包括与路径重叠的部分。在此情况下，能够利用偏转部使电子束良好地偏转。
[0013]也可以是，本专利技术的一个方面的X射线模块还包括散热部，其具有比永磁铁的导热率高的导热率，与偏转部热连接。在此情况下，能够使传递至偏转部的热向散热部散热。
[0014]也可以是，散热部包括多个翅片。在此情况下，能够提高散热部的散热性。
[0015]也可以是，散热部形成为管状。在此情况下，能够提高散热部的散热性。专利技术的效果
[0016]根据本专利技术的一个方面，能够提供能够稳定地输出X射线的X射线模块。
附图说明
[0017]图1是实施方式的X射线产生装置的截面图。
[0018]图2是X射线管的截面图。
[0019]图3是X射线管的分解立体图。
[0020]图4是表示突出部的周边的截面图。
[0021]图5是表示靶的周边的截面图。
[0022]图6是X射线管的截面图。
[0023]图7是表示偏转部的周边的截面图。
[0024]图8是第1变形例的X射线产生装置的截面图。
[0025]图9是第2变形例的X射线产生装置的截面图。
具体实施方式
[0026]以下，参照附图对本专利技术的一个实施方式进行详细说明。在以下的说明中，对同一或相当的要素使用同一附图标记，省略重复的说明。[X射线产生装置][0027]图1所示的X射线产生装置(X射线模块)100例如是在观察检查对象的内部结构的X射线非破坏检查中使用的微小焦点X射线源。X射线产生装置100包括X射线管1、散热部7、壳体110和电源部120。
[0028]如图2所示，X射线管1是，使通过使来自电子枪3的电子束B入射至靶4而产生且透过靶4自身的X射线XR在沿电子束B的入射方向的方向上从X射线出射窗5出射的透射型的X射线管。X射线管1是包括箱体2的不需要进行部件交换等的真空密封型的X射线管，其中，箱体2具有真空的内部空间R。以下，令与X射线管1的管轴AX平行的方向为轴方向A，令轴方向A的一侧(图中上侧)为第1侧S1，令轴方向A的另一侧(第1侧S1的相反侧)为第2侧S2，进行说明。在X射线管1中，电子束B的光轴与X射线XR的光轴一致。
[0029]箱体2具有大致圆柱状的外形。箱体2具有：由金属材料形成的头部21；和由玻璃等绝缘材料形成的绝缘真空管22。在头部21，固定着靶4和X射线出射窗5。
[0030]电子枪3固定在绝缘真空管22。电子枪3在内部空间R中出射电子束B。电子枪3例如由加热器31、阴极32、第1格栅电极33和第2格栅电极34从第2侧S2其依次排列而构成。加热器31由通电时发热的电热丝构
成。阴极32通过加热器31被加热而释放电子。第1格栅电极33和第2格栅电极34形成为筒状。第1格栅电极33是为了控制从阴极32释放的电子的量而设置的，第2格栅电极34是为了使通过第1格栅电极33后的电子朝向靶4聚集而设置的。加热器31、阴极32、第1格栅电极33和第2格栅电极34，与以贯通绝缘真空管22的底部22a的方式设置的多个杆销SP(stem pin)电连接。
[0031]壳体110具有筒部件111和电源部壳体112。壳体110由金属材料形成。筒部件111形成为大致圆筒状，在轴方向A上的两端具有开口111a、开口111b。X射线管1以头部21从开口111a伸出的方式挿入开口111a中。X射线管1的安装凸缘23c固定在筒部件111的第1侧S1的端部。由此，X射线管1将开口111a密封。作为液状的绝缘性物质的绝缘油K密封在筒部件111内。
[0032]电源部120向X射线管1供给电力。电源部120收纳在电源部壳体112内。电源部120将筒部件111的开口111b密封。电源部120具有包括圆筒状的连接器121a的高压供电部121。高压供电部121与X射线管1电连接。具体而言，连接器121a的前端部与从绝缘真空管22的底部22a伸出的杆销SP电连接。在该例中，以靶4(阳极)为接地电位，从电源部120经高压供电部121向电子枪3供给负的高电压(例如
‑
10kV～
‑
500kV)。[X射线管][0033]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线模块，其特征在于，包括：箱体；在所述箱体内出射电子束的电子枪；配置在所述箱体内且固定于所述箱体的、因所述电子束的入射而产生X射线的靶；和具有永磁铁，配置在所述箱体外，利用所述永磁铁的磁力使所述电子束偏转的偏转部，所述偏转部具有至少配置在所述永磁铁与所述箱体之间的隔热部件，所述隔热部件的导热率低于所述永磁铁的导热率。2.如权利要求1所述的X射线模块，其特征在于：所述隔热部件的导热率低于所述箱体的与所述偏转部的接触部分的导热率。3.如权利要求1或2所述的X射线模块，其特征在于：所述隔热部件在内部收纳着所述永磁铁。4.如权利要求1或2所述的X射线模块，其特征在于：所述隔热部件以将所述永磁铁与所述箱体之间隔开的方式延伸。5.如权利要求1～4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井淳，杉浦银治，小林晃人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：