X射线模块制造技术

X射线模块具备：框体，其形成有开口部；电子枪，其射出电子束；靶，其使通过电子束的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出；X射线射出窗，其对开口部进行密封，并且使X射线透过而向轴方向上的第一侧射出；以及散热部，其配置于框体外。框体具有形成有向第一侧突出的突出部的表面，开口部形成于突出部，靶配置于开口部内。散热部具有沿着表面延伸并与表面热连接的第一部分和从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。的一侧的第二侧延伸的第二部分。的一侧的第二侧延伸的第二部分。

X-ray module

【技术实现步骤摘要】
X射线模块


[0001]本公开的一个方面涉及一种X射线模块。

技术介绍

[0002]作为X射线模块，已知有从射出电子束的电子枪、以及通过电子束的入射而产生X射线的靶配置于框体内，从堵塞框体的开口部的输出窗输出X射线的模块(例如参照日本专利第5179797号公报)。

技术实现思路

[0003]专利技术所要解决的课题
[0004]在上述那样的X射线模块中，有时要求减小FOD(Focus to Object Distance)。例如，在非破坏检查中使用X射线模块的情况下，若从X射线焦点(靶上的电子束的照射点)到检查对象的距离即FOD小，则能够以高放大率进行观察。或者，若放大率相等，则能够将X射线摄像元件配置在X射线源的附近，因此能够取得明亮的图像。
[0005]另外，在上述那样的X射线模块中，靶中的电子束向X射线的转换效率为1％左右，入射的电子束的约99％为热。因此，为了抑制靶因热量而损伤而导致X射线输出降低，要求良好地对靶产生的热进行散热。
[0006]因此，本公开的一个方面的目的在于提供一种能够抑制FOD变大的同时，良好地对靶产生的热进行散热的X射线模块。
[0007]用于解决课题的手段
[0008]本公开的一个方面所涉及的X射线模块具备：框体，其形成有开口部；电子枪，其在框体内射出电子束；靶，其具有电子入射面以及与电子入射面相反的一侧的X射线射出面，使通过电子束向电子入射面的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出；X射线射出窗，其对开口部进行密封，并且使从靶射出的X射线透过而向轴方向上的第一侧射出；以及散热部，其配置于框体外，框体具有形成有向第一侧突出的突出部的表面，开口部形成于突出部，靶配置于开口部内，散热部具有沿着表面延伸并与表面热连接的第一部分和从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。
[0009]在该X射线模块中，靶具有电子入射面和X射线射出面，使通过电子束向电子入射面的入射而产生的X射线透过而从X射线射出面射出。在这样的透射型的结构中，与电子入射面兼作X射线射出面的反射型的结构相比，容易将靶配置在X射线射出窗口的附近，能够减小FOD。另外，在框体的表面形成有向第一侧突出的突出部，在形成于该突出部的开口部内配置有靶。因此，能够进一步减小FOD。而且，散热部具有沿着该表面延伸并与该表面热连接的第一部分。由此，能够利用突出部的高度量的空间配置散热部，能够抑制FOD变大，并且能够良好地散热在靶产生的热量。而且，散热部具有从第一部分向与第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。由此，能够抑制FOD变大，并且能够提高散热部的散热性。因此，根据该X射线模块，能够抑制FOD变大，并且能够良好地对靶产生的热进行散热。
[0010]第二部分也可以在从轴方向观察的情况下位于比表面的外缘靠外侧的位置，且在轴方向上位于比表面靠第二侧的位置。在该情况下，能够抑制FOD变大，并且能够提高散热部的散热性。
[0011]第一部分也可以在从轴方向观察的情况下包围突出部。在该情况下，能够使在靶产生的热更良好地散热。
[0012]散热部也可以相对于突出部不向第一侧突出。在该情况下，能够进一步减小FOD。
[0013]散热部的第一侧的表面也可以位于与突出部的第一侧的表面相同的平面上。在该情况下，能够抑制FOD变大，并且能够确保第一部分的厚度而提高散热部的散热性。
[0014]X射线射出窗的第一侧的表面也可以位于与散热部的第一侧的表面相同的平面上。在该情况下，能够进一步减小FOD。
[0015]本公开的一个方面所涉及的X射线模块也可以还具备配置于第一部分与表面之间的导热部件。在该情况下，能够使在靶产生的热更良好地散热。
[0016]第二部分也可以包括多个翅片。在该情况下，能够进一步提高散热部的散热性。
[0017]第一部分以及第二部分也可以形成为管状。在该情况下，例如能够将第一部分以及第二部分用作对于冷却介质的配管或者热管等，能够进一步提高散热部的散热性。
[0018]第一部分以及第二部分各自也可以在与框体之间划定用于使冷却介质流动的流路。在该情况下，能够进一步提高散热部的散热性。
[0019]本公开的一个方面所涉及的X射线模块也可以还具备偏转部，该偏转部具有永久磁铁，通过永久磁铁的磁力使电子束偏转，第二部分与偏转部热连接。在该情况下，能够通过偏转部使X射线焦点的位置成为所希望的位置。另外，能够抑制永久磁铁因靶产生的热而被加热，能够稳定地输出X射线。
[0020]专利技术效果
[0021]根据本公开的一个方面，能够提供一种能够抑制FOD变大的同时，良好地对靶产生的热进行散热的X射线模块。
附图说明
[0022]图1是实施方式的X射线产生装置的剖视图。
[0023]图2是X射线管的剖视图。
[0024]图3是X射线管的分解立体图。
[0025]图4是表示突出部的周边的剖视图。
[0026]图5是表示靶的周边的剖视图。
[0027]图6是X射线管的剖视图。
[0028]图7是表示偏转部的周边的剖视图。
[0029]图8是第一变形例的X射线产生装置的剖视图。
[0030]图9是第二变形例的X射线产生装置的剖视图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对本公开的一个实施方式进行详细说明。在以下的说明中，对相同或相当的要素使用相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0032][X射线产生装置][0033]图1所示的X射线产生装置(X射线模块)100例如是用于对检查对象的内部构造进行观察的X射线非破坏检查中所使用的微小焦点X射线源。X射线产生装置100具备X射线管1、散热部7、壳体110以及电源部120。
[0034]如图2所示，X射线管1是使通过来自电子枪3的电子束B入射到靶4而产生且透过了靶4自身的X射线XR在沿着电子束B的入射方向的方向上从X射线射出窗5射出的透射型的X射线管。X射线管1是不需要具备具有真空的内部空间R的框体2的、不需要部件更换等的真空密封型的X射线管。以下，将与X射线管1的管轴AX平行的方向设为轴方向A，将轴方向A上的一侧(图中上侧)设为第一侧S1，将轴方向A上的另一侧(与第一侧S1相反的一侧)设为第二侧S2来进行说明。在X射线管1中，电子束B的光轴与X射线XR的光轴一致。
[0035]框体2具有大致圆柱状的外形。框体2具有由金属材料形成的头部21和由玻璃等绝缘材料形成的绝缘真空管22。在头部21固定有靶4及X射线射出窗5。
[0036]在绝缘真空管22固定有电子枪3。电子枪3在内部空间R射出电子束B。电子枪3例如通过加热器31、阴极32、第一栅电极33以及第二栅电极34以从第二侧S2依次排列的方式配置而构成。加热器31由通过通电而发热的灯丝构成。阴极32被加热器31加热而释放电子。第一栅电极33和第二栅电极34形成为筒状。第一栅电极33是为了控制从阴极32释放的电子的量而设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线模块，其特征在于，具备：框体，其形成有开口部；电子枪，其在所述框体内射出电子束；靶，其具有电子入射面和与所述电子入射面相反的一侧的X射线射出面，使通过所述电子束向所述电子入射面的入射而产生的X射线透过而从所述X射线射出面射出；X射线射出窗，其将所述开口部密封，并且使从所述靶射出的所述X射线透过而向轴方向上的第一侧射出；以及散热部，其配置于所述框体外，所述框体具有形成有向所述第一侧突出的突出部的表面，所述开口部形成于所述突出部，所述靶配置于所述开口部内，所述散热部具有：沿所述表面延伸并与所述表面热连接的第一部分；以及从所述第一部分向与所述第一侧相反的一侧的第二侧延伸的第二部分。2.根据权利要求1所述的X射线模块，其特征在于，所述第二部分在从所述轴方向观察的情况下位于比所述表面的外缘靠外侧的位置，且在所述轴方向上位于比所述表面靠所述第二侧的位置。3.根据权利要求1或2所述的X射线模块，其特征在于，所述第一部分在从所述轴方向观察的情况下包围所述突出部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的X射线模块，其特征在于，所述散热部相...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井淳，小林晃人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：