感光干膜抗蚀剂层压体和线路板制造技术

本发明专利技术属于电子材料技术领域。本发明专利技术公开了一种感光干膜抗蚀剂层压体，其包括：支撑层，包括第一面和第二面；抗蚀剂层，设于支撑层的第一面，抗蚀剂层包括抗蚀剂；第一面与抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，第二面与抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，第一剥离强度大于第二剥离强度；支撑层满足，第二面与抗蚀剂层剥离后，第二面上抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%。本发明专利技术采用不包含保护层的感光干膜抗蚀剂层压体，解决了保护层缺陷引起的抗蚀剂层质量问题，并且可以降低成本，缩减覆盖保护层工艺；本发明专利技术对支撑层远离抗蚀剂层的一面进行改性，使感光干膜抗蚀剂层压体进行收卷时抗蚀剂层不会发生粘连损坏，轻易地将抗蚀剂层从卷中释放开进行贴膜。开进行贴膜。开进行贴膜。

Photosensitive dry film resist laminate and circuit board

【技术实现步骤摘要】
感光干膜抗蚀剂层压体和线路板


[0001]本专利技术涉及电子材料
，尤其是涉及一种感光干膜抗蚀剂层压体和线路板。

技术介绍

[0002]在印刷线路板的生产过程中，必不可少地需要使用到感光干膜抗蚀剂。传统感光干膜抗蚀剂的结构可由下而上分为三层，分别为支撑层、抗蚀剂层和保护层。
[0003]保护层与抗蚀剂层的结合力充分小于支撑层与抗蚀剂层的结合力，从而可以确保保护层可以容易地剥离，同时支撑层和抗蚀剂层粘结良好、保护层表面基本不含抗蚀剂层残留物，因此商品化感光干膜抗蚀剂一般优选使用聚乙烯或者聚丙烯薄膜作为保护层。
[0004]但本申请专利技术人在实现本申请实施例中专利技术技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：在使用聚乙烯作为保护层时，聚乙烯薄膜表面存在被称为鱼眼的缺陷，这些有时会通过干膜卷层间压力转印到中间层抗蚀剂层上。当鱼眼转印到抗蚀剂层上时，有时在层压时卷入空气而形成空隙，引起抗蚀图案的缺损。同样可以作为保护膜的聚丙烯PP薄膜虽然表面较为平滑，但是具有使有机物透过的性质，因此在光致抗蚀剂成卷保存的时候，有中间层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，包括：支撑层，包括第一面和第二面；抗蚀剂层，设于所述支撑层的所述第一面，所述抗蚀剂层包括抗蚀剂；所述第一面与所述抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，所述第二面与所述抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，所述第一剥离强度大于所述第二剥离强度；所述支撑层满足以下条件：取两个尺寸为1m
×
0.8m的所述支撑层记为支撑层A和支撑层B，所述支撑层A的所述第一面上以250cm/min的涂布速度均匀涂布所述抗蚀剂，所述抗蚀剂烘干后形成38μm厚的所述抗蚀剂层；所述支撑层B的第二面与所述抗蚀剂层相对并在65℃温度和0.4mPa压力下贴合形成“支撑层A+抗蚀剂层+支撑层B”的组合体，将所述组合体在温度23℃相对湿度55%的无尘室中静置1h；在温度为23℃、剥离角度为180
°
和剥离速度为1.0m/min的条件下将所述支撑层B剥离，所述支撑层B的所述第二面上的所述抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%；其中，所述抗蚀剂的残留量由以下公式计算而得，残留量=w1/w2
×
100%，w1为完全剥离后支撑层B第二面上残留的抗蚀剂的质量，w2为烘干后抗蚀剂的总质量。2.根据权利要求1所述的一种感光干膜抗蚀剂层压体，其特征在于：所述第一剥离强度与所述第二剥离强度之间的比值为大于等于1.5且小于等于22。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱薛妍，李伟杰，韩传龙，傅明，陈涛，
申请(专利权)人：杭州福斯特应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：