一种红外金属化全通型蓝宝石窗片及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供了一种红外金属化全通型蓝宝石窗片及其制备方法和应用，所述红外金属化全通型蓝宝石窗片包括蓝宝石基底和设置于所述蓝宝石基底表面的金属膜和光学膜，所述金属膜周向设置于所述光学膜外缘，所述光学膜的膜系结构为(0.6h 1.2l 0.6h)^5，本发明专利技术采用特制膜系的光学膜，增透效果较好，大幅提升了窗片在近红外谱段的增透谱段与透射率，并在不影响窗片的透过率的情况下，实现窗片边缘金属化，增加了该窗片的焊接可靠性，使其更加灵活地与芯片结合运用于各类探测器等应用场景。片结合运用于各类探测器等应用场景。片结合运用于各类探测器等应用场景。

An infrared metallized all pass sapphire window sheet and its preparation method and Application

【技术实现步骤摘要】
一种红外金属化全通型蓝宝石窗片及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于光学薄膜制备
，涉及一种红外金属化全通型蓝宝石窗片及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]短波红外探测在红外探测中占据着重要位置，短波红外可以提供可见光、微光夜视、中波、长波红外所不能提供的信息。短波红外成像具有高灵敏度、高分辨率、昼夜成像、无需低温制冷等优点，对红外波段全面获取目标的信息具有重要意义，可广泛应用于空间探测、遥感探测、夜视和生物医学等领域。
[0003]短波红外成像广泛用于各种不同的应用，包括电子板检查、太阳能电池检测、生产检查、识别与排序、监测、反假冒、过程质量控制等。目前的蓝宝石窗片红外增透谱段普遍较窄，增透水平有待提高，且金属化水平有待进一步改善。
[0004]CN109164528A公开了一种五通道多色滤光片的光学膜层制备方法，其先对真空室和基底进行清洗，然后将基地放入真空室内抽真空，待基底加热至200℃后采用离子束轰击清洗基底，再用电子枪蒸发法分别在基底的一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系1，在另一侧逐层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外金属化全通型蓝宝石窗片，其特征在于，所述红外金属化全通型蓝宝石窗片包括蓝宝石基底和设置于所述蓝宝石基底表面的金属膜和光学膜，所述金属膜周向设置于所述光学膜外缘，所述光学膜的膜系结构为(0.6h 1.2l 0.6h)^5，其中，l表示低折射率材料层厚度为一个基本厚度，h表示高折射率材料层厚度为一个基本厚度，5为(0.6h 1.2l 0.6h)的周期数。2.如权利要求1所述的红外金属化全通型蓝宝石窗片，其特征在于，所述低折射率材料包括SiO2材料；优选地，所述高折射率材料包括Ti2O3材料。3.如权利要求1或2所述的红外金属化全通型蓝宝石窗片，其特征在于，所述光学膜的膜层厚度依次为：SiO2层厚度207～210nm，Ti2O3层厚度286～288nm，SiO2层厚度108～110nm，Ti2O3层厚度24～26nm，SiO2层厚度273～275nm，Ti2O3层厚度30～32nm，SiO2层厚度40～42nm，Ti2O3层厚度14～16nm，SiO2层厚度83～85nm，Ti2O3层厚度68～70nm，SiO2层厚度86～88nm，Ti2O3层厚度32～34nm。4.如权利要求1
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3任一项所述的红外金属化全通型蓝宝石窗片，其特征在于，所述金属膜包括自基底向上依次层叠设置的铬层、镍层和金层。5.如权利要求1
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4任一项所述的红外金属化全通型...

【专利技术属性】
技术研发人员：王济洲，陆春，王小军，王云飞，陈学康，许斌，周玲，陈昱翰，马林，
申请(专利权)人：无锡泓瑞航天科技有限公司，
类型：发明
国别省市：