采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置，包括纳秒激光器，纳秒激光器的下方设有加工槽，加工槽的一侧设有超声波发射器，超声波发射器发射的超声波的传播方向与纳秒激光器发射的平行单色光束垂直。本实用新型专利技术通过在加工槽的一侧设置超声波发射器，超声波在液体中传播时，其声压使液体分子产生周期性的变化，促使液体的折射率也相应的作周期性的变化，形成疏密波，此时，如有平行单色光沿垂直于超声波传播方向通过这疏密相间的液体时，就会被衍射，这样就可以刻蚀出结构相对完整的条纹结构；并且无需对试样进行表面处理，工艺结构简单。工艺结构简单。工艺结构简单。

Processing device for etching subwavelength periodic stripes with nanosecond laser

【技术实现步骤摘要】
采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置


[0001]本技术涉及一种采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置，属于减温


技术介绍

[0002]纳米加工技术在纳米科技和材料加工领域是一项极其重要的技术。目前广泛应用于科学研究和工业生产中的纳米加工技术，包括光刻、纳米压印、激光干涉以及自组织等常规的技术。激光诱导周期表面结构是光与物质相互作用产生的一种普遍物理现象，1965年Birnbaum等采用纳秒脉冲激光在半导体锗表面诱导产生的一组周期性排列平行刻槽，即“条纹结构”。在早期的相关研究中，大都采用长脉冲激光作为光源，所形成的结构周期通常为波长量级。随着飞秒激光的发展，人们采用飞秒激光在材料表面诱导出了周期小于激光波长的亚波长条纹结构。
[0003]目前也出现了利用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的装置，但是，纳秒激光照射材料时，不能直接得到亚波长条纹，需要对材料表面处理，即在表面镀了一层颗粒膜。颗粒膜的作用是对激光形成散射，以促进表面等离子体的形成。这样就增加了加工的步骤，使得加工装置比较复杂，并且得到的条纹结构完整性很差，条纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置，包括纳秒激光器(6)，其特征在于：纳秒激光器(6)的下方设有加工槽(7)，加工槽(7)的一侧设有超声波发射器(13)，超声波发射器(13)发射的超声波的传播方向与纳秒激光器(6)发射的平行单色光束垂直。2.根据权利要求1所述的采用纳秒激光刻蚀亚波长周期性条纹的加工装置，其特征在于：加工槽(7)的两侧固定有沿前后方向的导轨(10)，导轨(10)上设有沿前后方向移动的滑块(8)，滑块(8)的顶部固定有支撑柱(14)，支撑柱(14)的上部设有滑套(2)，两侧的滑套(2)固定连接有方形的支撑杆(3)，支撑杆(3)上设有调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴师岗，公彦雪，
申请(专利权)人：淄博海泰高温材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：