压电致动器、液体喷出头以及记录装置制造方法及图纸

在压电致动器，共通电极对压电体层重叠在第1面侧，遍及多个压电元件扩展。多个第1单独电极对压电体层重叠在第2面侧，单独位于多个压电元件，设为相互不电连接。第1绝缘层对于共通电极重叠在第1面侧，遍及多个压电元件扩展。多个第2单独电极对于第1绝缘层重叠在第1面侧，单独位于多个压电元件，在平面透视下与多个第1单独电极的中央单独重叠。此外，多个第2单独电极相互电连接。单独电极相互电连接。单独电极相互电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电致动器、液体喷出头以及记录装置


[0001]本公开涉及压电致动器、具有该压电致动器的液体喷出头以及具有该液体喷出头的记录装置。

技术介绍

[0002]已知喷墨头等中所用的压电致动器。例如在专利文献1中，压电致动器具有：压电体层；重叠在压电体层的表背的一方的共通电极；重叠在压电体层的表背的另一方的多个单独电极；和重叠在共通电极的与压电体层相反侧的振动板。在平面透视下，共通电极与多个单独电极重叠，例如被赋予基准电位。对多个单独电极单独地赋予与基准电位不同的电位(驱动信号)。由此，压电体层当中单独电极与共通电极之间的区域在沿着压电体层的方向上伸长或收缩。该伸长或收缩被振动板约束，压电致动器产生挠曲变形。此外，在专利文献1中，提出设置对由压电体形成的振动板施加电压来使振动板的极化恢复到初始状态的电极。该电极以遍及多个单独电极的幅度对于振动板重叠在与共通电极相反侧。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：JP特开2006
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158127号公报
专利
技术实现思路

[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电致动器，具有第1面以及其背面的第2面，并在沿着所述第1面的方向的多个位置具有多个压电元件，所述压电致动器的特征在于，具有：压电体层，其沿着所述第1面扩展；共通电极，其对于所述压电体层重叠在所述第1面侧，遍及所述多个压电元件扩展；多个第1单独电极，其对于所述压电体层重叠在所述第2面侧，单独位于所述多个压电元件，相互不电连接；第1绝缘层，其对于所述共通电极重叠在所述第1面侧，遍及所述多个压电元件扩展；和多个第2单独电极，其对于所述第1绝缘层重叠在所述第1面侧，单独位于所述多个压电元件，在平面透视下，与所述多个第1单独电极的中央单独重叠，相互电连接。2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器还具有：多个第1布线，其对于所述压电体层重叠在所述第2面侧，与所述多个第1单独电极单独连接；和多个第2布线，其对于所述第1绝缘层重叠在所述第1面侧，将所述多个第2单独电极相互连接，所述多个第1布线从所述多个第1单独电极单独延伸出的方向和所述多个第2布线从所述多个第2单独电极单独延伸出的方向相互交叉。3.根据权利要求2所述的压电致动器，其特征在于，所述多个第2单独电极分别在俯视观察下具有在长边方向上长的形状，所述多个第2布线从所述多个第2单独电极向与所述长边方向交叉的方向延伸出。4.根据权利要求2或3所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器还具有：第2绝缘层，其对于所述压电体层从所述多个第1单独电极的上方重叠；和多个第3单独电极，其对于所述第2绝缘层重叠在所述第2面侧，单独位于所述多个压电元件，相互电连...

【专利技术属性】
技术研发人员：田畑周平，东别府诚，平山武，长谷川幸弘，志村元，宫原崇，石原笃志，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：