研磨方法、机械装置的制造方法及机械装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一方式中，在研磨方法中，在将包含富勒烯及其溶剂的研磨剂组合物添加于具有滑动部的机械装置的上述滑动部的状态下，通过使上述滑动部滑动，从而生成富勒烯凝集粒，将上述滑动部进行研磨。上述滑动部进行研磨。

Grinding method, manufacturing method of mechanical device and mechanical device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】研磨方法、机械装置的制造方法及机械装置


[0001]本专利技术涉及研磨方法、机械装置的制造方法以及机械装置。

技术介绍

[0002]富勒烯有时作为研磨剂成分使用，有时作为润滑剂成分使用。
[0003]例如，专利文献1中公开了导体或金属的研磨所使用的研磨浆料，其特征在于,含有水、富勒烯或富勒烯衍生物，富勒烯或富勒烯衍生物的粒径小于100nm。
[0004]此外，专利文献2中公开了润滑油组合物，其包含基油和富勒烯，每10ml的长径1μm以上的粒子小于1个。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第2007/020939号
[0008]专利文献2：日本特开2018
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168356号公报

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]这样，富勒烯作为研磨剂成分使用，也作为润滑剂成分使用。作为研磨剂成分的富勒烯通常优选为硬的凝集粒的状态，在溶剂中作为凝集粒存在的富勒烯其状态经时地变化，因此难以稳定地保持作为研本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种研磨方法，在将包含富勒烯及其溶剂的研磨剂组合物添加于具有滑动部的机械装置的所述滑动部的状态下，通过使所述滑动部滑动，从而生成富勒烯凝集粒，将所述滑动部进行研磨。2.根据权利要求1所述的研磨方法，所述溶剂为矿物油或化学合成油。3.根据权利要求1或2所述的研磨方法，所述研磨剂组合物中的所述富勒烯的浓度为饱和溶解度的1/50～1倍。4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨方法，所述研磨剂组合物在开始所述研磨之前，不含所述富勒烯凝集粒。5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨方法，以在所述研磨中，在所述滑动部的面粗糙度比目标值大的情况下生成所述富勒烯的凝集粒，在所述滑动部的面粗糙度为目标值以下的情况下不生成所述富勒烯的凝集粒的方式，调整所述研磨剂组合物的所述富勒烯的浓度。6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨方法，在开始所述研磨之后，进行所...

【专利技术属性】
技术研发人员：门田隆二，近藤邦夫，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，
类型：发明
国别省市：