一种喷涂用旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及靶材喷涂的技术领域，尤其是涉及一种喷涂用旋转装置。其包括固定架、设置在固定架顶部的第一旋转组件以及安装在第一旋转组件上的喷涂枪、设置在固定架底部的用于固定靶材的第二旋转组件和翻转组件，第一旋转组件包括水平固定设置在固定架顶部下表面的齿轮圈、水平设置在齿轮圈同心处的太阳轮、竖直固定设置在固定架顶部的驱动电机、同时与太阳轮和齿轮圈相啮合的行星轮以及两端分别铰接在太阳轮和行星轮上表面圆心位置的行星架，太阳轮与驱动电机的输出轴同轴固定连接，喷涂枪竖直固定连接在行星轮的下表面圆心处。本实用新型专利技术通过设置第一旋转组件、第二旋转组件和翻转组件，使喷涂更加均匀，效果更好。效果更好。效果更好。

A rotating device for spraying

【技术实现步骤摘要】
一种喷涂用旋转装置


[0001]本技术涉及靶材喷涂的
，尤其是涉及一种喷涂用旋转装置。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。在现有的靶材生产过程中，其中一个步骤是对靶材特定部位或靶材的背板进行喷涂处理，现有的喷涂采用人工喷涂或者采用的喷涂设备旋转装置性能不好，导致喷涂不够均匀。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种喷涂用旋转装置，其通过设置第一旋转组件、第二旋转组件和翻转组件，使喷涂更加均匀，效果更好。
[0004]本技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0005]一种喷涂用旋转装置，包括固定架、设置在固定架顶部的第一旋转组件以及安装在第一旋转组件上的喷涂枪、设置在固定架底部的用于固定靶材背板的第二旋转组件和翻转组件，所述第一旋转组件包括水平固定设置在固定架顶部下表面的齿轮圈、水平设置在齿轮圈同心处的太阳轮、竖直固定设置在固定架顶部的驱动电机、同时与太阳轮和齿轮圈相啮合的行星轮以及两端分别铰接在太阳轮和行星轮上表面圆心位置的行星架，所述太阳轮与驱动电机的输出轴同轴固定连接，所述喷涂枪竖直固定连接在行星轮的下表面圆心处。
[0006]优选地，所述第二旋转组件包括固定设置在固定架底部的回转气缸和竖直连接在回转气缸旋转端的回转轴，所述翻转组件固定设置在回转轴的顶部。
[0007]优选地，所述翻转组件包括竖直固定连接在回转轴顶部的U形板、分别同轴转动连接在U形板上的两个转动轴、固定连接在两个转动轴之间的靶材背板固定件以及固定在U形板侧壁上的驱动组件。
[0008]优选地，所述靶材背板固定件包括圆形框架和垂直于圆形框架侧壁对称设置的多个抵接螺栓，所述抵接螺栓与圆形框架螺纹连接，所述靶材背板放置于圆形框架内，每个所述抵接螺栓的螺杆端均抵接在靶材背板的侧壁上。
[0009]优选地，所述驱动组件包括水平固定设置在U形板侧壁上的翻转电机、与翻转电机输出轴同轴固定连接的主动齿轮以及同轴固定穿设在其中一个转动轴上的从动齿轮，所述主动齿轮和从动齿轮相啮合。
[0010]综上所述，本技术的有益技术效果为：
[0011]通过设置第一旋转组件，可以带动喷涂枪绕着齿轮圈旋转，从而实现对靶材特定部位以及靶材背板不同区域的喷涂，使喷涂比较均匀；通过设置第二旋转组件，带动靶材绕
自身轴线转动，使喷涂更加均匀；通过设置翻转组件，可以将靶材进行翻转，实现对靶材特定部位的喷涂。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是图1的正视结构示意图；
[0015]图3是为示出齿轮圈、太阳轮和行星轮的配合结构示意图。
[0016]图中，1、固定架；21、齿轮圈；22、太阳轮；23、驱动电机；24、行星轮；25、行星架；31、回转气缸；32、回转轴；41、U形板；42、转动轴；43、翻转电机；44、主动齿轮；45、从动齿轮；51、圆形框架；52、抵接螺栓；6、喷涂枪；7、靶材。
具体实施方式
[0017]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0018]参考图1
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图3，为本技术公开的一种喷涂用旋转装置，包括固定架1、设置在固定架1顶部的第一旋转组件以及安装在第一旋转组件上的喷涂枪6、设置在固定架1底部的用于固定靶材7的第二旋转组件和翻转组件。第一旋转组件用于带动喷涂枪6旋转，实现对靶材7表面特定区域的喷涂；第二旋转组件用于带动靶材7绕自身轴线转动，使喷涂更加均匀；翻转组件用于将靶材7进行翻转，实现对靶材7的背板特定部位进行喷涂。
[0019]第一旋转组件包括水平固定设置在固定架1顶部下表面的齿轮圈21、水平设置在齿轮圈21同心处的太阳轮22、竖直固定设置在固定架1顶部的驱动电机23、同时与太阳轮22和齿轮圈21相啮合的行星轮24以及两端分别铰接在太阳轮22和行星轮24上表面圆心位置的行星架25。太阳轮22与驱动电机23的输出轴同轴固定连接，喷涂枪6竖直固定连接在行星轮24的下表面圆心处。
[0020]第二旋转组件包括固定设置在固定架1底部的回转气缸31和竖直连接在回转气缸31旋转端的回转轴32，翻转组件固定设置在回转轴32的顶部。翻转组件包括竖直固定连接在回转轴32顶部的U形板41、同轴转动连接在U形板41上的两转动轴42、固定连接在两转动轴42远离U形板41一端的靶材固定件以及固定在U形板41侧壁上的驱动组件。靶材背板固定件包括圆形框架51和垂直于圆形框架51侧壁对称设置的两个抵接螺栓52，抵接螺栓52与圆形框架51螺纹连接。靶材7放置于圆形框架51内，每个抵接螺栓52的螺杆端均抵接在靶材7的背板的侧壁上。驱动组件包括水平固定设置在U形板41侧壁上的翻转电机43、与翻转电机43输出轴同轴固定连接的主动齿轮44以及同轴固定穿设在其中一个转动轴42上的从动齿轮45，主动齿轮44和从动齿轮45相啮合。
[0021]上述实施例的实施原理为：当需要对靶材7进行喷涂时，松开抵接螺栓52，接着将靶材7水平放置在圆形框架51内，再拧紧抵接螺栓52，使抵接螺栓52的螺杆端抵接在靶材7的背板侧壁上，进行固定；然后打开回转气缸31，回转气缸31带动回转轴32同轴转动，进而
带动靶材7绕自身圆心转动，同时打开驱动电机23，驱动电机23带动太阳轮22同轴转动，太阳轮22转动带动行星轮24绕自身轴线转动的同时围着齿轮圈21转动，喷涂枪6也随之绕着齿轮圈21转动，从而使对靶材7特定部位的喷涂比较均匀；当需要对靶材7的其他特定部位进行喷涂时，打开翻转电机43，翻转电机43带动主动齿轮44转动，主动齿轮44带动从动齿轮45转动，从而带动主动轴和圆形框架51转动，直至将靶材7转至适当位置，同理进行喷涂。
[0022]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本技术的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷涂用旋转装置，其特征在于：包括固定架（1）、设置在固定架（1）顶部的第一旋转组件以及安装在第一旋转组件上的喷涂枪（6）、设置在固定架（1）底部的用于固定靶材（7）的第二旋转组件和翻转组件，所述第一旋转组件包括水平固定设置在固定架（1）顶部下表面的齿轮圈（21）、水平设置在齿轮圈（21）同心处的太阳轮（22）、竖直固定设置在固定架（1）顶部的驱动电机（23）、同时与太阳轮（22）和齿轮圈（21）相啮合的行星轮（24）以及两端分别铰接在太阳轮（22）和行星轮（24）上表面圆心位置的行星架（25），所述太阳轮（22）与驱动电机（23）的输出轴同轴固定连接，所述喷涂枪（6）竖直固定连接在行星轮（24）的下表面圆心处。2.根据权利要求1所述的一种喷涂用旋转装置，其特征在于：所述第二旋转组件包括固定设置在固定架（1）底部的回转气缸（31）和竖直连接在回转气缸（31）旋转端的回转轴（32），所述翻转组件固定设置在回转轴（32）的顶部。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，赵泽良，贾时君，尤青文，
申请(专利权)人：上海贺东电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：