本申请实施例提供一种蒸镀检测装置及蒸镀系统，该蒸镀检测装置包括：装置壳体，所述装置壳体的一侧表面为测量侧，所述测量侧设有多个开口部；多个检测端，所述多个检测端设置于所述装置壳体内，所述检测端与所述开口部一一对应设置。由此，提升了蒸镀检测装置的检测精度；部分检测端发生故障而无法进行检测时，其余检测端可以继续进行检测，保证蒸镀检测装置的正常检测不受阻碍，增强蒸镀检测装置的鲁棒性和稳定性。性和稳定性。性和稳定性。
Evaporation detection device and evaporation system
【技术实现步骤摘要】
蒸镀检测装置及蒸镀系统
[0001]本申请涉及蒸镀
，具体涉及一种蒸镀检测装置及蒸镀系统。
技术介绍
[0002]蒸镀是一种气相沉积技术，在诸如显示技术等诸多领域中被广泛使用。在蒸镀过程中，借助检测装置对成膜速率和膜厚进行检测，可以对成膜质量进行准确控制。在相关技术中，这些检测装置易因检测精度不高而导致成膜质量降低，且易因发生故障而导致检测不能正常进行。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种蒸镀检测装置及蒸镀系统，可以增加对成膜速率和膜厚的检测精度以及增强检测装置的鲁棒性，提高成膜质量和稳定性。
[0004]一方面，本申请实施例提供一种蒸镀检测装置，包括：装置壳体，所述装置壳体的一侧表面为测量侧，所述测量侧设有多个开口部；多个检测端，所述多个检测端设置于所述装置壳体内，所述检测端与所述开口部一一对应设置。
[0005]在一些实施例中，所述蒸镀检测装置还包括位置切换机构，所述位置切换机构设置在所述装置壳体内，所述多个检测端设置在所述位置切换机构上，所述位置切换机构被配置为使所述多个检测端相对所述装置壳体的测量侧发生运动，以使所述检测端在不同的所述开口部之间进行位置切换。
[0006]在一些实施例中，所述蒸镀检测装置还包括位置调节机构，所述装置壳体设置在所述位置调节机构上，所述位置调节机构被配置为驱动所述装置壳体相对蒸镀源进行移动，以改变所述装置壳体和所述蒸镀源之间的相对位置。
[0007]在一些实施例中，所述检测端包括晶振结构、弹性电极和信号输出电极，所述晶振结构和所述弹性电极贴合连接，所述弹性电极和所述信号输出电极电性连接。
[0008]在一些实施例中，所述弹性电极包括本体部和设置于所述本体部上的多个感应测量部，所述多个感应测量部分别和所述晶振结构贴合接触。
[0009]在一些实施例中，所述弹性电极为片状结构并贴设于所述晶振结构上；所述片状结构上设有所述本体部、所述多个感应测量部和多个镂空部，所述多个感应测量部和所述多个镂空部围绕所述本体部的外周侧依次交替设置，相邻的两个所述感应测量部被位于其间的所述镂空部隔断。
[0010]在一些实施例中，所述检测端还包括承载固定件和紧固件，所述紧固件将所述晶振结构和所述弹性电极依次贴合压紧于所述承载固定件的一侧表面上。
[0011]另一方面，本申请实施例提供一种蒸镀系统，包括：蒸镀源；以上任一实施例所述的蒸镀检测装置，所述装置壳体的所述测量侧朝向所述蒸镀源。
[0012]在一些实施例中，所述蒸镀源包括源壳体、多个材料蒸发端以及蒸发端切换机构，所述源壳体的一侧表面上设有蒸发开口，所述多个材料蒸发端设置于所述源壳体内，所述
蒸发端切换机构驱动所述多个材料蒸发端依次切换至所述蒸发开口处。
[0013]在一些实施例中，所述蒸镀系统还包括固定夹具，所述固定夹具与所述蒸镀源相对设置且朝向所述蒸发开口，所述固定夹具被配置为固定基板，所述固定夹具包括基板冷却板。
[0014]本申请实施例通过在装置壳体的测量侧设置多个开口部和在装置壳体内设置多个检测端、并使每个开口部和一个检测端对应设置，使得蒸镀检测装置在任意时刻可以利用至少两个检测端同时进行检测，相应获得多组测量值；一方面，上述多组测量值可以互为参考以确定多组测量值是否具有一致性，在多组测量值未满足一致性要求时可以及时对蒸镀检测装置进行调节校准，使检测精度被校准至预设要求范围内，相应保证蒸镀检测装置的检测精度；另一方面，在上述至少两个检测端中的部分检测端发生故障而无法进行检测时，其余检测端可以继续进行检测，保证蒸镀检测装置的正常检测不受阻碍，增强蒸镀检测装置的鲁棒性和稳定性。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的应用结构图；
[0017]图2是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的第一局部结构图；
[0018]图3是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的第二局部结构图；
[0019]图4是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的检测端的爆炸结构图；
[0020]图5是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的弹性电极的一种结构图；
[0021]图6是本申请一些实施例提供的蒸镀检测装置的弹性电极的另一种结构图；
[0022]图7是本申请一些实施例提供的蒸镀系统的组成结构图。
[0023]主要元件符号说明：
[0024]1‑
蒸镀检测装置，10
‑
装置壳体，11
‑
测量侧，111
‑
开口部，20
‑
检测端，21
‑
晶振结构，22
‑
弹性电极，221
‑
本体部，222
‑
感应测量部，223
‑
镂空部，23
‑
信号输出电极，24
‑
承载固定件，25
‑
紧固件，30
‑
位置切换机构，40
‑
位置调节机构，41
‑
前后直线伸缩机构，42
‑
上下直线升降机构，50
‑
支撑座，2
‑
蒸镀源，21'
‑
源壳体，211'
‑
蒸发开口，22'
‑
材料蒸发端，23'
‑
蒸发端切换机构，24'
‑
开口盖板，3
‑
固定夹具，31'
‑
基板冷却板，32'
‑
基板承载板，33'
‑
掩膜板承载板，34'
‑
对位相机，35'
‑
遮挡板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0026]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、
“
厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀检测装置，其特征在于，包括：装置壳体，所述装置壳体的一侧表面为测量侧，所述测量侧设有多个开口部；多个检测端，所述多个检测端设置于所述装置壳体内，所述检测端与所述开口部一一对应设置。2.根据权利要求1所述的蒸镀检测装置，其特征在于，还包括：位置切换机构，所述位置切换机构设置在所述装置壳体内，所述多个检测端设置在所述位置切换机构上，所述位置切换机构被配置为使所述多个检测端相对所述测量侧发生运动，以使所述检测端在不同的所述开口部之间进行位置切换。3.根据权利要求1所述的蒸镀检测装置，其特征在于，还包括：位置调节机构，所述装置壳体设置在所述位置调节机构上，所述位置调节机构被配置为驱动所述装置壳体相对蒸镀源进行移动，以改变所述测量侧和所述蒸镀源之间的相对位置。4.根据权利要求1所述的蒸镀检测装置，其特征在于，所述检测端包括：晶振结构、弹性电极和信号输出电极，所述晶振结构和所述弹性电极贴合连接，所述弹性电极和所述信号输出电极电性连接。5.根据权利要求4所述的蒸镀检测装置，其特征在于，所述弹性电极包括：本体部和设置于所述本体部上的多个感应测量部，所述多个感应测量部分别和所述晶振结构贴合接触。6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢仕昭，陈亚文，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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