放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种灵敏度良好且灵敏度的经时稳定性优异的放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。本发明专利技术的放射线敏感性树脂组合物包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水，所述放射线敏感性树脂组合物中，光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物，相对于放射线敏感性树脂组合物的质量，水的含量为0.1～2质量％。为0.1～2质量％。

Radiation sensitive resin composition, cured film, pattern forming method, solid-state imaging element and image display device

【技术实现步骤摘要】
放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置
[0001]本申请是国际申请号为PCT/JP2016/085914、国家申请号为201680070064.6、专利技术名称为“放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置”的申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。

技术介绍

[0003]进行如下：使用包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂及有机溶剂的放射线敏感性树脂组合物来制造固化膜。
[0004]作为光聚合引发剂，已知有肟酯化合物等(参考专利文献1～4)。
[0005]并且，专利文献1中记载有涉及一种着色组合物的专利技术，所述着色组合物含有具有烯属不饱和双键的化合物(A)、颜料(B)、颜料分散剂(C)、光聚合引发剂(D)及包含总溶剂重量的25重量％以上的水的溶解度超过7.0重量％的溶剂(S)的溶剂(E)，且着色组合物的含水率以着色组合物的总重量作为基准而为0.3～2.0重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放射线敏感性树脂组合物，其包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水，所述放射线敏感性树脂组合物中，所述光聚合引发剂包含具有环状烷基的肟酯化合物，相对于所述放射线敏感性树脂组合物的质量，水的含量为0.1～2质量％。2.根据权利要求1所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述树脂包含碱溶性树脂。3.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述聚合性化合物是烯属不饱和键当量为3.0～12.0mmol/g的多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。4.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述肟酯化合物具有选自碳原子数7以上的支链烷基及碳原子数7以上的环状烷基中的至少1种基团。5.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述肟酯化合物具有咔唑结构。6.根据权利要求5所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述咔唑结构在咔唑部的苯环上进一步具有环稠合而成的结构。7.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述肟酯化合物为包含氟原子的肟酯化合物。8.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述肟酯化合物为由式(1)表示的化合物，式(1)中，Ar1及Ar2分别独立地表示可以具有取代基的芳香族烃环，R1～R3分别独立地表示烷基或芳基；其中，R1～R3中的至少一个为支链烷基或者环状烷基，或R1～R3、Ar1及Ar2中的至少一个具有支链烷基或者环状烷基。9.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物，其中，所述有机溶剂为选自丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲...

【专利技术属性】
技术研发人员：奈良裕树，青柳薰，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：