一种罩井式负压球化退火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及退火炉技术领域，具体为一种罩井式负压球化退火炉，包括退火炉主体、顶盖、加热腔与换热箱，所述退火炉主体的下侧设置有支撑架，所述支撑架的内部安装有风机，所述风机的输出端设置有排气管，所述风机的输入端设置有进气管，所述加热腔的内部一侧设置有加热板，所述换热箱的内侧设置有排热网，所述加热腔的内部设置有热量循环管，所述换热箱的内部下端安装有搅拌叶。本实用新型专利技术通过排气管与进气管对加热腔内部的热量导流，通过热量循环管混合换热箱内部的热量，提高热量混合的均匀度，通过排热网导出换热箱内部的热量，使热量能均匀的对物料外表面加热，通过除尘箱对退火中的物料除尘，提高退火后物料的光洁度。提高退火后物料的光洁度。提高退火后物料的光洁度。

【技术实现步骤摘要】
一种罩井式负压球化退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体是一种罩井式负压球化退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，退火炉包括台车式退火炉、井式退火炉、箱式退火炉、罩式退火炉、连续光亮退火炉、罩式光亮退火炉，罩井式球化退火炉广泛应用于合金钢、轴承钢、碳钢、螺丝线材、紧固件等钢材的软化。
[0003]中国专利公开了一种罩式球化退火炉，(授权公告号CN212375319U)，该专利技术通过内部气流分流，实现炉内温度均匀稳定，达到均匀的退火效果，且经格栅状的载料板设置，起到了架空钢材的作用，使其上下温度差异小，退火均匀，但是，上述装置通过扇叶直接对加热腔内部的气体混合，没有气体导流结构，混合过程加热腔内部的气体杂乱，导致热量分散的均匀度较低，一般装置内腔的热量导出效率低，不利于物料的加热效率，一般装置没有除尘结构，物料上的灰尘不利于物料的光洁度，影响后续物料的加工。因此，本领域技术人员提供了一种罩井式负压球化退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种罩井式负压球化退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种罩井式负压球化退火炉，包括退火炉主体、顶盖、加热腔与换热箱，所述顶盖位于退火炉主体的上侧位置处，所述加热腔位于退火炉主体的内部，所述换热箱位于退火炉主体的内侧位置处，所述退火炉主体的下侧设置有支撑架，所述支撑架的内部安装有风机，所述风机的输出端设置有排气管，所述风机的输入端设置有进气管，所述加热腔的内部一侧设置有加热板，所述换热箱的内侧设置有排热网，所述加热腔的内部设置有热量循环管，所述换热箱的内部下端安装有搅拌叶，所述退火炉主体的下侧对应搅拌叶的位置处安装有电机，所述顶盖的上侧设置有除尘箱，所述除尘箱的上端安装有进尘管。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述换热箱的内部下端位置处设置有收紧口，所述排热网的内侧设置有挡风板，所述除尘箱的内部上端安装有过滤层，所述除尘箱的内部下端安装有风扇，所述除尘箱的下侧设置有导流叶，所述顶盖的一侧安装有第一铰接件，所述退火炉主体的上侧一端安装有第二铰接件。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述进气管的上端贯穿加热腔位于加热腔的上端左右侧位置处，所述排气管的上端与加热腔的下端相贯通。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述热量循环管的上端与换热箱的上端相贯通，所述进气管的下端位于换热箱的下侧与换热箱的下端相贯通，所述搅拌叶通过电机转
动于换热箱的内部下端位置处。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述除尘箱的下端与退火炉主体相贯通，所述进尘管的下端位于顶盖的下侧外端位置处，所述进尘管的上端与除尘箱的上端相贯通。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述换热箱的上下端通过收紧口相贯通，所述第一铰接件的外端转动于第二铰接件的上端位置处，所述顶盖通过第一铰接件与第二铰接件转动于退火炉主体的上侧位置处。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术罩井式负压球化退火炉，通过排气管与进气管对加热腔内部的热量导流，通过热量循环管混合换热箱内部的热量，提高热量混合的均匀度，提高物料的退火质量，通过排热网导出换热箱内部的热量，使热量能均匀的对物料外表面加热，有利于物料的加热效率，通过除尘箱对退火中的物料除尘，提高退火后物料的光洁度，有利于后续物料的加工操作。
附图说明
[0013]图1为一种罩井式负压球化退火炉的结构示意图；
[0014]图2为一种罩井式负压球化退火炉中退火炉主体的结构示意图；
[0015]图3为一种罩井式负压球化退火炉中顶盖的结构示意图；
[0016]图4为一种罩井式负压球化退火炉图2中A部分的结构示意图。
[0017]图中：1、退火炉主体；2、顶盖；3、加热腔；4、换热箱；5、支撑架；6、加热板；7、排热网；8、风机；9、排气管；10、进气管；11、热量循环管；12、搅拌叶；13、电机；14、除尘箱；15、进尘管；16、收紧口；17、挡风板；18、过滤层；19、风扇；20、导流叶；21、第一铰接件；22、第二铰接件。
具体实施方式
[0018]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种罩井式负压球化退火炉，包括退火炉主体1、顶盖2、加热腔3与换热箱4，顶盖2位于退火炉主体1的上侧位置处，加热腔3位于退火炉主体1的内部，换热箱4位于退火炉主体1的内侧位置处，退火炉主体1的下侧设置有支撑架5，支撑架5的内部安装有风机8，风机8的输出端设置有排气管9，风机8的输入端设置有进气管10，加热腔3的内部一侧设置有加热板6，换热箱4的内侧设置有排热网7，加热腔3的内部设置有热量循环管11，换热箱4的内部下端安装有搅拌叶12，退火炉主体1的下侧对应搅拌叶12的位置处安装有电机13，顶盖2的上侧设置有除尘箱14，除尘箱14的上端安装有进尘管15，进气管10的上端贯穿加热腔3位于加热腔3的上端左右侧位置处，排气管9的上端与加热腔3的下端相贯通，热量循环管11的上端与换热箱4的上端相贯通，进气管10的下端位于换热箱4的下侧与换热箱4的下端相贯通，搅拌叶12通过电机13转动于换热箱4的内部下端位置处，除尘箱14的下端与退火炉主体1相贯通，进尘管15的下端位于顶盖2的下侧外端位置处，进尘管15的上端与除尘箱14的上端相贯通，首先，把装置放置到使用位置处，然后，把加热板6运行对加热腔3的内部加热，风机8运行，通过进气管10抽取加热腔3内部上端的气体，通过排气管9循回加热腔3的内部，混合加热腔3内部的热量，加热腔3对换热箱4进行加热，电机13运行带动搅拌叶12转动，混合换热箱4内部的热量，把换热箱4下端的热量吹入换热箱4的上端，换热箱4上端的气体通过排热网7导入换热箱4的内侧，换热箱4上端的气体通过
热量循环管11循回换热箱4的下端，换热箱4下端导出的气体同时对搅拌叶12做工，降低电机13的转动压力，节约能源，打开顶盖2，把物料放置到换热箱4的内侧，进行退火操作，退火过程中，风扇19运行，通过进尘管15抽取退火炉主体1内部的气体，进入除尘箱14的内部，气体通过除尘箱14的下侧循回退火炉主体1的内部，退火后转动打开顶盖2，取出物料。
[0019]在图2、3、4中：换热箱4的内部下端位置处设置有收紧口16，排热网7的内侧设置有挡风板17，除尘箱14的内部上端安装有过滤层18，除尘箱14的内部下端安装有风扇19，除尘箱14的下侧设置有导流叶20，顶盖2的一侧安装有第一铰接件21，退火炉主体1的上侧一端安装有第二铰接件22，换热箱4的上下端通过收紧口16相贯通，第一铰本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种罩井式负压球化退火炉，包括退火炉主体(1)、顶盖(2)、加热腔(3)与换热箱(4)，所述顶盖(2)位于退火炉主体(1)的上侧位置处，所述加热腔(3)位于退火炉主体(1)的内部，所述换热箱(4)位于退火炉主体(1)的内侧位置处，其特征在于，所述退火炉主体(1)的下侧设置有支撑架(5)，所述支撑架(5)的内部安装有风机(8)，所述风机(8)的输出端设置有排气管(9)，所述风机(8)的输入端设置有进气管(10)，所述加热腔(3)的内部一侧设置有加热板(6)，所述换热箱(4)的内侧设置有排热网(7)，所述加热腔(3)的内部设置有热量循环管(11)，所述换热箱(4)的内部下端安装有搅拌叶(12)，所述退火炉主体(1)的下侧对应搅拌叶(12)的位置处安装有电机(13)，所述顶盖(2)的上侧设置有除尘箱(14)，所述除尘箱(14)的上端安装有进尘管(15)。2.根据权利要求1所述的一种罩井式负压球化退火炉，其特征在于，所述换热箱(4)的内部下端位置处设置有收紧口(16)，所述排热网(7)的内侧设置有挡风板(17)，所述除尘箱(14)的内部上端安装有过滤层(18)，所述除尘箱(14)的内部下端安装有风扇(19)，所述除尘箱(14)的下侧设置有导流叶(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：董萍，荣春青，崔琳，
申请(专利权)人：青岛强固标准件有限公司，
类型：新型
国别省市：