一种太赫兹波谱仪制造技术

本发明专利技术公开一种太赫兹波谱仪，包括：激光器的探测光输出端、太赫兹接收光电导天线均与延迟线通过光纤进行连接，激光器的抽运光输出端与太赫兹发射光电导天线通过光纤连接，电路板与太赫兹接收光电导天线电性连接；安装架包括两个相正对的第一安装板和第二安装板，太赫兹发射光电导天线设置在第一安装板上，太赫兹接收光电导天线设置在第二安装板上，替换模块的座板的两端分别与第一安装板、第二安装板卡合连接，第一抛物面镜与太赫兹发射光电导天线相正对，第二抛物面镜与太赫兹接收光电导天线相正对，功能组件与第一抛物面镜、第二抛物面镜形成探测结构，探测结构的功能为反射、透射或者ATR中的其中一种。该波谱仪可以实现多个功能模块的替换。功能模块的替换。功能模块的替换。

A terahertz spectrometer

【技术实现步骤摘要】
一种太赫兹波谱仪


[0001]本专利技术涉及太赫兹设备
，具体涉及一种太赫兹波谱仪。

技术介绍

[0002]目前太赫兹检测系统应用范围较广，且测量方式多样，包括透射式太赫兹检测系统，反射式太赫兹检测系统。而国内太赫兹检测系统器件制造技术并不完善，使得太赫兹检测系统造价昂贵，因此传统的一机一用模式造成了严重的资源浪费。而目前市场上已有的单模块多功能太赫兹检测系统虽然可以一机多用，但是测试系统往往结构复杂，操作困难，使用不同功能往往需要使用者手动调节内部器件以改变系统光路，这将使太赫兹检测系统的稳定性在手动调节的过程中降低，大大影响其工作效率。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的上述问题，旨在提供一种太赫兹波谱仪。
[0004]具体技术方案如下：
[0005]一种太赫兹波谱仪，主要包括：激光器、延迟线、电路板、太赫兹发射光电导天线、太赫兹接收光电导天线、安装架及替换模块；
[0006]所述激光器具有抽运光输出端和探测光输出端，所述探测光输出端与所述延迟线通过光纤进行连接，所述抽运光输出端与所述太赫兹发射光电导天线通过光纤连接，所述延迟线与所述太赫兹接收光电导天线通过光纤连接，所述电路板与所述太赫兹接收光电导天线电性连接；
[0007]所述替换模块包括座板，所述座板上设置有第一抛物面镜、第二抛物面镜及功能组件，所述安装架包括两个相正对的第一安装板和第二安装板，所述太赫兹发射光电导天线设置在所述第一安装板上，所述太赫兹接收光电导天线设置在所述第二安装板上，所述座板的两端分别与所述第一安装板、所述第二安装板卡合连接，所述第一抛物面镜与所述太赫兹发射光电导天线相正对，所述第二抛物面镜与所述太赫兹接收光电导天线相正对，所述功能组件与所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜形成完整的探测结构，所述探测结构的功能为反射、透射或者ATR三种中的其中一种。
[0008]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述座板具有安装面，所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜设置于所述安装面的两个相对端，所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线相平行，所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜在所述安装面上的安装方向相同，所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线均与所述安装面相平行。
[0009]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述功能组件包括第一反射镜、第二反射镜、第三抛物面镜、第四抛物面镜及样品台；
[0010]所述第一反射镜与所述第一抛物面镜相正对，所述第一反射镜位于所述第一抛物面镜的轴线上，所述第三抛物面镜与所述第一反射镜相正对，所述第三抛物面镜与所述第
一反射镜沿第二方向共线设置，所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜相正对，所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜沿第三方向共线设置，所述第二反射镜位于所述第二抛物面镜的轴线上，所述第二反射镜分别与所述第二抛物面镜、所述第四抛物面镜相正对，其中，所述第二方向平行于所述安装面，所述第二方向与所述第一抛物面镜的轴线方向相垂直，所述第三方向垂直于所述安装面，所述样品台用于放置待探测样品的台面正对所述第三抛物面镜与所述第四抛物面镜的连线。
[0011]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述第一抛物面镜与所述第一反射镜之间的光程为74.94mm，所述第一反射镜与所述第三抛物面镜之间的光程为66.4mm，所述第三抛物面镜与所述样品台之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述第四抛物面镜与所述样品台之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述第四抛物面镜与所述第二反射镜之间的光程为66.4mm，所述第二反射镜与所述第二抛物面镜之间的光程为116.72mm，其中，所有的抛物面镜包括所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜、所述第三抛物面镜及所述第四抛物面镜，所有的抛物面镜的焦距均相同。
[0012]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述第一抛物面镜的轴线方向为第一方向，所述功能组件包括第三反射镜、第四反射镜、第五抛物面镜、第六抛物面镜、第五反射镜、第六反射镜及样品台；
[0013]所述第三反射镜与所述第一抛物面镜相正对，所述第三反射镜位于所述第一抛物面镜的轴线上，所述第四反射镜与所述第三反射镜相正对，所述第四反射镜与所述第三反射镜沿第三方向共线设置，所述第五抛物面镜与所述第四反射镜相正对，所述第五抛物面镜与所述第四反射镜沿第二方向共线设置，所述第六抛物面镜与所述第五抛物面镜相正对，所述第六抛物面镜与所述第五抛物面镜沿所述第一方向共线设置，所述第五反射镜与所述第六抛物面镜相正对，所述第五反射镜与所述第六抛物面镜沿所述第二方向共线设置，所述第六反射镜设置在所述第二抛物面镜的轴线上，所述第六反射镜分别与所述第二抛物面镜、所述第五反射镜相正对，所述第六反射镜与所述第五反射镜沿所述第三方向共线设置，其中，所述第二方向平行于所述安装面，所述第二方向与所述第一抛物面镜的轴线方向相垂直，所述第三方向垂直于所述安装面，所述样品台设置于所述第五抛物面镜与所述第六抛物面镜连线之间。
[0014]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述第三反射镜与所述第一抛物面镜之间的光程为89.82mm，所述第四反射镜与所述第三反射镜之间的光程为35.92mm，所述第五抛物面镜与所述第四反射镜之间的光程为66.4mm，所述第五抛物面镜与所述样品台之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述样品台与所述第六抛物面镜之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述第六抛物面镜与所述第五反射镜之间的光程为66.4mm，所述第五反射镜与所述第六反射镜之间的光程为35.92mm，所述第六反射镜与所述第二抛物面镜之间的光程为30mm，其中，所有的抛物面镜包括所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜、所述第五抛物面镜及所述第六抛物面镜，所有的抛物面镜的焦距均相同。
[0015]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述功能组件包括第七反射镜、第七抛物面镜、梯形硅棱镜、第八反射镜、第八抛物面镜及样品台；
[0016]所述第七反射镜与所述第一抛物面镜相正对，所述第七反射镜位于所述第一抛物面镜的轴线上，所述第七抛物面镜与所述第七反射镜相正对，所述第七抛物面镜与所述第
七反射镜沿第三方向共线设置，所述第八反射镜位于所述第二抛物面镜的轴线上，所述第八抛物面镜与所述第八反射镜相正对，所述第八抛物面镜与所述第八反射镜沿所述第三方向共线设置，所述梯形硅棱镜具有短边及两个腰侧面，所述梯形硅棱镜的两个所述腰侧面分别与所述第七抛物面镜、所述第八抛物面镜相正对，所述短边朝向所述第一抛物面镜，所述样品台位于所述短边上，其中，所述第三方向垂直于所述安装面。
[0017]上述的一种太赫兹波谱仪中，还具有这样的特征，所述第一抛物面镜与所述第七反射镜之间的光程为30mm,所述第七反射镜与所述第七抛物面镜之间的光程为35.92mm，所述第七抛物面镜与所述梯形硅棱镜正对自己的所述腰侧面之间的光程为43.6mm，所述梯形硅棱镜与所述第八抛物面镜之间的光程为43.6mm本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹波谱仪，其特征在于，包括：激光器、延迟线、电路板、太赫兹发射光电导天线、太赫兹接收光电导天线、安装架及替换模块；所述激光器具有抽运光输出端和探测光输出端，所述探测光输出端与所述延迟线通过光纤进行连接，所述抽运光输出端与所述太赫兹发射光电导天线通过光纤连接，所述延迟线与所述太赫兹接收光电导天线通过光纤连接，所述电路板与所述太赫兹接收光电导天线电性连接；所述替换模块包括座板，所述座板上设置有第一抛物面镜、第二抛物面镜及功能组件，所述安装架包括两个相正对的第一安装板和第二安装板，所述太赫兹发射光电导天线设置在所述第一安装板上，所述太赫兹接收光电导天线设置在所述第二安装板上，所述座板的两端分别与所述第一安装板、所述第二安装板卡合连接，所述第一抛物面镜与所述太赫兹发射光电导天线相正对，所述第二抛物面镜与所述太赫兹接收光电导天线相正对，所述功能组件与所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜形成完整的探测结构，所述探测结构的功能为反射、透射或者ATR三种中的其中一种。2.根据权利要求1所述的太赫兹波谱仪，其特征在于，所述座板具有安装面，所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜设置于所述安装面的两个相对端，所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线相平行，所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜在所述安装面上的安装方向相同，所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线均与所述安装面相平行。3.根据权利要求2所述的太赫兹波谱仪，其特征在于，所述功能组件包括第一反射镜、第二反射镜、第三抛物面镜、第四抛物面镜及样品台；所述第一反射镜与所述第一抛物面镜相正对，所述第一反射镜位于所述第一抛物面镜的轴线上，所述第三抛物面镜与所述第一反射镜相正对，所述第三抛物面镜与所述第一反射镜沿第二方向共线设置，所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜相正对，所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜沿第三方向共线设置，所述第二反射镜位于所述第二抛物面镜的轴线上，所述第二反射镜分别与所述第二抛物面镜、所述第四抛物面镜相正对，其中，所述第二方向平行于所述安装面，所述第二方向与所述第一抛物面镜的轴线方向相垂直，所述第三方向垂直于所述安装面，所述样品台用于放置待探测样品的台面正对所述第三抛物面镜与所述第四抛物面镜的连线。4.根据权利要求3所述的太赫兹波谱仪，其特征在于，所述第一抛物面镜与所述第一反射镜之间的光程为74.94mm，所述第一反射镜与所述第三抛物面镜之间的光程为66.4mm，所述第三抛物面镜与所述样品台之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述第四抛物面镜与所述样品台之间的光程等于所有的抛物面镜的焦距，所述第四抛物面镜与所述第二反射镜之间的光程为66.4mm，所述第二反射镜与所述第二抛物面镜之间的光程为116.72mm，其中，所有的抛物面镜包括所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜、所述第三抛物面镜及所述第四抛物面镜，所有的抛物面镜的焦距均相同。5.根据权利要求2所述的太赫兹波谱仪，其特征在于，所述第一抛物面镜的轴线方向为第一方向，所述功能组件包括第三反射镜、第四反射镜、第五抛物面镜、第六抛物面镜、第五反射镜、第六反射镜及样品台；所述第三反射镜与所述第一抛物面镜相正对，所述第三反射镜位于所述第一抛物面镜
的轴线上，所述第四反射镜与所述第三反射镜相正对，所述第四反射镜与所述第三反射镜沿第三方向共线设置，所述第五抛物面镜与所述第四反射镜相正对，所述第五抛物面镜与所述第四反射镜沿第二方向共线设置，所述第六抛物面镜与所述第五抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金鸽，杨旻蔚，王丹，刘锋，吴玫晓，施杰，
申请(专利权)人：华太极光光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：