【技术实现步骤摘要】
一种基板用料盒分料装置
[0001]本技术涉及芯片生产设备
,具体涉及一种基板用料盒分料装置。
技术介绍
[0002]基板是芯片生产的基本材料。在芯片的生产过程中,需要对含有芯片的基板进行不同的工艺处理,在不同的生产环节中,一般需要通过图1所示的料盒对基板进行存放和转移。
[0003]目前,芯片基板的生产多为全自动化生产,将基板存放至料盒主要通过机械手进行上料操作;但是,多个料盒并排放置时,常因相邻的料盒之间的间隔距离太小,导致多个机械手在同时作业时会相互碰触干涉,影响基板的上料作业。
[0004]因此,如何解决上述技术问题,是目前芯片生产设备
需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]针对上述技术问题,本技术实施例提供了一种基板用料盒分料装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]本技术提供了以下技术方案一种基板用料盒分料装置,包括:
[0007]分料底板,其上沿分料底板长度方向设有分料导轨;
[0008]固定放置块,所述固定放置块固定在分料底板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板用料盒分料装置,其特征在于,包括:分料底板,其上沿分料底板长度方向设有分料导轨;固定放置块,所述固定放置块固定在分料底板一侧;多个可调放置块,多个所述可调放置块滑移在分料导轨上;分料驱动件,所述分料驱动件设置在分料底板上并与多个可调放置块连接,其用于将多个所述可调放置块间隔等距分开。2.根据权利要求1所述的一种基板用料盒分料装置,其特征在于,所述分料驱动件包括分别固定在分料底板上的分料剪叉机构和分料气缸;多个所述可调放置块间隔均匀固定在分料剪叉机构上,所述分料气缸驱动最外侧可调放置块,可实现多个可调放置块间隔等距分开。3.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘长勇,闫俊存,郝启,吕丹,宋艳,
申请(专利权)人:青岛新松机器人自动化有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。