基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统制造方法及图纸

本公开涉及一种基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统，能够使用平面马达来以高位置精度向处理室内的搬送位置搬送基板。用于搬送基板的基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部以及内部具有磁体来用于使基板保持部移动的基部；平面马达，其具有主体部、排列在主体部内的多个电磁线圈、以及向电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部；基板检测传感器，其在保持于基板保持部的基板通过时检测基板；以及搬送控制部，其基于基板检测传感器的检测数据来运算保持于基板保持部的基板的实际位置，并计算所述实际位置相对于所设定的逻辑位置的校正值，基于该校正值来修正基板的搬送位置。基板的搬送位置。基板的搬送位置。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统


[0001]本公开涉及一种基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统。

技术介绍

[0002]例如，在半导体制造工艺中，在进行作为基板的半导体晶圆的处理时，使用一种具备多个处理室、与处理室连接的真空搬送室以及设置于真空搬送室内的基板搬送装置的基板处理系统。
[0003]作为这样的基板搬送装置，以往使用多关节臂构造的搬送机器人(例如专利文献1)。但是，使用搬送机器人的技术存在从真空密封件侵入气体的问题、搬送机器人的移动受限的问题，因此提出一种使用利用磁悬浮的平面马达的基板搬送装置，来作为能够解决这些问题的技术(例如专利文献2)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2017
‑
168866号公报
[0007]专利文献2：日本特表2018
‑
504784号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]本公开提供一种能够使用平面马达来以高位置精度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板搬送装置，用于搬送基板，所述基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部以及内部具有磁体来用于使所述基板保持部移动的基部；平面马达，其具有主体部、排列在所述主体部内的多个电磁线圈、以及向所述电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部；基板检测传感器，其在保持于所述基板保持部的所述基板通过时检测所述基板；以及搬送控制部，其基于所述基板检测传感器的检测数据来运算保持于所述基板保持部的所述基板的实际位置，并计算所述实际位置相对于所设定的逻辑位置的校正值，基于该校正值来修正所述基板的搬送位置。2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送控制部运算保持于所述基板保持部的所述基板的物理中心作为所述基板的所述实际位置，并计算所述物理中心相对于作为所述逻辑位置的所述基板的逻辑中心的校正值。3.根据权利要求1或2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送单元具有一个所述基部，所述基板保持部与所述基部直接连接。4.根据权利要求1或2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送单元具有两个所述基部，还具有将各个所述基部与所述基板保持部连结的连杆机构。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板搬送装置设置于与对基板进行处理的处理室连接的搬送室内，用于将基板搬送至所述处理室，所述平面马达的所述主体部构成所述搬送室的底壁。6.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于，所述基板检测传感器设置于所述搬送室中的与所述处理室的基板搬入搬出口对应的位置，在向所述处理室搬送保持有所述基板的所述基板保持部的过程中检测所述基板。7.一种基板搬送方法，用于搬送基板，所述基板搬送方法使用基板搬送装置，所述基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部以及内部具有磁体来用于使所述基板保持部移动的基部；以及平面马达，其具有主体部、排列在所述主体部内的多个电磁线圈、以及向所述电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部，所述基板搬送方法包括：在使所述基板保持于所述基板保持部的状态下搬送所述基板的过程中，由基板检测传感器检测所述基板；基于所述基板检测传感器的检测数据来运算...

【专利技术属性】
技术研发人员：波多野达夫，渡边直树，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：