【技术实现步骤摘要】
基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统
[0001]本公开涉及一种基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统。
技术介绍
[0002]例如，在半导体制造工艺中，在进行作为基板的半导体晶圆的处理时，使用一种具备多个处理室、与处理室连接的真空搬送室以及设置于真空搬送室内的基板搬送装置的基板处理系统。
[0003]作为这样的基板搬送装置，以往使用多关节臂构造的搬送机器人(例如专利文献1)。
[0004]另外，作为能够解决使用搬送机器人的技术中的从真空密封件侵入气体的问题、搬送机器人的回转及伸缩的移动受限的问题的技术，提出一种使用利用磁悬浮的平面马达的基板搬送装置(例如专利文献2)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2017
‑
168866号公报
[0008]专利文献2：日本特表2018
‑
504784号公报
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的问题
[0010]本公开...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板搬送装置，用于将基板搬送至基板搬送位置，所述基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部、内部具有多个磁体来用于使所述基板保持部移动的基部、以及将所述基板保持部与所述基部连结的连杆构件；以及平面马达，其具有主体部、排列在所述主体部内的多个电磁线圈、以及向所述电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部，其中，所述基部具有第一构件、以及以能够旋转的方式设置于所述第一构件内的第二构件，在所述第一构件和所述第二构件的内部设置有所述磁体，所述连杆构件以能够旋转的方式与所述第二构件连结，所述直线驱动部用于使所述第二构件相对于所述第一构件旋转，来使所述基板保持部经由所述连杆构件伸缩。2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，在所述基板保持部退缩了时，成为所述基部、所述连杆构件以及所述基板保持部上下重叠的状态，所述基部在该状态下被进行直线驱动。3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，构成为在所述基板保持部退缩的状态下，在俯视观察时，所述基部和所述连杆构件包括在保持于所述基板保持部的所述基板的存在区域内。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，在使所述基板保持部访问所述基板搬送位置时，所述基板保持部被设为从所述基部伸长的状态。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送单元具有两个所述基部和两个所述连杆构件，各所述连杆构件将各所述基部的所述第二构件与所述基板保持部连结。6.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其特征在于，所述连杆构件具有关节，进行蛙腿式的伸缩动作。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送单元还具有用于引导所述基板保持部的引导构件。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，所述搬送单元设置于与对基板进行处理的处理室连接的搬送室内，基板搬送位置为所述处理室，所述平面马达的所述主体部构成所述搬送室的底壁。9.一种基板搬送方法，用于将基板搬送至基板搬送位置，所述基板搬送方法使用基板搬送装置，所述基板搬送装置具有：搬送单元，其具有用于保持基板的基板保持部、内部具有多个磁体来用于使所述基板保持部移动的基部、以及将所述基板保持部与所述基部连结的连杆构件；以及平面马达，其具有主体部、排列在所述主体部内的多个电磁线圈、以及向所述电磁线圈供电来使所述基部磁悬浮并且对所述基部进行直线驱动的直线驱动部，其中，所述基部具有第一构件、以能够旋转的方式设置于所述第一构件内的第二构件，在所述第一构件和所述第二构件的内部设置有所述磁体，所述连杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：波多野达夫，渡边直树，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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