一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，所述方法包括：获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。通过本发明专利技术实施例，实现了对针对半导体设备的软件动画单元开发的优化，既通过配置文件的形式来生成软件，满足不同的设备调试需求，提升了对不同设备的适用性，且能够让用户直观地查看到各个部件的移动过程，进而更加便捷地得到动画数据，提升了开发效率。提升了开发效率。提升了开发效率。

A method, device and equipment for processing animation data in semiconductor process equipment

【技术实现步骤摘要】
一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备。

技术介绍

[0002]对于半导体设备，其工作模式通常是机械手(Robot)将指定位置上的晶圆(Wafer)传输至工艺腔室进行工艺加工，再将工艺完成的晶圆传输回到指定位置，半导体设备一般由工艺腔室、传输腔室、加载腔室等多个固定位置的模块、可旋转伸缩的机械手，以及需要被传输的晶圆组成。
[0003]为提升针对半导体设备的软件的用户使用体验，设备软件的界面都会包含动画单元，动画单元外观表现为设备整体组成的简图，动画单元可以显示整体机台的实时状态信息，这些信息包括模块所处的状态(已准备、维护、是否在工艺等)、机械手的旋转和取放片动作、wafer的实时传输状态等。
[0004]在设备工作过程中，设备软件会根据具体硬件传输回来的反馈信号控制动画单元显示不同的效果，动画单元的开发是设备软件开发的重要一环，但现有的动画单元的开发对设备的适用性较差且开发效率低。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，提出了以便提供克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，包括：
[0006]一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法，所述方法包括：
[0007]获取半导体设备对应的配置文件；
[0008]根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图；
[0009]响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；
[0010]根据当前位置信息，生成动画数据。
[0011]可选地，响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，包括：
[0012]响应于用户选择部件的操作，确定目标部件；
[0013]响应于用户输入移动参数的操作，对目标部件对应的当前位置信息进行更新，并在分布视图中显示目标部件的移动过程。
[0014]可选地，响应于用户输入移动参数的操作，对目标部件对应的当前位置信息进行更新，包括：
[0015]确定目标移动精度；
[0016]响应于用户输入移动参数的操作，按照目标移动精度，对目标部件对应的当前位置信息进行更新。
[0017]可选地，在响应于用户选择部件的操作，确定目标部件之前，还包括：
[0018]显示各个部件对应的操作控件；
[0019]响应于用户选择部件的操作，确定目标部件，包括：
[0020]响应于用户对目标操作控件的选中操作，确定目标部件。
[0021]可选地，还包括：
[0022]显示各个部件的当前位置信息。
[0023]可选地，各个部件包括：
[0024]固定模块、机械手、晶圆；
[0025]其中，固定模块包括工艺腔室、真空传输腔室、大气传输腔室、真空大气转换腔室、门阀。
[0026]可选地，配置文件具有针对半导体设备中各个部件的配置信息，各个部件的配置信息包括与其对应的动画图片和位置信息，针对机械手的配置信息包括可供机械手取放的晶圆名称，针对晶圆的配置信息包括其停留的固定模块名称。
[0027]可选地，根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图，包括：
[0028]根据配置文件中针对各个部件的配置信息，确定预置的映射解析算法中与各个部件对应的类的属性信息，属性信息包括各个部件对应的动画图片和位置信息；
[0029]调用映射解析算法，根据与各个部件对应的类的属性信息，生成半导体设备中各个部件的分布视图，并进行显示。
[0030]一种处理半导体工艺设备中动画数据的装置，所述装置包括：
[0031]配置文件获取模块，用于获取半导体设备对应的配置文件；
[0032]分布视图显示模块，用于根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图；
[0033]移动模块，用于响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；
[0034]动画数据生成模块，用于根据当前位置信息，生成动画数据。
[0035]一种处理半导体工艺设备中动画数据的设备，包括：控制器，控制器用于获取半导体设备对应的配置文件；根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据当前位置信息，生成动画数据。
[0036]本专利技术实施例具有以下优点：
[0037]在本专利技术实施例中，通过获取针对半导体设备的配置文件，根据配置文件，显示半导体设备中各个部件的分布视图，响应于对目标部件的移动操作，在分布视图中显示目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息，根据当前位置信息，生成动画数据，实现了对针对半导体设备的软件动画单元开发的优化，既通过配置文件的形式来生成软件，满足不同的设备调试需求，提升了对不同设备的适用性，且能够让用户直观地查看到各个部件的移动过程，进而更加便捷地得到动画数据，提升了开发效率。
附图说明
[0038]为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对本专利技术的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域
普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0039]图1a是本专利技术一实施例提供的一种半导体工艺设备中动画数据处理方法的步骤流程图；
[0040]图1b是本专利技术一实施例提供的一种图形用户界面；
[0041]图1c是本专利技术一实施例提供的一种类的关系图；
[0042]图1d是本专利技术一实施例提供的一种配置文件结构的示意图；
[0043]图2是本专利技术一实施例提供的另一种半导体工艺设备中动画数据处理方法的步骤流程图；
[0044]图3是本专利技术一实施例提供的一种处理半导体工艺设备中动画数据的装置的结构框图。
具体实施方式
[0045]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0046]针对半导体设备的软件动画单元的开发可以分为4个阶段：
[0047]1、拆解整机的基本模块，区分出诸如工艺腔室、机械手等典型的小模块，并绘制相应的简图，对拆解的小模块进行软件开发，赋予不同的小模块逻辑控制。
[0048]2、模块重组，研发人员要确认各小模块对应简图在特定背景上的具体位置，以及模块之间的关联数据信息(如机械手取片的位置数据、晶圆在模块上的位置数据等)，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法，其特征在于，所述方法包括：获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，包括：响应于用户选择部件的操作，确定所述目标部件；响应于用户输入移动参数的操作，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新，并在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述响应于用户输入移动参数的操作，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新，包括：确定目标移动精度；响应于用户所述输入移动参数的操作，按照所述目标移动精度，对所述目标部件对应的当前位置信息进行更新。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，在所述响应于用户选择部件的操作，确定目标部件之前，还包括：显示所述各个部件对应的操作控件；所述响应于用户选择部件的操作，确定目标部件，包括：响应于用户对目标操作控件的选中操作，确定所述目标部件。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：显示所述各个部件的当前位置信息。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述各个部件包括：固定模块、机械手、晶圆；其中，所述固定模块包括工艺腔室、真空传输腔室、大气传输腔室、真空大气转换腔室、门阀。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫兆辉，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：