惯性测量装置制造方法及图纸

惯性测量装置具备：传感器单元，其包括惯性传感器、收纳有上述惯性传感器的壳体、及固定有上述壳体的第一固定部；弹性部件，其具有主要使第一方向的规定频率的振动衰减的第一弹性部件、和主要使与上述第一方向不同的第二方向的规定频率的振动衰减的第二弹性部件；第二固定部，其供上述传感器单元与上述弹性部件配置；以及固定部件，其将上述传感器单元与上述弹性部件固定于上述第二固定部。述弹性部件固定于上述第二固定部。述弹性部件固定于上述第二固定部。

【技术实现步骤摘要】
惯性测量装置


[0001]本专利技术涉及惯性测量装置。

技术介绍

[0002]已知一种惯性测量装置(IMU：Inertial Measurement Unit)，其具备角速度传感器、加速度传感器等多个传感器，用于建筑物、构造体等的位移量测定。在以往的惯性测量装置中，存在有由于振动导致的故障、与测量对象频率不同的测量对象外频率的振动而产生振动整流误差(VRE：vibration rectification error)，从而诱发测量对象频带的测量误差的可能性，因此提出了通过机械滤波器来抑制测量对象外频率的振动的惯性测量装置。
[0003]例如，在专利文献1中，公开了作为机械滤波器的具备凝胶衬套的恒温槽型晶体振荡器。根据该文献，搭载有恒温槽型晶体振荡器的子基板在四个角夹设凝胶衬套，由此抑制了不需要的测量对象外频率的振动。
[0004]专利文献1：日本特开2010
‑
258734号公报
[0005]然而，专利文献1所记载的四角的凝胶衬套使轴向沿同一方向排列地配置，例如，尽管抑制沿着作为轴向的Z轴方向的振动，但沿着作为轴向以外的X、Y轴方向的振动的抑制较低。在该情况下，机械滤波器的轴向(例如Z轴)的加速度测量值与除此之外的方向(例如X、Y轴方向)的加速度测量值所涉及的机械滤波特性不同，因此多个机械滤波器的合成滤波特性也为各向异性特性，难以进行使用三轴的加速度评价。另外，在滤波特性较弱的方向(例如X、Y轴方向)上，VRE抑制效果较低，存在加速度测量值的振动整流误差变大的课题。

技术实现思路

[0006]惯性测量装置具备：传感器单元，包括惯性传感器、收纳有所述惯性传感器的壳体、及固定有所述壳体的第一固定部；弹性部件，具有主要使第一方向的规定频率的振动衰减的第一弹性部件、和主要使与所述第一方向不同的第二方向的规定频率的振动衰减的第二弹性部件；第二固定部，供所述传感器单元与所述弹性部件配置；以及固定部件，将所述传感器单元与所述弹性部件固定于所述第二固定部，所述固定部件具有：第一固定部件，贯通所述传感器单元与所述第一弹性部件，并对所述第一弹性部件进行按压；以及第二固定部件，贯通所述传感器单元与所述第二弹性部件，并对所述第二弹性部件进行按压。
附图说明
[0007]图1是表示第一实施方式的惯性测量装置的概要构造的俯视图。
[0008]图2是从负X轴方向观察图1的惯性测量装置的概要侧视图。
[0009]图3是表示惯性测量装置所具备的弹性部件周边的局部剖视图。
[0010]图4是表示第二实施方式的惯性测量装置的概要构造的俯视图。
[0011]图5是表示图4的惯性测量装置的概要构造的A
‑
A线剖视图。
[0012]图6是表示第三实施方式的惯性测量装置的概要构造的俯视图。
[0013]图7是表示图6的惯性测量装置的概要构造的B
‑
B线剖视图。
[0014]图8是表示第四实施方式的惯性测量装置的概要构造的主视图。
[0015]图9是表示图8的惯性测量装置的概要构造的俯视图。
[0016]图10是表示图8的惯性测量装置的概要构造的侧视图。
[0017]附图标记说明
[0018]1、1A、1B、1C
…
惯性测量装置，10、10A、10B、10C
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传感器单元，11
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惯性传感器，12
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壳体，12a、13a、14a
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倾斜部，12b、13b、14b
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平坦部，12c、13c
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开孔部，13、14
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第一基板，15
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第一基板，15a、15b、15c
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基板，23、24
…
第二基板，23a、24a
…
倾斜部，23b、24b
…
平坦部，23c
…
螺孔，25
…
第二基板，25a、25b、25c
…
基板，30
…
弹性部件，30a
…
第一部分，30b
…
第二部分，30c
…
第三部分，30d
…
控制部件，30x、30y、30z
…
弹性部件，31
…
第一弹性部件，32
…
第二弹性部件，33
…
第三弹性部件，34
…
第四弹性部件，40
…
固定部件，40a
…
螺钉，40b
…
垫圈，41
…
第一固定部件，42
…
第二固定部件，43
…
第三固定部件，44
…
第四固定部件，120
…
壳体，J1
…
中心轴，J2
…
中心轴，J3
…
中心轴，J4
…
中心轴。
具体实施方式
[0019]参照附图对惯性测量装置的实施方式进行说明。此外，在以下的实施方式中，将图示的相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴，将沿着X轴的方向称为“X轴方向”，将沿着Y轴的方向称为“Y轴方向”，将沿着Z轴的方向称为“Z轴方向”。另外，X轴、Y轴及Z轴的各轴将箭头的前端方向称为正(+)方向，将与前端方向相反的方向称为负(
‑
)方向，将从正Z轴方向观察对象物称为俯视观察。另外，在以下的实施方式中，省略惯性测量装置的外装壳体、及控制电路等的图示。
[0020]1.第一实施方式
[0021]参照图1～图3对本实施方式的惯性测量装置1进行说明。
[0022]如图1、图2所示，惯性测量装置1构成为具备：传感器单元10、弹性部件30、供传感器单元10与弹性部件30配置的作为第二固定部的第二基板23、以及将传感器单元10与弹性部件30固定于第二基板23的固定部件40。
[0023]传感器单元10包括惯性传感器11、收纳有惯性传感器11的壳体12、以及固定有壳体12的作为第一固定部的第一基板13，传感器单元10作为具备三轴加速度传感器及三轴角速度传感器的六轴运动传感器发挥功能。
[0024]惯性传感器11具备三轴加速度传感器及三轴角速度传感器。壳体12形成俯视观察为大致正方形的长方体的外形，在其内部收纳有惯性传感器11、用于使惯性传感器11发挥功能的未图示的控制IC、连接器等。
[0025]另外，壳体12在位于正方形的对角线方向的两处顶点附近，形成有未图示的螺孔，并通过螺钉等固定于第一基板13。此外，作为将壳体12固定于第一基板13的方法，并不限于螺钉，也能够利用熔敷、粘合剂、铆接等来进行固定。
[0026]第一基板13是在俯视观察时形成正三角形的基板，具有三个倾斜部13a、和沿着XY平面的具有表背面的平坦部1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惯性测量装置，其特征在于，具备：传感器单元，包括惯性传感器、收纳有所述惯性传感器的壳体、及固定有所述壳体的第一固定部；弹性部件，具有主要使第一方向的规定频率的振动衰减的第一弹性部件、和主要使与所述第一方向不同的第二方向的规定频率的振动衰减的第二弹性部件；第二固定部，供所述传感器单元与所述弹性部件配置；以及固定部件，将所述传感器单元与所述弹性部件固定于所述第二固定部，所述固定部件具有：第一固定部件，贯通所述传感器单元与所述第一弹性部件，并对所述第一弹性部件进行按压；以及第二固定部件，贯通所述传感器单元与所述第二弹性部件，并对所述第二弹性部件进行按压。2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述弹性部件具有第三弹性部件，所述第三弹性部件主要使与所述第一方向及所述第二方向不同的第三方向的规定频率的振动衰减，所述固定部件具有第三固定部件，所述第三固定部件贯通所述传感器单元与所述第三弹性部件，并对所述第三弹性部件进行按压。3.根据权利要求2所述的惯性测量装置，其特征在于，所述弹性部件具有第四弹性部件，所述第四弹性部件主要使与所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向不同的第四方向的规定频率的振动衰减，所述固定部件具有第四固定部件，所述第四固定部件贯通所述传感器单元与所述第四弹性部件，并对所述第四弹性部件进行按压。4.根据权利要求1至3中任一项所述的惯性测量装置，其特征在于，所述弹性部件设置为，贯通所述弹性部件的所述固定部件的中心轴向所述传感器单元的中心侧倾斜。5.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述第一固定部与所述第二固定部经由所述第一弹性部件及所述第二弹性部件而被固定，所述第一固定部及所述第二固定部分别具有：供所述第一弹性部件设置的第一区域、供所述第二弹性部件设置的第二区域、以及除所述第一区域和所述第二区域以外的第三区域，所述第一区域和所述第二区域形成为相对于所述第三区域倾斜。6.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性传感器具备三轴加速度传感器。7.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，所述惯性传感器具备三轴角速度传感器。8.一种惯性测量装置，其特征在于，具备：传感器单元，具有惯性传感器；第一弹性部件、第二弹性部件和第三弹性部件；
固定部，具备第一倾斜部、第二倾斜部和第三倾斜部，并供所述传感器单元、所述第一弹性部件、所述第二弹性部件及所述第三弹性部件配置；第一固定部件，经由所述第一弹性部件而将所述传感器单元固定于所述固定部的所述第一倾斜部；第二固定部件，经由所述第二弹性部件而将所述传感器单元固定于所述固定部的所述第二倾斜部；以及第三固定部件，经由所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田和义，小林祥宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：