一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置制造方法及图纸

技术编号:34163556 阅读:22 留言:0更新日期:2022-07-15 01:56
一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置。本实用新型专利技术针对空心阴极真空电弧能量密度测试的问题。本实用新型专利技术包括左阳极、右阳极、绝缘片、左阳极水冷腔、右阳极水冷腔、移动平台、空心阴极等,左阳极与右阳极之间采用绝缘片实现绝缘紧密可拆卸固定安装,通过移动平台测试不同位置下真空电弧的电流并计算能量密度。本实用新型专利技术具有能量密度测试准确和便捷的特点。实用新型专利技术具有能量密度测试准确和便捷的特点。实用新型专利技术具有能量密度测试准确和便捷的特点。

A split anode device for vacuum arc testing with hollow cathode

【技术实现步骤摘要】
一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置


[0001]本技术涉及一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置,属于真空电弧特性测试领域。

技术介绍

[0002]不同于大气环境下电弧,真空电弧的阴极形状要求是空心结构而保证电弧稳定燃烧,因此又称为空心阴极真空电弧。空心阴极真空电弧是一种能够在真空状态下稳定燃烧的等离子体,不存在大气环境下O2、N2、水蒸气等气体对等离子体影响,真空保护赋予空心阴极真空电弧被良好地应用于材料加工、表面改性及外太空环境下能量源的领域。
[0003]空心阴极真空电弧作为集中能量源,它的等离子体分布、能量密度等物理特性影响着真空电弧的应用。因此,测试空心阴极真空电弧的等离子体能量密度特性具有重要意义。

技术实现思路

[0004]针对空心阴极真空电弧能量密度测试的问题,本技术专利提供一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置。本技术专利构建分裂式阳极结构,调控阳极位置并测试空心阴极真空电弧在不同位置下电流数值,计算能量密度。
[0005]本技术为解决上述问题采取的技术方案是:
[0006]本技术公开了一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置,本技术包括左阳极1、右阳极2、绝缘片3、左阳极水冷腔4、右阳极水冷腔5、移动平台6、空心阴极7、阴极法兰盘8、阴极绝缘环9、电弧电源10、电极法兰盘11、电极绝缘环12、上过真空电极13、下过真空电极14、真空室15、真空泵16、左阳极电流表17、右阳极电流表18,
[0007]所述左阳极1和右阳极2为水冷却结构,左阳极1密封焊接在左阳极水冷腔4上,右阳极2密封焊接在右阳极水冷腔5,左阳极水冷腔4和右阳极水冷腔5分别通入循环冷却水进行冷却处理,左阳极水冷腔4和右阳极水冷腔5可拆卸固定安装在移动平台6上,左阳极1与右阳极2之间采用绝缘片3实现绝缘紧密可拆卸固定安装,空心阴极7可拆卸密封固定安装在阴极法兰盘8上,阴极法兰盘8通过阴极绝缘环9可拆卸密封固定安装在真空室15顶壁上,电极法兰盘11通过电极绝缘环12可拆卸密封固定安装在真空室15左侧壁上,上过真空电极13和下过真空电极14绝缘密封焊接在电极法兰盘11上,上过真空电极13一端通过铜线连接至左阳极1,上过真空电极13另一端通过铜线连接至电弧电源10的阳极,下过真空电极14一端通过铜线连接至右阳极2,下过真空电极14另一端通过铜线连接至电弧电源10的阳极,电弧电源10的阴极连接至空心阴极7上,左阳极1和右阳极2通过移动平台6实现相对于空心阴极7的位移控制运动,左阳极电流表17测试左阳极1电流,右阳极电流表18测试右阳极2电流。
[0008]进一步的是,所述绝缘片3厚度为0.1mm~5mm。
[0009]本技术的有益效果是:本技术提出了一种空心阴极真空电弧测试的分裂
阳极装置,构建分裂式阳极结构,调控阳极位置并测试空心阴极真空电弧在不同位置下电流数值,最后计算能量密度,具有能量密度测试准确和便捷的特点,满足空心阴极真空电弧的科研和工业需求。
附图说明
[0010]图1是本技术的结构示意图。
[0011]图中涉及到的部件名称及标号如下:
[0012]左阳极1、右阳极2、绝缘片3、左阳极水冷腔4、右阳极水冷腔5、移动平台6、空心阴极7、阴极法兰盘8、阴极绝缘环9、电弧电源10、电极法兰盘11、电极绝缘环12、上过真空电极13、下过真空电极14、真空室15、真空泵16、左阳极电流表17、右阳极电流表18。
具体实施方式
[0013]具体实施方式一:结合图1说明本实施方式,本实施方式所述一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置包括左阳极1、右阳极2、绝缘片3、左阳极水冷腔4、右阳极水冷腔5、移动平台6、空心阴极7、阴极法兰盘8、阴极绝缘环9、电弧电源10、电极法兰盘11、电极绝缘环12、上过真空电极13、下过真空电极14、真空室15、真空泵16、左阳极电流表17、右阳极电流表18,
[0014]所述左阳极1和右阳极2为水冷却结构,左阳极1密封焊接在左阳极水冷腔4上,右阳极2密封焊接在右阳极水冷腔5,左阳极水冷腔4和右阳极水冷腔5分别通入循环冷却水进行冷却处理,左阳极水冷腔4和右阳极水冷腔5可拆卸固定安装在移动平台6上,左阳极1与右阳极2之间采用绝缘片3实现绝缘紧密可拆卸固定安装,空心阴极7可拆卸密封固定安装在阴极法兰盘8上,阴极法兰盘8通过阴极绝缘环9可拆卸密封固定安装在真空室15顶壁上,电极法兰盘11通过电极绝缘环12可拆卸密封固定安装在真空室15左侧壁上,上过真空电极13和下过真空电极14绝缘密封焊接在电极法兰盘11上,上过真空电极13一端通过铜线连接至左阳极1,上过真空电极13另一端通过铜线连接至电弧电源10的阳极,下过真空电极14一端通过铜线连接至右阳极2,下过真空电极14另一端通过铜线连接至电弧电源10的阳极,电弧电源10的阴极连接至空心阴极7上,左阳极1和右阳极2通过移动平台6实现相对于空心阴极7的位移控制运动,左阳极电流表17测试左阳极1电流,右阳极电流表18测试右阳极2电流。
[0015]具体实施方式二:结合图1说明本实施方式,本实施方式所述一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置的绝缘片3厚度为0.1mm~5mm。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。
[0016]本技术工作过程如下:
[0017]步骤一、将左阳极1、右阳极2、绝缘片3固定安装在移动平台6上;
[0018]步骤二、将电弧电源10的阴极连接至空心阴极7,将电弧电源10的阳极连接至左阳极1和右阳极2;
[0019]步骤三、启动电弧电源10首先实现空心阴极7与左阳极1之间电弧放电,利用移动平台6实现电弧放电由左阳极1过渡运动至右阳极2上,通过左阳极电流表17和右阳极电流表18测试位移与电弧电流之间的关系。
[0020]以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非对本技术作任何形式上的限制,虽然本技术已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本技术,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本技术技术方案范围内,当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本技术技术方案内容,依据本技术的技术实质,在本技术的精神和原则之内,对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等,均仍属于本技术技术方案的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置,其特征在于:所述一种空心阴极真空电弧测试的分裂阳极装置包括左阳极(1)、右阳极(2)、绝缘片(3)、左阳极水冷腔(4)、右阳极水冷腔(5)、移动平台(6)、空心阴极(7)、阴极法兰盘(8)、阴极绝缘环(9)、电弧电源(10)、电极法兰盘(11)、电极绝缘环(12)、上过真空电极(13)、下过真空电极(14)、真空室(15)、真空泵(16)、左阳极电流表(17)、右阳极电流表(18);所述左阳极(1)和右阳极(2)为水冷却结构,左阳极(1)密封焊接在左阳极水冷腔(4)上,右阳极(2)密封焊接在右阳极水冷腔(5),左阳极水冷腔(4)和右阳极水冷腔(5)分别通入循环冷却水进行冷却处理,左阳极水冷腔(4)和右阳极水冷腔(5)可拆卸固定安装在移动平台(6)上,左阳极(1)与右阳极(2)之间采用绝缘片(3)实现绝缘紧密可拆卸固定安装,空心阴极(7)可拆卸密封固定安装在阴极法兰盘...

【专利技术属性】
技术研发人员:许建平陈晶
申请(专利权)人:黑龙江工程学院
类型:新型
国别省市:

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