一种半导体工艺设备中模块的上线方法和半导体工艺设备技术

本发明专利技术实施例提供了一种半导体工艺设备中模块的上线方法和半导体工艺设备，所述方法包括：响应于上位机的调试指令，确定目标调试模块，并从多个预设的调试模式中确定所述目标调试模块的目标调试模式；其中，所述调试模式包括运行模式、休眠模式和维护模式；将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式；响应于所述上位机的重扫指令，采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。根据本发明专利技术实施例，为用户提供三种调试模式，用户可根据实际情况切换对应模式进行设备调试，其中，在维护模式下可以实现在下位机软件在线运行时进行机台中指定调试模块的重扫以及使该指定调试模块重新上线运行的功能。模块重新上线运行的功能。模块重新上线运行的功能。

An online method of modules in semiconductor process equipment and semiconductor process equipment

【技术实现步骤摘要】
一种半导体工艺设备中模块的上线方法和半导体工艺设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种半导体工艺设备中模块的上线方法和一种半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备在完成阶段性跑货后，需要对机台硬件设备进行一定程度的维护和调试，在现有软件设计模式下进行部分设备维护时需要退出整机软件，完成设备维护后再启动软件，重扫机台中的每个物理模块，从而实现软件与整机的重连，退出软件时机台宕机，其他非维护设备无法正常工作，造成了资源的浪费，增加复机成本耽误客户跑货进度。
[0003]此外，对制造端进行调试时，常常需要进行硬件设备的更换和增减，每次变更都要退出整机软件，完成硬件改造后再重启软件，每次重启时重扫的时间很长且重启后还需要软件重新还原机台各个模块的配置，反复重复操作造成调试时间的浪费，延长生产周期。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体工艺设备中模块的上线方法和相应的一种半导体工艺设备。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种半导体工艺设备中模块的上线方法，包括：
[0006]响应于上位机的调试指令，确定目标调试模块，并从多个预设的调试模式中确定所述目标调试模块的目标调试模式；其中，所述调试模式包括运行模式、休眠模式和维护模式；
[0007]将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式；
[0008]响应于所述上位机的重扫指令，采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0009]可选地，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：
[0010]在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，断开与所述目标调试模块的驱动层通信连接，同时维持与其它模块的驱动层通信连接，以使所述其它模块继续执行工艺作业流程；
[0011]在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：
[0012]重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0013]可选地，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：
[0014]在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，断开与所有模块的驱动层通信连接；
[0015]在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对
应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：
[0016]重新建立与所有所述模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式或预设的快速扫描方式重新扫描所有所述模块，使所有所述模块上线运行。
[0017]可选地，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：
[0018]在所述目标调试模式为所述休眠模式的情况下，维持与所述目标调试模块的驱动层通信连接，且控制所述目标调试模块不参与工艺作业流程的调度；
[0019]在所述目标调试模式为所述休眠模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：
[0020]采用预设的快速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0021]可选地，所述重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：
[0022]重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，并通过桥接的方式调用所述目标调试模块对应的所述驱动层中的设备实例发起重扫流程；
[0023]采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0024]可选地，在所述通过桥接的方式调用所述目标调试模块对应的所述驱动层中的设备实例发起重扫流程之前，还包括：
[0025]统计预设时间段内与所述目标调试模块对应的驱动卡重新连接的次数，并在所述次数满足预设次数条件时，根据所述目标调试模块对应的所述驱动卡返回的状态码信息确定是否发起所述重扫流程。
[0026]可选地，所述通过桥接的方式调用所述目标调试模块对应的所述驱动层中的设备实例发起重扫流程，包括：
[0027]通过所述目标调试模块在操作层的设备实例访问其在功能层的设备实例，以及通过其在所述功能层的设备实例访问其在物理层的设备实例；
[0028]通过其在所述物理层的设备实例获取其在所述驱动层的设备实例，并调用所述驱动层的设备实例发起所述重扫流程。
[0029]可选地，各个所述模块作为主站具有对应的硬件设备从站，所述主站在所述驱动层的设备实例具有对应的设备节点号；
[0030]所述通过桥接的方式调用所述目标调试模块对应的所述驱动层中的设备实例发起重扫流程，包括：
[0031]确定所述目标调试模块在所述驱动层的设备实例中的设备节点号；
[0032]确定与所述设备节点号对应的从站，并调用所述从站对应的从站设备类中的方法发起所述重扫流程。
[0033]可选地，所述主站包括所述半导体工艺设备中的各个腔室模块和传输平台；所述从站包括以下至少之一：PLC、真空规、电磁阀、温控器、射频匹配器、摆阀、加热装置和流量计。
[0034]本专利技术实施例还公开了一种半导体工艺设备，包括上位机和下位机，所述上位机与所述下位机通信连接；
[0035]所述下位机用于响应于所述上位机的调试指令，确定目标调试模块，并从多个预设的调试模式中确定所述目标调试模块的目标调试模式；其中，所述调试模式包括运行模式、休眠模式和维护模式；将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式；响应于所述上位机的重扫指令，采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0036]可选地，所述下位机用于在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，断开与所述目标调试模块的驱动层通信连接，同时维持与其它模块的驱动层通信连接，以使所述其它模块继续执行工艺作业流程；
[0037]所述下位机用于在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。
[0038]可选地，所述下位机用于在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，断开与所有模块的驱动层通信连接；
[0039]所述下位机用于在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，重新建立与所有所述模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式或预设的快速扫描方式重新扫描所有所述模块，使所有所述模块上线运行。
[0040]可选地，所述下位机用于在所述目标调试模式为所述休眠模式的情况下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备中模块的上线方法，其特征在于，包括：响应于上位机的调试指令，确定目标调试模块，并从多个预设的调试模式中确定所述目标调试模块的目标调试模式；其中，所述调试模式包括运行模式、休眠模式和维护模式；将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式；响应于所述上位机的重扫指令，采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，断开与所述目标调试模块的驱动层通信连接，同时维持与其它模块的驱动层通信连接，以使所述其它模块继续执行工艺作业流程；在所述目标调试模式为所述维护模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，断开与所有模块的驱动层通信连接；在所述目标调试模式为所述运行模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：重新建立与所有所述模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式或预设的快速扫描方式重新扫描所有所述模块，使所有所述模块上线运行。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述目标调试模块设置为所述目标调试模式，包括：在所述目标调试模式为所述休眠模式的情况下，维持与所述目标调试模块的驱动层通信连接，且控制所述目标调试模块不参与工艺作业流程的调度；在所述目标调试模式为所述休眠模式的情况下，所述采用与所述目标调试模式对应的扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行，包括：采用预设的快速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使所述目标调试模块上线运行。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述重新建立与所述目标调试模块的驱动层通信连接，采用预设的慢速扫描方式重新扫描所述目标调试模块，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：周尔京，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：