气体外漏实时监控系统技术方案

本发明专利技术提供了一种气体外漏实时监控系统，包括真空装置、排气模块、质量流量控制器和气体外漏侦测器，排气模块与真空装置的排气端耦接，除了利用排气模块将真空装置内的气体排出，还利用质量流量控制器与排气端耦接，接收真空腔体排放后的气体，并控制质量流量作为气体外漏设定值的判断依据，再透过气体外漏侦测器来侦测真空腔体排放后的气体中的水与氧气，若侦测出具有水与氧气，即为气体外漏状态，可实时输出警示讯号，达到气体外漏实时监控的效果。果。果。

Real time monitoring system for gas leakage

【技术实现步骤摘要】
气体外漏实时监控系统


[0001]本专利技术涉及真空设备
，具体为气体外漏实时监控系统。

技术介绍

[0002]在现有技术中，真空装置的使用非常普遍，如有机金属化学气相沉积设备(MOCVD)、ICP蚀刻设备、导电性材料活性离子蚀刻系统(RIE)等均设有真空装置，而该类设备均难以在运作期间监测机台是否有外漏。一旦发生外漏状况无法立即得知，需要等到生产的元件特性或是外观异常并经过多层异常确认之后，才回归到设备异常检测及排除；例如管路接点是否异常，或是机构本体缝隙所造成的外部空气灌入，或是扩散进入低压的真空管路等诸多因素。
[0003]目前人工的设备异常检测方式非常的麻烦且不容易发现气体外泄的问题点，或是原设备并没有及时侦测外漏的功能，加上现有半导体真空设备管路复杂度高，相对的检测难度高。因此，如何改善无法实时监测气体外漏是需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供气体外漏实时监控系统，以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0005]为实现上述目的，根据本发公开的一个方面，提供了一种气体外漏实时监控系统，包括：真空装置，所述真空装置设有真空腔体和连通所述真空腔体的排气端，所述排气端用于排出所述真空腔体内的气体；
[0006]排气模块，所述排气模块与所述排气端耦接，所述排气模块用于将所述真空腔体排放的气体排出；
[0007]质量流量控制器，所述质量流量控制器与所述排气端耦接，所述质量流量控制器用于接收所述真空腔体排放后的气体，并控制质量流量作为气体外漏设定值的判断依据；
[0008]气体外漏侦测器，气体外漏侦测器与所述质量流量控制器耦接，所述气体外漏侦测器用于侦测所述真空腔体排放后的所述气体中的水与氧气，并输出侦测讯号；
[0009]其中，所述质量流量控制器用以控制所述气体外漏侦侧器的侦测运作与判断所述侦测讯号，在判断所述侦测讯号为气体外漏状态时，输出警示讯号。
[0010]在一种可能的实现方式中，气体外漏实时监控系统还包括：第一气体输送管路与第二气体输送管路，所述第一气体输送管路设置于所述排气端与所述质量流量控制器之间，所述第二气体输送管路设置于所述质量流量控制器与所述气体外漏侦测器之间，所述第一气体输送管路与所述第二气体输送管路用以输送所述真空腔体排放后的气体。
[0011]在一种可能的实现方式中，气体外漏实时监控系统还包括：
[0012]冷却水循环装置，所述冷却水循环装置位于所述真空装置的一侧，所述冷却水循环装置包括第一冷却水管与第二冷却水管，所述第一冷却水管用以包覆所述第一气体输送管路外侧，所述第二冷却水管用以包覆所述第二气体输送管路外侧，所述冷却水循环装置
用于控制所述第一冷却水管与所述第二冷却水管输送的冷却水的循环温度。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述冷却水循环温度范围为0摄氏度至5摄氏度。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述警示讯号为气体外漏信息和/或蜂鸣器声音。
[0015]在一种可能的实现方式中，气体外漏实时监控系统还包括：显示器，所述显示器与所述真空装置耦接，所述显示器用以显示所述警示讯号。
[0016]在一种可能的实现方式中，气体外漏实时监控系统还包括蜂鸣器，所述蜂鸣器与所述真空装置耦接，所述蜂鸣器用以输出所述警示讯号。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述排气模块包括气动阀、排气输送单元与泵浦，所述气动阀与所述排气端耦接，所述气动阀用以控制所述气体的阀门启闭控制，所述排气输送单元耦接于所述气动阀与所述泵浦之间，所述泵浦用于将所述真空腔体内的气体经所述排气输送单元排出外部。
[0018]在一种可能的实现方式中，气体外漏实时监控系统还包括：废气回收单元，所述废气回收单元与所述排气模块耦接，所述废气回收单元用以回收所述真空腔体排放后的气体。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述气体外漏侦测器为水氧侦测器。
[0020]本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：首先，本申请提供了一种利用水氧侦测方式来实时监测真空装置排放后的气体是否存在气体外漏的效果，另外，本申请提供一种可控制真空腔体排放后的气体流量作为气体外漏设定值的判断依据，并在气体输送管路包覆有冷却水管作为温度控制，能够有效提高侦测的精确性。
[0021]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
附图说明
[0022]图1为本申请实施例中的一种系统架构图。
[0023]图2为本申请实施例中的一种系统细部结构图。
[0024]图3为本申请实施例中的气体外漏测试图。
[0025]附图标记说明：100、气体外漏实时监控系统；10、真空装置；11、真空腔体；12、排气端；20、排气模块；21、气动阀；22、排气输送单元；23、泵浦；30、质量流量控制器；40、气体外漏侦测器；50、第一气体输送管路；60、第二气体输送管路；70、冷却水循环装置；71、第一冷却水管；72、第二冷却水管；80、显示器；A、气体外漏状态。
具体实施方式
[0026]为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。
[0027]首先请参阅图1，图1为本专利技术的系统架构图。气体外漏实时监控系统100包括真空装置10、排气模块20、质量流量控制器30以及气体外漏侦测器40。真空装置10具有真空腔体11与连通真空腔体11的排气端12，排气端12用以排出真空腔体11内的气体。排气模块20与
质量流量控制器30分别耦接排气端12，也就是说，排气模块20连接在排气端12的末端，而质量流量控制器30是连接在排气端12的中段排气端部，使得质量流量控制器30能够从中抽取真空腔体11排放后的气体。排气模块20是将真空腔体11排放的气体直接排出外部。另外，气体外漏实时监控系统100还包括废气回收单元(图中未示出)，废气回收单元耦接排气模块20，废气回收单元用以回收真空腔体11排放后的气体。
[0028]质量流量控制器30是用于接收真空腔体11排放后的气体，并控制质量流量作为气体外漏设定值的判断依据。气体外漏侦测器40耦接质量流量控制器30，气体外漏侦测器40用于侦测真空腔体11排放后的气体中的水与氧气，气体外漏侦测器40为水氧侦测器，在真空装置的环境中，理论上并不会有水与氧气的存在，故本专利技术使用水氧侦测器作为气体外漏侦测方式，并输出相应的侦测后的侦测讯号。质量流量控制器30用以控制气体外漏侦侧器40的侦测运作与判断侦测讯号，当判断侦测讯号为气体外漏状态时，输出警示讯号，警示讯号为气体外漏信息和/或蜂鸣器声音。警示讯号可以有线或无线传输方式传送至外。具体来说，气体外漏实时监控系统100还包括显示器80，显示器80耦接真空装置1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体外漏实时监控系统，其特征在于，包括：真空装置(10)，所述真空装置设有真空腔体(11)和连通所述真空腔体(11)的排气端(12)，所述排气端(12)用于排出所述真空腔体(11)内的气体；排气模块(20)，所述排气模块(20)与所述排气端(12)耦接，所述排气模块(20)用于将所述真空腔体(11)排放的气体排出；质量流量控制器(30)，所述质量流量控制器(30)与所述排气端(12)耦接，所述质量流量控制器(30)用于接收所述真空腔体(11)排放后的气体，并控制质量流量作为气体外漏设定值的判断依据；气体外漏侦测器(40)，气体外漏侦测器(40)与所述质量流量控制器(30)耦接，所述气体外漏侦测器(40)用于侦测所述真空腔体(11)排放后的所述气体中的水与氧气，并输出侦测讯号；其中，所述质量流量控制器(30)用以控制所述气体外漏侦侧器(40)的侦测运作与判断所述侦测讯号，在判断所述侦测讯号为气体外漏状态时，输出警示讯号。2.根据权利要求1所述的气体外漏实时监控系统，其特征在于，还包括：第一气体输送管路(50)与第二气体输送管路(60)，所述第一气体输送管路(50)设置于所述排气端(12)与所述质量流量控制器(30)之间，所述第二气体输送管路(60)设置于所述质量流量控制器(30)与所述气体外漏侦测器(40)之间，所述第一气体输送管路(50)与所述第二气体输送管路(60)用以输送所述真空腔体(11)排放后的气体。3.根据权利要求2所述的气体外漏实时监控系统，其特征在于，还包括：冷却水循环装置(70)，所述冷却水循环装置(70)位于所述真空装置(10)的一侧，所述冷却水循环装置(70)包括第一冷却水管(71)与第二冷却水管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志远，陈彦志，纪政孝，潘德烈，
申请(专利权)人：兆劲科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：