一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板制造技术

本实用新型专利技术涉及液晶显示技术领域，具体的说是一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板，该可降低CH孔接触阻抗的阵列基板包括基板，所述基板上端形成有栅极，所述基板上端和栅极上端均形成有栅极绝缘层，所述栅极绝缘层上端且位于右侧所述栅极处形成有有源层，所述栅极绝缘层上端和有源层上端均形成有刻蚀阻挡层。本实用新型专利技术可降低CH孔接触阻抗的阵列基板，在第三绝缘层上开第三绝缘层孔后像素电极层成膜之前，增加一道额外的纯钼金属层，以第三绝缘层光罩搭配负型光阻的方法，在源漏极与像素电极层之间设置纯钼金属层，起到桥接作用，以此降低像素电极层与源漏极之间的接触阻抗，从而保证显示屏画面的正常显示。示屏画面的正常显示。示屏画面的正常显示。

An array substrate that can reduce the contact impedance of CH holes

【技术实现步骤摘要】
一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板


[0001]本技术涉及液晶显示
，具体为一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板。

技术介绍

[0002]目前非晶态金属氧化物半导体发展迅速。其中，非晶InGaZnO(IGZO)凭借其简单的制备工艺以及优异的光电学性能而成为TFT制备的理想材料，以其制备的TFT有着高迁移率、高开关比等特点，具有替代a
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Si的潜力。较a
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Si TFT相比，IGZO
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TFT的载流子迁移率可以达到10~30cm2/V
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S，大大提高TFT对像素电极的充放电效率和响应速度。更为重要的是，IGZO制程和现有的a
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Si生产线具有很好的兼容性，较生产工艺更为复杂、设备投资更高的低温多晶硅(LTPS)具有更低的投资成本。
[0003]现有的In
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Cell技术是指将触摸面板功能嵌入到液晶像素中的方法，从而实现触摸面板部件与液晶面板一体化的设计。在Array制程方面，以ITO等透明材料作为公共电极和像素电极的膜层，是通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板，包括基板（1），其特征在于：所述基板（1）上端形成有栅极（2），所述基板（1）上端和栅极（2）上端均形成有栅极绝缘层（3），所述栅极绝缘层（3）上端且位于右侧所述栅极（2）处形成有有源层（4），所述栅极绝缘层（3）上端和有源层（4）上端均形成有刻蚀阻挡层（5），所述刻蚀阻挡层（5）上蚀刻有刻蚀阻挡层孔和电源插孔，所述刻蚀阻挡层（5）上端形成有源漏极（6），所述源漏极（6）上端覆盖有第一绝缘层（7），所述第一绝缘层（7）上端涂布有有机平坦层（8），所述有机平坦层（8）上形成有有机平坦层孔，所述有机平坦层（8）上端形成有触控金属层（9），所述有机平坦层（8）上端和触控金属层（9）上端均沉积有第二绝缘层（10），所述第二绝缘层（10）上且位于触控金属层（9）处干刻有第二绝缘层孔，所述第二绝缘层（10）上端且位于第二绝缘层孔处沉积有公共电极层（11），所述公共电极层（11）通过第二绝缘层孔与触控金属层（9）搭接，所述第二绝缘层（10）上端和公共电极层（11）上端均沉积有第三绝缘层（12），所述第三绝缘层（12）上形成有第三绝缘层孔，所述第三绝缘层（12）上端沉积有纯钼金属层（13），所述第三绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，陈鑫，朱书纬，潜垚，李澈，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：