真空室模块和包括真空室模块的装置制造方法及图纸

公开了一种真空室模块和包括真空室模块的装置。真空室模块包括：泵壁，所述泵壁限定成形为接纳多级真空泵的凹部；多个真空室，每个真空室构造成由所述多级真空泵的相应级抽吸，每个真空室至少部分地由所述泵壁的一部分限定，每个真空室具有位于所述泵壁上的不同周向位置处的抽吸端口，以用于与所述多级真空泵的相应级流体连通。这样，提供了一种模块，其与至少部分地容纳在否则由真空室占据的空间内的多级泵以及与位于泵壁周围的真空室共用部件，这提供了更简单且更紧凑的布置。这提供了更简单且更紧凑的布置。这提供了更简单且更紧凑的布置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空室模块和包括真空室模块的装置


[0001]本技术的领域涉及一种真空室模块和一种装置。

技术介绍

[0002]存在多种类型的装置，其中多个室或系统需要被抽空到不同的真空水平。例如，在公知类型的质谱仪中，装置的被称为检测器的该部分通常必须在比如10
‑6毫巴下操作，而被称为分析器的该部分必须在比如10
‑3毫巴的不同真空水平下操作。在包括但不限于质谱仪的类型的装置中，通常采用许多不同的真空泵。对于总体上减小的装置尺寸和功率要求，对各种真空泵的使用合理化的需求日益增加。单个前级泵相对普遍地用于支撑两个(或更多个)涡轮分子泵。此外，已经提出使用单个涡轮分子泵来代替两个(或更多个)单独的泵，其中单个泵具有用于需要通过泵的所有级的气体的正常入口和用于需要仅通过泵的较后级的气体的中间或级间入口，即在级之间。对这种类型的改进装置的需求日益增加。

技术实现思路

[0003]根据第一方面，提供一种真空室模块，包括：泵壁，所述泵壁限定成形为接纳多级真空泵的凹部；多个真空室，每个真空室构造成由所述多级真空泵的相应级抽吸，每个真空室至少部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空室模块，其特征在于，所述真空室模块包括：泵壁，所述泵壁限定成形为接纳多级真空泵的凹部；多个真空室，每个真空室被构造成由所述多级真空泵的相应级抽吸，每个真空室至少部分地由所述泵壁的一部分限定，每个真空室具有位于所述泵壁上的不同周向位置处的抽吸端口，以用于与所述多级真空泵的所述相应级流体连通。2.根据权利要求1所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口沿所述泵壁周向地延伸。3.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口定位成沿所述泵壁周向不重叠。4.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述抽吸端口沿所述多级真空泵的纵向轴线位于不同位置处。5.根据权利要求4所述的真空室模块，其特征在于，所述真空室沿着所述纵向轴线的公共部分延伸。6.根据权利要求5所述的真空室模块，其特征在于，相邻的真空室共用沿所述纵向轴线的所述公共部分延伸的公共分隔壁。7.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁限定一泵室，该泵室被成形为接纳所述多级真空泵。8.根据权利要求1或2所述的真空室模块，其特征在于，所述泵壁围绕所述多级真空泵。...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：新型
国别省市：