一种辅助取放料的顶PIN装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种辅助取放料的顶PIN装置，包括伺服电机固定板以及顶PIN模组固定板，伺服电机固定板与顶PIN模组固定板之间传动连接有滚珠丝杠，伺服电机固定板下方的伺服电机与滚珠丝杠传动连接，伺服电机固定板与顶PIN模组固定板之间设有顶PIN模组导向轴，滚珠丝杠通过丝杆螺母传动连接有与顶PIN模组导向轴导向滑动的顶PIN移动板，顶PIN移动板顶部设有与顶PINⅠ真空吸气嘴接通的顶PINⅠ导向柱，顶PINⅠ导向柱上设有顶PINⅠ，顶PIN移动板上的顶PINⅡ升降气缸与顶PINⅡ导向柱固定连接，顶PINⅡ导向柱的上方设有顶PINⅡ，利用伺服电机与气缸的配合可以选择顶PINⅠ上移吸附基板或者顶PINⅠ与顶PINⅡ结合的形式定位基板，简单方便，效率高。效率高。效率高。

A top pin device for auxiliary material taking and discharging

【技术实现步骤摘要】
一种辅助取放料的顶PIN装置


[0001]本技术属于纳米压印机
，具体涉及一种辅助取放料的顶PIN装置。

技术介绍

[0002]目前，在一些纳米压印机
，基板的上表面上分布有结构，这些结构非常精细，不能有任何触碰，基板比较薄，用夹持的方法损坏基板的概率比较大，只能用真空吸笔或者手臂接触下表面对产品进行取放料；基板放置于平台上方，是采用真空吸的方式固定，在基板与平台脱离的开始会有一定的残留的吸力会吸住基板，这样如果用顶PIN装置将基板与平台脱离会比较方便，同时节约工时；4
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6寸的基板使用一组顶PIN即可，当8
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12寸基板时需要使用二组顶PIN，切换到4
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6寸的基板时只需退回第二组顶PIN即可，该辅助取放料的顶PIN装置能兼容不同尺寸的基板。
[0003]为此，我们提出一种方便人员取放料，同时兼容小直径基板与大直径基板，简单方便，效率高，成本低的辅助取放料的顶PIN装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种辅助取放料的顶PIN装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种辅助取放料的顶PIN装置，包括伺服电机固定板以及顶PIN模组固定板，所述伺服电机固定板与顶PIN模组固定板之间传动连接有滚珠丝杠，所述伺服电机固定板下方固定设置的伺服电机的输出端与滚珠丝杠的输入端传动连接，所述伺服电机固定板与顶PIN模组固定板之间设有顶PIN模组导向轴，所述滚珠丝杠通过丝杆螺母传动连接有与顶PIN模组导向轴导向滑动的顶PIN移动板；
[0006]所述顶PIN移动板的顶部设有顶PINⅠ导向柱，所述顶PINⅠ导向柱的上方设有顶PINⅠ，所述顶PIN移动板的底部固定设有贯穿于顶PIN移动板且与顶PINⅠ导向柱相接通的顶PINⅠ真空吸气嘴；
[0007]所述顶PIN移动板的底部固定设有与伺服电机固定板相配合活动穿插的顶PINⅡ升降气缸，所述顶PINⅡ升降气缸的活塞杆贯穿于顶PIN移动板后与顶PIN移动板上方且位于顶PINⅠ导向柱外侧的顶PINⅡ导向柱固定连接，所述顶PINⅡ导向柱的上方设有顶PINⅡ。
[0008]作为本技术方案的进一步优化，所述顶PIN移动板套接在顶PIN模组导向轴的外侧面，顶PIN模组导向轴与顶PIN移动板相配合滑动，运行稳定。
[0009]作为本技术方案的进一步优化，所述顶PIN模组固定板的顶部通过环形圈与平台固定连接。
[0010]作为本技术方案的进一步优化，所述顶PINⅠ以及顶PINⅠ导向柱活动穿插贯穿于顶PIN模组固定板以及平台。
[0011]作为本技术方案的进一步优化，所述顶PINⅠ环形等距离排列设置三个，且顶PINⅡ导向柱与顶PINⅠ数量相同，且顶PINⅡ导向柱环形等距离排列设于顶PINⅠ外侧面。
[0012]本技术的技术效果和优点：该辅助取放料的顶PIN装置，真空吸笔或者手臂放置4寸或者6寸基板前，顶PINⅡ的气缸处于收回的状态，伺服电机带动精密滚珠丝杠转动，精密滚珠丝杠带动顶PIN移动板沿着顶PIN模组导向轴上升，顶PINⅠ导向柱安装于顶PIN移动板上方，这样顶PINⅠ沿着顶PINⅠ导向柱上升，这样顶PINⅠ上表面下方处于悬空状态，放置寸或者寸基板，定位好后将顶PINⅠ的真空吸管道打开，这样基板就能稳稳的放置于顶PINⅠ上了，然后伺服电机动作驱动顶PIN移动板下移，将基板放置于平台上，同时释放真空；当放置8
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12寸基板时需要使用二组顶PIN，这样顶PINⅡ的气缸处于伸出的状态，带动顶PINⅡ上移即可，切换到4
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6寸的基板时只需顶PINⅡ的气缸处于收回的状态即可，方便人员取放料，同时兼容小直径基板与大直径基板，简单方便，效率高，成本低。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图2为本技术顶PIN模组固定板的俯视图。
[0015]图中：1、顶PINⅠ；2、顶PINⅠ导向柱；3、顶PINⅡ；4、顶PINⅡ导向柱；5、顶PIN移动板；6、滚珠丝杠；7、平台；8、顶PIN模组固定板；9、伺服电机固定板；10、顶PINⅡ升降气缸；11、顶PIN模组导向轴；12、顶PINⅠ真空吸气嘴；13、伺服电机；14、环形圈。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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2，一种辅助取放料的顶PIN装置，包括伺服电机固定板9以及顶PIN模组固定板8，所述伺服电机固定板9与顶PIN模组固定板8之间传动连接有滚珠丝杠6，所述伺服电机固定板9下方固定设置的伺服电机13的输出端与滚珠丝杠6的输入端传动连接，所述伺服电机固定板9与顶PIN模组固定板8之间设有顶PIN模组导向轴11，所述滚珠丝杠6通过丝杆螺母传动连接有与顶PIN模组导向轴11导向滑动的顶PIN移动板5；
[0018]所述顶PIN移动板5的顶部设有顶PINⅠ导向柱2，所述顶PINⅠ导向柱2的上方设有顶PINⅠ1，所述顶PIN移动板5的底部固定设有贯穿于顶PIN移动板5且与顶PINⅠ导向柱2相接通的顶PINⅠ真空吸气嘴12；
[0019]所述顶PIN移动板5的底部固定设有与伺服电机固定板9相配合活动穿插的顶PINⅡ升降气缸10，所述顶PINⅡ升降气缸10的活塞杆贯穿于顶PIN移动板5后与顶PIN移动板5上方且位于顶PINⅠ导向柱2外侧的顶PINⅡ导向柱4固定连接，所述顶PINⅡ导向柱4的上方设有顶PINⅡ3。
[0020]所述顶PIN移动板5套接在顶PIN模组导向轴11的外侧面，顶PIN模组导向轴11用于顶PIN移动板5的滑动导向，使得顶PIN移动板5上下平移更加的平稳。
[0021]所述顶PIN模组固定板8的顶部通过环形圈14与平台7固定连接，所述顶PINⅠ1以及顶PINⅠ导向柱2活动穿插贯穿于顶PIN模组固定板8以及平台7，平台7用于放置基板。
[0022]所述顶PINⅠ1环形等距离排列设置三个，且顶PINⅡ导向柱4与顶PINⅠ1数量相同，
且顶PINⅡ导向柱4环形等距离排列设于顶PINⅠ1外侧面。
[0023]工作原理：使用时，真空吸笔或者手臂放置4寸或者6寸基板前，顶PINⅡ3的气缸处于收回的状态，伺服电机13带动精密滚珠丝杠6转动，精密滚珠丝杠6带动顶PIN移动板5沿着顶PIN模组导向轴11上升，顶PINⅠ导向柱2安装于顶PIN移动板5上方，这样顶PINⅠ1沿着顶PINⅠ导向柱2上升，这样顶PINⅠ1上表面下方处于悬空状态，放置4寸或者6寸基板，定位好后将顶PINⅠ1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助取放料的顶PIN装置，包括伺服电机固定板(9)以及顶PIN模组固定板(8)，其特征在于：所述伺服电机固定板(9)与顶PIN模组固定板(8)之间传动连接有滚珠丝杠(6)，所述伺服电机固定板(9)下方固定设置的伺服电机(13)的输出端与滚珠丝杠(6)的输入端传动连接，所述伺服电机固定板(9)与顶PIN模组固定板(8)之间设有顶PIN模组导向轴(11)，所述滚珠丝杠(6)通过丝杆螺母传动连接有与顶PIN模组导向轴(11)导向滑动的顶PIN移动板(5)；所述顶PIN移动板(5)的顶部设有顶PINⅠ导向柱(2)，所述顶PINⅠ导向柱(2)的上方设有顶PINⅠ(1)，所述顶PIN移动板(5)的底部固定设有贯穿于顶PIN移动板(5)且与顶PINⅠ导向柱(2)相接通的顶PINⅠ真空吸气嘴(12)；所述顶PIN移动板(5)的底部固定设有与伺服电机固定板(9)相配合活动穿插的顶PINⅡ升降气缸(10)，所述顶PINⅡ升降气缸(10)的活塞杆贯穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：高振树，
申请(专利权)人：苏州固益微纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：