一种低温泵冷端壳体结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种低温泵冷端壳体结构，包括外壳体和冷端泵体，所述外壳体上设有容纳腔，所述冷端泵体活动连接在所述容纳腔内，所述冷端泵体外部与所述容纳腔内壁形成缓冲通道，所述缓冲通道内间隔设置有多个弹簧减震层和多个弹性形变层，所述容纳腔端部设置有阻挡环，所述阻挡环朝向所述容纳腔内部一侧开设有滑动槽，所述冷端泵体上设有与所述滑动槽相匹配的滑动块，所述滑动槽一侧端部设有压缩弹簧，所述滑动槽内设置有辊筒架，所述辊筒架上平行设置有多个可转动的辊筒，所述滑动块底部与所述辊筒相接触。本实用新型专利技术具有良好的减震效果，并能够有效降低震动时产生的噪音。并能够有效降低震动时产生的噪音。并能够有效降低震动时产生的噪音。

A cold end shell structure of cryogenic pump

【技术实现步骤摘要】
一种低温泵冷端壳体结构


[0001]本技术涉及低温往复泵
，具体为一种低温泵冷端壳体结构。

技术介绍

[0002]低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
[0003]现有的低温泵冷端采用单级压缩结构，在工作和移动的过程中容易产生震动，在长期使用后容易产生噪音，降低使用寿命，且低温泵的频繁震动会对活塞杆处的往复运动产生干扰，进而影响低温泵冷端的正常工作。目前的减震方式是直接在低温泵外部单一设置弹簧减震机构或减震板，虽然能降低震动频率，但无法抑制噪音产生，且长时间使用，由于弹簧生锈或磨损，会使噪音进一步增大。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种低温泵冷端壳体结构，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了实现以上的目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0006]一种低温泵冷端壳体结构，包括外壳体和冷端泵体，所述外壳体上设有容纳腔，所述冷端泵体活动连接在所述容纳腔内，所述冷端泵体外部与所述容纳腔内壁形成缓冲通道，所述缓冲通道内间隔设置有多个弹簧减震层和多个弹性形变层，所述容纳腔端部设置有阻挡环，所述阻挡环朝向所述容纳腔内部一侧开设有滑动槽，所述冷端泵体上设有与所述滑动槽相匹配的滑动块，所述滑动槽一侧端部设有压缩弹簧，所述滑动槽内设置有辊筒架，所述辊筒架上平行设置有多个可转动的辊筒，所述滑动块底部与所述辊筒相接触。
[0007]优选的，所述弹簧减震层由多个环形阵列设置在所述容纳腔内壁上的减震弹簧组成，所述减震弹簧远离所述容纳腔内壁一端与所述冷端泵体表面相抵触。
[0008]优选的，所述弹性形变层由多个环形阵列设置在所述缓冲通道内的弹性块组成，所述弹性块的两端分别与所述容纳腔内壁和所述冷端泵体表面相紧贴。
[0009]优选的，多个辊筒形成用于所述滑动块滑动的滑动面，所述压缩弹簧设置在所述滑动槽靠近所述外壳体一侧，所述滑动块上开设有用于所述压缩弹簧嵌入的嵌入槽。
[0010]优选的，所述冷端泵体内设置有进液端组件、出液端组件、压缩腔组件和储液腔，所述压缩腔组件包括活塞杆和压缩腔腔体，液体由所述进液端组件处进入到储液腔，然后在活塞杆的拉作用下进入压缩腔腔体，在活塞杆的推作用下压缩腔腔体的液体由出液端组件处流出。
[0011]优选的，所述储液腔内腔侧壁上开设有用于连通所述储液腔和压缩腔腔体的过流孔。
[0012]优选的，所述压缩腔腔体内设有用于进行密封的密封组件，所述密封组件环绕所
述活塞杆周围。
[0013]优选的，所述活塞杆靠近外部一端套设有用于加强所述活塞杆运行稳定性并可支撑所述密封组件的泵体法兰，所述泵体法兰与所述冷端泵体之间通过固定螺栓进行固定连接。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0015]1.本技术中缓冲通道内交替设置多个弹簧减震层和弹性形变层，弹簧减震层中的减震弹簧能够有效降低震动幅度，弹性形变层中的弹性块，一方面能够进一步降低震动幅度，提高稳定性，另一方面，弹性块起支撑作用，能够有效防止外壳体与冷端泵体发生碰撞或频繁震动而产生噪音。
[0016]2.本技术中滑动槽内设置有辊筒架，辊筒架上平行设置有多个可转动的辊筒，滑动块底部与辊筒相接触，以滚动摩擦代替滑动摩擦，能够有效减缓滑动块底部的磨损程度，防止滑动块底部因磨损而产生噪音。
附图说明
[0017]图1为本技术的内部结构示意图；
[0018]图2为本技术图1中AA
’
处的剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术图1中B处的结构放大图。
[0020]图中：1
‑
外壳体，11
‑
容纳腔，12
‑
缓冲通道，13
‑
弹簧减震层，131
‑ꢀ
减震弹簧，14
‑
弹性形变层，141
‑
弹性块，15
‑
阻挡环，16
‑
滑动槽，161
‑ꢀ
压缩弹簧，162
‑
辊筒架，163
‑
辊筒，164
‑
滑动面，2
‑
冷端泵体，21
‑ꢀ
滑动块，211
‑
嵌入槽，3
‑
进液端组件，4
‑
出液端组件，5
‑
压缩腔组件， 51
‑
活塞杆，52
‑
压缩腔腔体，53
‑
密封组件，6
‑
储液腔，61
‑
过流孔， 7
‑
泵体法兰，71
‑
固定螺栓。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]参考图1
‑
3，本技术提供一种实施方案：一种低温泵冷端壳体结构，包括外壳体1和冷端泵体2，外壳体1上设有容纳腔11，冷端泵体2活动连接在容纳腔11内，冷端泵体2外部与容纳腔11内壁形成缓冲通道12，缓冲通道12内交替间隔设置有多个弹簧减震层13 和多个弹性形变层14，弹簧减震层13中的减震弹簧131能够有效降低震动幅度，弹性形变层14中的弹性块141，一方面能够进一步降低震动幅度，提高稳定性，另一方面，弹性块141起支撑作用，能够有效防止外壳体1与冷端泵体2发生碰撞或频繁震动而产生噪音；容纳腔11端部设置有阻挡环15，阻挡环15可拆卸连接在容纳腔11的端部，阻挡环15朝向容纳腔11内部一侧开设有滑动槽16，每个阻挡环15上滑动槽16的数量为两个，关于阻挡环15圆心中心对称设置，冷端泵体2上设有与滑动槽16相匹配的滑动块21，用于对冷端泵体2在容纳腔11内活动起导向作用，滑动槽16一侧端部设有用于起复位作用的压缩弹簧161，滑动槽16内设置有辊筒架162，辊筒架 162平行设置有多个可转动的辊筒163，滑动块21底部与辊筒163相接触，以滚动摩擦代替滑动摩擦，能够有效减缓滑动块21底部的磨损程度，防止滑动块21底
部因磨损而产生噪音。
[0023]弹簧减震层13由多个环形阵列设置在容纳腔11内壁上的减震弹簧131组成，减震弹簧131远离容纳腔11内壁一端与冷端泵体2 表面相抵触，另一端固定在容纳腔11的内壁上，为了防止减震弹簧 131发生偏移，可在冷端泵体2表面设置槽孔用于减震弹簧131嵌入；弹性形变层14由多个环形阵列设置在缓冲通道12内的弹性块141 组成，弹性块141的两端分别与容纳腔11内壁和冷端泵体2表面相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵冷端壳体结构，其特征在于：包括外壳体(1)和冷端泵体(2)，所述外壳体(1)上设有容纳腔(11)，所述冷端泵体(2)活动连接在所述容纳腔(11)内，所述冷端泵体(2)外部与所述容纳腔(11)内壁形成缓冲通道(12)，所述缓冲通道(12)内间隔设置有多个弹簧减震层(13)和多个弹性形变层(14)，所述容纳腔(11)端部设置有阻挡环(15)，所述阻挡环(15)朝向所述容纳腔(11)内部一侧开设有滑动槽(16)，所述冷端泵体(2)上设有与所述滑动槽(16)相匹配的滑动块(21)，所述滑动槽(16)一侧端部设有压缩弹簧(161)，所述滑动槽(16)内设置有辊筒架(162)，所述辊筒架(162)上平行设置有多个可转动的辊筒(163)，所述滑动块(21)底部与所述辊筒(163)相接触。2.根据权利要求1所述的一种低温泵冷端壳体结构，其特征在于：所述弹簧减震层(13)由多个环形阵列设置在所述容纳腔(11)内壁上的减震弹簧(131)组成，所述减震弹簧(131)远离所述容纳腔(11)内壁一端与所述冷端泵体(2)表面相抵触。3.根据权利要求1所述的一种低温泵冷端壳体结构，其特征在于：所述弹性形变层(14)由多个环形阵列设置在所述缓冲通道(12)内的弹性块(141)组成，所述弹性块(141)的两端分别与所述容纳腔(11)内壁和所述冷端泵体(2)表面相紧贴。4.根据权利要求1所述的一种低温泵冷端壳体结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：嵇伟锋，张鑫，李涛，沈莫华，吴波，
申请(专利权)人：湖州三井低温设备有限公司，
类型：新型
国别省市：