【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于干涉式X射线成像的光栅的模块化制造技术
[0001]本专利技术涉及光栅组件的制造方法、光栅组件、用于制造光栅组件的设备、制造系统。
技术介绍
[0002]基于光栅的相衬和暗场X射线(DAX)成像是很有前途的技术,以增强x射线装备的诊断质量,例如在乳房摄影、胸部摄影和CT(计算机断层摄影)领域中。顾名思义,基于光栅的成像需要一个或多个(通常三个)光栅作为成像系统的一部分。一个这样的光栅,通常被称为“G2”,位于患者与成像系统的探测器之间。
[0003]建立基于该技术的临床成像系统最具挑战性的问题之一是全场G2光栅的制造。特别地,用于胸部检查的X射线探测器的相对大的面积(几乎50cm x 50cm)是很大的挑战,因为这需要由G2光栅完全覆盖。
[0004]当前,建立这样的光栅的更加成熟的过程之一是LIGA过程。“LIGA”是针对“Lithographie,Galvanoformung,Abformung”(可翻译为“光刻、电镀和成型”)的德语首字母缩写。在LIGA中,光栅结构是由微米级的金结构制造到石墨衬底上 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种由光栅片块制造光栅组件以用于干涉式X射线成像的方法,包括以下步骤:在制造设备(VT)的弯曲表面上布置(S310)光栅片块,使得所述光栅片块具有曲率,并且然后将所述光栅片块应用(S350)于弯曲载体衬底,或者将所述弯曲载体衬底应用于所述光栅片块,使得所述片块的所述曲率与所述载体衬底的曲率一致。2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述载体衬底的热膨胀系数对应于光栅衬底的热膨胀系数。3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述载体衬底包括玻璃。4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述玻璃至少部分地是硼硅酸盐玻璃。5.根据权利要求2
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4所述的方法,其中,所述光栅衬底包括石墨或硅。6.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,所述光栅片块包括两个相对的表面,即第一表面和第二表面,所述表面中的一个,即所述第二表面,包括一组凹槽,其中,所述第二表面在所述弯曲载体衬底的远侧。7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,布置步骤(S310)包括使用所述制造设备(VT)的停止边缘(SE)来对准所述光栅片块中的至少一个。8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,在两个相邻的光栅片块之间存在间隙,所述方法还包括减小(S320)这样的间隙的宽度。9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,包括在应用步骤(S350)之前...
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