反射镜组件制造技术

一种反射镜组件，其包括：反射镜器件，其具有支承部和构成为相对于支承部可移动的可动反射镜部；以及封装，其具有光入射开口，且以从光入射开口入射的光能够入射到可动反射镜部的方式收纳并保持反射镜器件。在封装设置有将封装的内部与外部连通的通气口。封装的内部与外部连通的通气口。封装的内部与外部连通的通气口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】反射镜组件


[0001]本公开的一方面涉及一种反射镜组件。

技术介绍

[0002]已知一种反射镜组件，其包括具有可动反射镜部的光扫描器件和收纳光扫描器件的封装(例如参照专利文献1、2)。在这种反射镜组件中，封装主体的光入射开口被窗部件堵塞，封装内被气密地密封。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2018
‑
17832号公报。
[0006]专利文献2：日本特开2016
‑
99567号公报。

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在上述那样的反射镜组件中，因封装的内部与外部之间的温度差，窗部件可能发生结露。本公开的一方面的目的在于提供一种能够抑制在封装内发生结露的反射镜组件。
[0009]用于解决问题的技术手段
[0010]本公开的一方面提供了一种反射镜组件，其包括：反射镜器件，其具有支承部和构成为相对于支承部可移动的可动反射镜部；以及封装，其具有光入射开口，且以从光入射开口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种反射镜组件，其包括：反射镜器件，其具有支承部和构成为相对于所述支承部可移动的可动反射镜部；以及封装，其具有光入射开口，且以从所述光入射开口入射的光能够入射到所述可动反射镜部的方式收纳并保持所述反射镜器件，在所述封装设置有将所述封装的内部与外部连通的通气口。2.根据权利要求1所述的反射镜组件，其中，规定方向上的所述通气口的最小宽度，小于所述可动反射镜部与所述反射镜组件中的位置被固定的部分之间的最小距离。3.根据权利要求1或2所述的反射镜组件，其中，所述可动反射镜部具有可动部和设置在所述可动部上的反射镜，规定方向上的所述通气口的最小宽度，小于从与所述反射镜垂直的方向观察时的所述支承部与所述可动部之间的最小距离。4.根据权利要求1～3中任一项所述的反射镜组件，其中，规定方向上的所述通气口的最小宽度，小于所述可动反射镜部相对于所述支承部移动至可移动范围内的最大位置时的所述可动反射镜部与所述反射镜组件中的位置被固定的部分之间的最小距离。5.根据权利要求1～4中任一项所述的反射镜组件，其中，所述封装具有：设置有所述光入射开口且保持所述反射镜器件的主体部；...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木大几，井出智行，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：