【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
用于用声表面波工作的部件,即OFW部件的封闭装置,具有一个封闭处在一个基片(1)上的部件结构(10、11、12)的罩(13、14、15),其特征在于, 罩(13、14、15)通过一个设在基片(1)上的覆盖装置形成,该覆盖装置在部件结构(10、11、12)的范围内具有容纳这些部件结构的凹槽(16)。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:B福尔巴哈,F卢普,W帕尔,G特劳施,
申请(专利权)人:埃普科斯股份有限公司,
类型:发明
国别省市:DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。