一种晶体生长炉的测温装置制造方法及图纸

本申请涉及晶体生长炉，尤其涉及一种晶体生长炉的测温装置，应用于蓝宝石晶体生长炉，包括：安装座，安装座用于安装于蓝宝石晶体生长炉上；管体，管体两端贯通，管体固定连接于安装座上；盖体，盖体可拆卸的连接于管体的一端上，该端部远离蓝宝石晶体生长炉；以及传感器主体，传感器主体位于管体内；传感器主体可调式连接于管体内，使得传感器主体具有沿管体方向移动的自由度。本申请在管体的尾部可拆卸连接盖体，通过开启盖体调节传感器本体的位置，同时通过盖体方便更换传感器本体。解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。换热电偶的技术效果。换热电偶的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉的测温装置


[0001]本申请涉及晶体生长炉，尤其是涉及一种晶体生长炉的测温装置。

技术介绍

[0002]目前，单晶蓝宝石运用于光电产业的LED已经越来越广泛。而其中全球用于LED 衬底的蓝宝石基板70％由泡生法或各种改良型泡生法生长。对于采用泡生法生长蓝宝石的过程来说，对炉腔精准的温度控制至关重要。因泡生法对炉体保温要求极高，因此对蓝宝石晶体生长炉内的温度监控至关重要。
[0003]现有技术中，一般采用热电偶对晶体生长炉进行温度检测，但针对不同检测要求，热电偶需要以不同深度伸入晶体到生长炉中，因此现有技术中会在热电偶的尾部连接一个驱动装置以驱动热电偶的位置伸缩；由于热电偶本身是易耗品，在需要更换热电偶的情况下，需要拆卸驱动装置才能够对热电偶进行更换。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：热电偶更换不便。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种晶体生长炉的测温装置，解决了现有技术中热电偶更换不便的技术问题；达到方便更换热电偶的技术效果。
[0006]本申请提供的一种晶体生长炉的测温装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉的测温装置，应用于蓝宝石晶体生长炉，其特征在于，包括：安装座，所述安装座用于安装于所述蓝宝石晶体生长炉上；管体，所述管体两端贯通，所述管体固定连接于所述安装座上；盖体，所述盖体可拆卸的连接于所述管体的一端上，该端部远离所述蓝宝石晶体生长炉；以及传感器主体，所述传感器主体位于所述管体内；所述传感器主体可调式连接于所述管体内，使得所述传感器主体具有沿管体方向移动的自由度。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述管体的靠近所述盖体的一端上具有呈环形的第一连接部；所述盖体的靠近所述管体的一端上具有呈环形的第二连接部；所述第一连接部和第二连接部之间设置有第一连接组件，所述第一连接组件用于可拆卸的连接所述盖体和所述管体，所述第一连接组件包括：第一密封件，所述第一密封件呈环形，所述第一密封件夹设于所述第一连接部和所述第二连接部之间；第一卡箍，所述第一卡箍连接于所述第一连接部和所述第二连接部之间，用于连接所述盖体和管体。3.根据权利要求2所述一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述第一密封件包括：密封套，所述密封套与所述管体共轴，所述密封套分别与所述第一连接部、第二连接部的内边缘相抵触；第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述密封套的外圈，所述第一密封圈被夹设于所述第一连接部、第二连接部之间，且分别与所述第一连接部、第二连接部相抵触。4.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，所述盖体上连接有通电接头，通过所述通电接头使得所述传感器本体通电。5.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的测温装置，其特征在于，还包括定位组件，所述定位组件用于传感器本体的定位，所述定位组件包括：定位环，所述定位环套设于所述传感器本体上，且与所述传感器本体固定连接，所述定位环的外侧边缘与管体的内壁相抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶钢飞，魏怡凡，冯贤剑，倪军夫，黄剑利，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：