声波谐振器制造技术

声谐振器（１０；１１０；和２１０）包括至少部分地补偿通过电极压电叠层（１８）引入的温度感应效应的铁磁补偿器（２０；１２０；和２２０）。该补偿器具有正频率温度系数，而叠层具有负频率温度系数。通过正确选择补偿器的厚度，可以抵消对谐振作用的感应温度。可替换的是，可以选择该厚度以提供所需的正或负的复合频率温度系数。在优选的实施例中，补偿器由镍铁合金形成，在最为优选的实施例中该合金为大约３５％的镍和大约６５％的铁。为了防止在铁磁补偿器中的过度的电磁损耗，可以加入金属镀层（２３０）以至少部分地包围补偿器。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一般地说本专利技术涉及声波谐振器，更具体地说涉及控制该声波谐振器的谐振频率的方法。
技术介绍
由薄膜形成的声波谐振器应用在要求精确地控制频率的许多应用场合中。薄膜体声波谐振器(FBAR)或层叠薄膜体声波谐振器(SBAR)都可以用作在蜂窝电话或其它装置中作为滤波器，在这些装置中尺寸、成本和频率稳定性都是重要的因素。FBAR包括在两个导电电极之间的压电材料的薄膜，同时SBAR还包括压电材料的附加层，每个层将两个电极分开。虽然固定安装的谐振器是公知的，但是通常还是通过周边支撑该层将FBAR或SBAR的有效层悬浮在空气中。在叠层的两侧空气/谐振器的界面部分地俘获在操作的过程中产生的能量。当通过在由压电层间隔开的两个电极之间施加信号产生时变的电场时，压电材料将一些电能转换为以声波形式的机械能量。声波在与电场相同的方向上传播并在空气/谐振器界面上反射。为了正确地制造FBAR或SBAR，声波具有特定的机械谐振。如上文所示，由于当FBAR或SBAR在其机械谐振频率运行时它可以起电谐振器的作用，因此它可以用作滤波器。在这种机械谐振频率上，对于在压电材料中的声的给定的相位速度，穿过谐振器的声波的半波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波谐振器（１０；１１０；２１０），包括： 基片（１３０；和２３２）；和 叠层（１８），将该叠层集成到所说的基片以使所说的叠层包括悬浮区域，所说的悬浮区域包括： 压电体（１６；１１６和２１６）和电极（１２和１４；１１２和１１４；和２１２和２１４），设置所说压电体和电极以将电场施加到在所说的压电体中，所说的压电体和电极具有一定的谐振频率和负频率温度系数；以及 补偿器（２０；１２０和２２０），该补偿器声耦合到所说的压电体和电极，所说的补偿器壳体由具有这样的特性的材料制成：通过该特性所说的补偿器至少部分地补偿对于所说的谐振的温度所引起的效应，其中所说的温度引起的效应是所说...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：JD拉森三世，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]