表面声波器件及其生产方法技术

一种表面声波器件包括压电衬底，和至少一个装在其上的叉指式换能器，这换能器是用重于铝的一种金属或一种合金制成，在至少一个叉指式换能器的指状电极延伸方向上的表面声波的声速分布不大于约百万分之２７６，从而有效地抑制了相当大的纹波，这种纹波引人注意地群延迟时间特性中发现，尤其是，在带通区域内。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及以共振器或带通滤波器形式实现的表面声波器件，及其制造方法。尤其是，本专利技术涉及到采用比较重的电极材料的表面声波器件，从而可以利用水平剪切的表面波，并涉及到它的制造方法。
技术介绍
表面声(SAW)器件广泛用作为共振器或带通滤波器。典型的表面声波器件具有压电衬底，并在压电衬底上装有由主要包括铝的电极材料制成的叉指式换能器(IDTs)的电极和反射器。正如在本技术中熟知的，具有由钨(W)或钽(Ta)制成电极(它们是比较重的)的表面声波器件能够利用剪切的(SH)表面声波。但是，在这样一种采用比较重的电极材料的表面声波器件中，在形成IDTs和反射器时，在薄膜厚度或线的宽度上的变化是不可避免的。因为该电极材料比典型的主要包括铝的表面声波器件的电极材料要重，所以采用较重电极材料的表面声波器件将会在表面声波的声束分布，或频率分布上造成相当大的变化。结果，在带通区域内在群延迟时间特性上呈现光显著的和危险的纹波，正如在附图说明图10中由剪头A所指的。图10示出衰减频率特性与具有两个IDTs，其中心频率为225MHz的纵向耦合共振器SAW的群延迟时间特性的关系图。该纵向耦合共振器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波器件，其特征在于包括： 压电衬底；以及 至少一个叉指式换能器，它具有彼此基本上平行延伸的指状电极，所述至少一个叉指式换能器被放置在所述压电衬底上，并由一种重于铝的金属或一种重于铝的合金制成； 其中，在所述至少一个叉指式换能器的指状电极延伸方向上表面声波的声速分布不大于约百万分之２７６。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中尾武志，門田道雄，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]